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《云南师范大学》 2000年
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多元电化学沉积GaAs薄膜研究

苏红兵  
【摘要】: 根据电化学原理,采用电化学沉积方法,在自行设计及制作的 电解装置中,以石墨作为阳极材料,SnO_2导电玻璃、不锈钢和SnO_2/Al 作为阴极衬底材料,在配制的简单盐溶液中,进行GaAs和AlGaAs 薄膜生长条件系列实验。用X射线衍射仪、X射线波谱仪和日本岛 津EPMA-1600和EPMA-8705电子探针对薄膜的形貌、结构和成分进 行分析和判定,得到了化学计量比接近1:1的GaAs薄膜以及 Al_xGa_(1-x)As薄膜所希望的X值的最佳电化学沉积参数。本文从理论 上阐述了两种或两种以上元素电化学共沉积的原理,并对GaAs薄 膜成分与电化学沉积参数(溶液浓度、PH值、离子的浓度比、电 流密度、阴极材料)的依赖关系、GaAs薄膜的性能作了研究,为 获得实用的GaAs薄膜材料打下了基础。
【学位授予单位】:云南师范大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2000
【分类号】:TB43

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 刘晶;纳米砷化镓(GaAs)薄膜的电化学制备与研究[D];太原理工大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【同被引文献】
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中国硕士学位论文全文数据库 前3条
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【二级参考文献】
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【相似文献】
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6 杜景永;液相电化学沉积超硬碳膜[D];大连理工大学;2006年
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8 苏红兵;多元电化学沉积GaAs薄膜研究[D];云南师范大学;2000年
9 马运周;电化学沉积垂直介孔薄膜及其性能研究[D];武汉理工大学;2012年
10 米龙飞;电化学沉积CuInSe_2薄膜的制备工艺及其光伏性能研究[D];合肥工业大学;2013年
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