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《西南师范大学》 2001年
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厚膜集成电路的计算机辅助检验

吴军向  
【摘要】: 随着信息技术的飞速发展,集成电路的发展已成为我国十五规划中,主要发展的 一个产业。而厚膜集成电路作为集成电路产业的一个分枝,已广泛应用于通信、航空、 航天、计算机、工业控制等许多领域,每年以30%左右的速度增长,现已开发许多用 于单片集成电路和印刷电路板电路设计与检测的软件及系统。但应用于厚膜集成电路 检验的系统为数很少,国内厚膜集成电路生产厂过程检验大部分以人工检验为主。因 此,研究厚膜集成电路过程检验的自动检测具有非常重要的实用意义。 随着图像处理技术的不断完善和创新,计算机技术的迅猛发展。图像处理广泛应 用于军事、生物、医学工程、工业等许多方面。由于应用的范围不同,图像处理的方 式也不尽相同。 图像处理的前题,首先要有图像采集系统,图像获取有多种方式。如光学成像、 射线成像、超声成像、红外成像、微波成像等。本论文选用的对象为SH723E产品, 用ParagonⅡ SP Series Scanners,扫描仪系统为Ulead Iphoto Plus VⅡ Release Notes 995 Ulead System. Inc.的MFC-600S平板式扫描仪,对SH723E产品进行扫描成像, 选该产品作为本文的处理对象在于该产品是四川仪表六厂为深圳华为技术有限公司生 产的,用于程控交换机的用户线接口部分。属四川仪表六厂的主导产品,该产品月产 60多万块,年产值达三千多万元,因此对该产品实现自动检测有其重要的实用意义。 获取的图像因其背景和目标不同而需作相应处理,图像一般都含有噪声,要获得 理想的处理结果,对图像一般需做平滑、增强等运算。平滑既可在空域中进行,也可 在频率域中进行,可根据图像本身的特性而选定。在空域中可用空域平均法。在频率 域中介绍了几种常用的理想低通滤器如ILPF、BLPF、ELPF、TLPF、同时介绍了中值 滤波器+图像增强是不考虑图像降质,只将图像中感兴趣的特征有选择性地突出,而 衰减其不需要的特征。图像增强技术也可分为频域法,空域法以及兼有空域法与频域 法的伪彩色处理,空域法增强包括灰度变换,直方图变换。 图像分割是图像处理的重要组成部分,因为一幅图像中背景和目标上的特性不同, 将图像中的各个不同区域的边缘检测出来,可达到图像分割的目的,边缘能够勾画区 域形状-并能传递大部分图像信息等优点,因此边缘检测可以看作是处理许多复杂问 题的关键,边缘并无统一的定义,可以认为是图像上的点即图像点,在该点图像强度 函数的梯度达到它的局部最大值。梯度的计算可以通过微分得到,可以用微分算子, 如Laplacian.模板卷积等。边缘检测也可分为空间域、频率域。本文介绍了几个比较重 要而且最具代表性的边缘检测器,如C侧算法、Mars边缘检测方法、Facet边缘检测 法。由于检测离不开定位,定位方法中介绍了H。U吵变换,该变换用于检测中定位, 在厚膜集成电路自动检测中,定位是通过定位标识并利用H。U吵变换对定位标识的定 位,最终实现电路的定位。 图像分割中,由于我们所处理的图像不仅仅是灰度图像,大部分要处理的图像是 彩色图像,因此在图像分割时,要根据具体应用,充分利用彩色分割,可以得到令人 满意的处理结果,本文充分利用了RoB三色分割。 图像分割需要选用一定的分割算法和阈值,本论文以SH723E产品为处理对象, 详细论述了WalliS阈值分割法、类间最大嫡阈值分割法、均值分割法、CWy分割法, 并对这几种分割法所取得的结果进行了分析,论述了这几种方法在厚膜集成电路自动 检测中的应用范围及用途。 文章结构如下: 第一章 厚膜集成电路的工艺流程和中间检验规范 第二章 厚膜集成电路产品图像的获取 第三章 厚膜集成电路产品图像的处理 第四章SH723E产品图像的处理 第五章 厚膜集戊电路的缺陷检验 第六章 结果分析及总结
【学位授予单位】:西南师范大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2001
【分类号】:TN406

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