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氟化镁增透膜的制备与多层膜LITV信号的研究

唐亚陆  
【摘要】: 超巨磁电阻材料具有激光感生电压效应,研究超巨磁电阻材料的激光感生电压效应是国际上CMR应用研究的一个重要方向。对单层膜的脉冲激光感生电压效应,研究已颇多,张鹏翔等运用微电源网络模型和瞬时平面热源模型已推导出激光感生电压公式。本文着重研究了用连续激光作光源,对不同周期、不同倾角、不同镀膜时间的四个系列多层膜的LITV效应进行了测量,得出了多层膜与单层膜有着相似的LITV效应,依然符合张鹏翔等激光感生电压公式。 如何提高CMR薄膜LITV的灵敏性,稳定性,有着重要意义。本论文研究了用真空蒸镀法在多层膜表面上镀一层MgF_2增透膜,以增加激光的透射作用,产生更大的激光电压,增加其灵敏度并保护CMR薄膜防磨损、受潮,增加其稳定性。经实验摸索,我们得出了真空蒸镀MgF_2的条件,及MgF_2增透膜在衬底上的生长速率。通过用632.8nm连续激光光源对薄膜的LITV效应检测,发现镀上MgF_2增透膜后CMR多层膜的激光感生电压增大了一倍左右。 准分子脉冲激光溅射沉积薄膜是一新兴的镀膜技术,具有很多不可比拟的优点。用准分子脉冲激光沉积MgF_2增透膜,首先要制备出致密的靶材。本文研究了如何烧结出致密的、没被氧化的MgF_2靶材。通过实验研究,摸索出了MgF_2靶材的压制条件,发现了MgF_2在空气中烧结的初始氧化温度。通过几种烧结方式对比,得出了MgF_2靶材的一种简易烧结方法。


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