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《西北大学》 2003年
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钛基钠米金刚石涂层场发射阴极工艺研究

翟春雪  
【摘要】: 目前市场上对平板显示器的需求日益增多,而在各类平板显示器中,场致发射平板显示器兼有阴极射线管显示器和液晶显示器的优点,具有极大的发展潜力。 本文介绍了一种器件结构和制备工艺简单,易于实现大屏幕显示,且适于批量生产的新型场发射阴极,即在金属钛衬底上均匀涂覆纳米金刚石涂层,然后在高温下退火处理实现两者的牢固键合,并形成欧姆接触。 从理论上研究了制备金属基金刚石纳米涂层场发射阴极的可能性,并根据相关理论,提出一整套工艺设想。 重点探索了涂覆金刚石纳米涂层的方法、实现金刚石与金属钛的热粘接工艺以及氢等离子体处理的工艺参数,筛选出了在本实验系统中的最佳方法和工艺条件。 采用XRD、SEM、TEM、LRM和EDS等测试分析手段,对实验样品进行检测分析。分析结果表明,热处理后,样品表面确实生成了TiC,实现了金刚石纳米涂层与金属Ti的键合。自行设计组建了场发射性能测试系统,并用其测试了样品的场发射性能,表明实现热粘接后样品具有较好的场发射性能。
【学位授予单位】:西北大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2003
【分类号】:TN141

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【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 杨延宁;纳米金刚石复合涂层场发射关键技术研究[D];西北大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 陈楠;纳米金刚石粉涂层的场发射显示器驱动电路的设计[D];西北大学;2006年
2 刘立军;纳米金刚石场致发射显示器驱动电路设计[D];西北大学;2008年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 廖梅勇,张智,廖克俊,王万录;金刚石的场致发射[J];半导体技术;1999年01期
2 陈光华,张生俊,宋雪梅,李英兰,张阳;新型金刚石薄膜场电子发射的特性[J];北京工业大学学报;2000年03期
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7 王明智,王艳辉,关长斌,臧建兵;金刚石表面的Ti、Mo、W镀层及界面反应对抗氧化性能的影响[J];复合材料学报;1996年02期
8 林志贤,郭太良;场致发射材料的特性[J];福州大学学报(自然科学版);2000年04期
9 单莺;场发射显示[J];光电子技术;1997年04期
10 孙永伟,王万录,廖克俊,冯斌;金刚石薄膜场发射显示器[J];光电子技术;1999年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 唐安俊;黄本生;刘炯;薛屺;;金刚石金属化热力学分析及影响因素研究[J];四川有色金属;2007年01期
2 倪曼,张军,李德杰,胡思正;场发射显示器件阴极研究进展[J];半导体光电;2002年05期
3 彭俊彪;有机光电子技术——(一)有机/高分子电致发光技术及产业化进展[J];半导体光电;2003年04期
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5 林志贤;郭太良;;应用于彩色FED显示器的亮度与灰度校正技术[J];半导体光电;2008年05期
6 陈光华,蔡让岐,宋雪梅,贺德衍;多孔硅衬底微波CVD金刚石薄膜的制备及其场电子发射[J];半导体学报;2004年03期
7 陈亮,张耿民,王鸣生;非定向氧化锌纳米线阵列的场发射[J];北京大学学报(自然科学版);2005年05期
8 陈光华,张生俊,宋雪梅,李英兰,张阳;新型金刚石薄膜场电子发射的特性[J];北京工业大学学报;2000年03期
9 王岚,高学绪;金刚石表面的金属化[J];北京科技大学学报;1997年05期
10 薛唯,周代兵,蒋玉蓉,喻志农,卢维强;无机厚膜电致发光显示器件的研究[J];北京理工大学学报;2005年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 单玉香;张付杰;;OLED技术及其应用[A];河南省化学会2010年学术年会论文摘要集[C];2010年
2 郭倩蕊;翁冬冬;刘越;王涌天;;轻便型新式交互投影墙[A];图像图形技术研究与应用2009——第四届图像图形技术与应用学术会议论文集[C];2009年
3 杨延宁;张志勇;翟春雪;张艳阳;杨万昌;;基于单片机的纳米金刚石涂层场发射显示器驱动电路设计[A];中国电子学会第十五届信息论学术年会暨第一届全国网络编码学术年会论文集(下册)[C];2008年
4 李建祥;李军建;杨威;王晓辉;;有机电致发光器件及其封装研究进展[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
5 杨威;李军建;李建祥;王晓辉;;OLED封装材料气体渗透率测试的发展[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
6 陈昌龙;臧传晟;;LED显示屏灰度控制系统在NiosⅡ中的实现[A];2006年全国LED显示技术应用及产业发展研讨会论文集[C];2006年
7 吴成昌;肖夏;赵新为;张生才;;纳米晶体硅量子点场发射冷阴极的研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
8 殷玉喆;马煜;周庆国;桂康年;陈遐举;徐英莹;;面向多个服务领域的光源色度国家基标准装置体系的建设[A];走近CIE 26th——中国照明学会(2005)学术年会论文集[C];2005年
9 殷玉喆;马煜;周庆国;桂康年;郑阳;侯素芳;芦汉生;;光源色度国家基标准装置体系的建设[A];走近CIE 26th——中国照明学会(2005)学术年会论文集[C];2005年
10 崔春娟;张军;苏海军;刘林;傅恒志;;Si-TaSi_2共晶自生复合场发射材料的定向凝固行为[A];2007年全国博士生学术论坛(材料科学与工程学科)论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李春;可溶性有机小分子电致发光器件制备与性能研究[D];华南理工大学;2011年
2 张磊;有机电致发光显示屏的制备及其漏电流研究[D];电子科技大学;2010年
3 韩宪越;新型CaB_4晶体的生长与物理性质研究[D];燕山大学;2011年
4 叶文江;向列相液晶在基板上锚泊的机理、检测及应用[D];河北工业大学;2011年
5 孙玉宝;液晶显示器动力学响应研究[D];河北工业大学;2010年
6 张鑫;全彩LED模块显示屏颜色均匀性校正研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
7 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
8 王凯歌;微束斑X射线源的理论与实验研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2002年
9 王艳辉;金刚石磨料表面镀钛层的制备、结构、性能及应用[D];燕山大学;2003年
10 李爱农;疏浚工况泥沙磨损机理及其耐磨新材料研究[D];武汉理工大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 高桂超;场渗透对n型硅场发射电子能谱的影响[D];中国海洋大学;2010年
2 高上;液晶电视侧导光LED背光源设计与驱动控制技术[D];中国海洋大学;2010年
3 徐绘峰;基于FPGA的LED视频显示屏控制系统的设计[D];武汉科技大学;2010年
4 方建放;碳纳米管薄膜场致发射性能研究[D];东华大学;2010年
5 张剑锋;PDP电极通断检测原理及应用[D];西安电子科技大学;2011年
6 王鑫峰;PDP丝网印刷设备结构设计与分析[D];西安电子科技大学;2011年
7 陈光源;宽频电磁发射机驱动软件设计[D];中国地质大学(北京);2011年
8 魏广;SiC纳米阵列生长与控制及其场发射特性[D];太原理工大学;2011年
9 孙瑜;全彩AMOLED屏驱动设计及其节能显示模式的探索[D];吉林大学;2011年
10 梁云静;树枝状咔唑衍生物的合成及电致发光性质研究[D];大连理工大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 倪曼,张军,李德杰,胡思正;场发射显示器件阴极研究进展[J];半导体光电;2002年05期
2 邓记才;张兵临;姚宁;;FED显示器的亮度控制[J];半导体光电;2006年01期
3 潘存海,李俊岳,花吉珍,王少岩;用于半导体激光器热沉的金刚石膜/Ti/Ni/Au金属化体系的研究[J];半导体学报;2003年07期
4 倪赛力;常永勤;陈喜红;张寅虎;多永正;强文江;龙毅;;影响氧化锌纳米材料场发射性能的因素[J];北京科技大学学报;2007年S2期
5 孙永伟,王万录,廖克俊,冯斌;金刚石薄膜场致发射的研究[J];重庆邮电学院学报(自然科学版);2000年01期
6 钱开友;林仰魁;徐东;蔡炳初;孙卓;;碳基场发射冷阴极材料的研究[J];材料导报;2004年05期
7 於黄中;彭俊彪;;场致发射阴极材料的研究与进展[J];材料导报;2005年01期
8 黄元盛;邱万奇;罗承萍;黄彩娥;;改性金刚石膜的形貌、结构和附着性能[J];材料科学与工艺;2006年01期
9 江天府;田时开;曾葆清;杨中海;;锥形场发射体尖端温度的分析[J];电子科技大学学报;2006年05期
10 杰瑞;SED显示原理[J];电器评介;2004年12期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 刘立军;张志勇;杨延宁;翟春雪;;一种基于CVD法的纳米碳管微观分析及场致发射特性的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 茅东升;无氢非晶金刚石薄膜的制备及其电子场发射性能研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
2 蔡让岐;微波等离子体 CVD纳米金刚石场致电子发射研究[D];兰州大学;2002年
3 翟春雪;纳米金刚石涂层场发射阴极结构与性能研究[D];西北大学;2008年
4 郑新亮;用于FED阴极的碳纳米管薄膜改性及其场发射性能研究[D];西北大学;2009年
5 徐乐;碳基薄膜材料的制备与场发射特性研究[D];吉林大学;2009年
6 闫军锋;菊花状ZnO纳米线簇的制备及其吸波性能研究[D];西北大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 余恒;现代独立电源系统无刷交流发电机设计和Saber建模仿真技术研究[D];南京航空航天大学;2002年
2 张传萍;场发射显示器件制备中的几个关键问题的研究[D];吉林大学;2004年
3 王勇;FED专用电源及二极型FED数码显示驱动电路的设计与制作[D];郑州大学;2005年
4 秦坤;纳米金刚石涂层场发射阴极工艺改进及理论研究[D];西北大学;2005年
5 陈楠;纳米金刚石粉涂层的场发射显示器驱动电路的设计[D];西北大学;2006年
6 薛红;FED驱动控制系统的研制与FPGA设计[D];福州大学;2006年
7 戴丽娟;碳纳米管场发射显示器件驱动电路的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2006年
8 宗耿;碳纳米管FED驱动系统的研究[D];东南大学;2005年
9 王广军;FED阴极制备及其驱动电路研究[D];郑州大学;2007年
10 李晓燕;钛基纳米金刚石涂层场发射阴极制备及特性研究[D];西北大学;2008年
【二级引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 杨延宁;纳米金刚石复合涂层场发射关键技术研究[D];西北大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 刘立军;纳米金刚石场致发射显示器驱动电路设计[D];西北大学;2008年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 廖梅勇,张智,廖克俊,王万录;金刚石的场致发射[J];半导体技术;1999年01期
2 茅东升,赵俊,李炜,王曦,柳襄怀,诸玉坤,周江云,范忠,李琼,徐静芳;金刚石薄膜电子场发射研究进展[J];材料导报;1998年06期
3 王保平 ,谢吉华;场致发射阵列真空荧光平板显示屏的研究[J];电子器件;1992年02期
4 冯进军,彭自安,柯春和,李兴辉;薄膜边缘场发射电子源[J];电子器件;1994年03期
5 廖复疆;真空微电子学的新发展[J];电子学报;1991年03期
6 黄庆安;真空微电子学的研究与发展[J];电子学报;1995年10期
7 王艳辉;王明智;关长斌;王爱荣;;Ti镀层对金刚石-铜基合金复合材料界面结构和性能的作用[J];复合材料学报;1993年02期
8 王明智,王艳辉,关长斌,臧建兵;金刚石表面的Ti、Mo、W镀层及界面反应对抗氧化性能的影响[J];复合材料学报;1996年02期
9 赵建平,王曦,陈智颖,杨石奇,柳襄怀,施天生;非晶金刚石薄膜的制备及其性能研究[J];功能材料与器件学报;1997年01期
10 李运钧,张兵临,薛运才,毕兆琪,龚知本;脉冲激光沉积类金刚石薄膜涂层研究[J];金刚石与磨料磨具工程;1996年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张淑芬;场发射阴极材料[J];云南大学学报(自然科学版);1992年S1期
2 C.E. Holland;李秀清;;场发射微型三极管研究[J];微纳电子技术;1992年04期
3 朱长纯,淮永健,吴春瑜,李毓民;氧化-削尖自对准多层金属栅的工艺研究[J];电子器件;1994年03期
4 贾正根;场发射阴极特性[J];真空电子技术;1994年02期
5 姜祥祺;气体对氮化钽热场阴极发射特性的影响[J];真空科学与技术;1989年03期
6 王小菊,林祖伦,祈康成;场发射显示器阴极的制备方法及研究现状[J];现代显示;2005年03期
7 邓周虎;王雪文;李林;闫军锋;任兆玉;;纳米碳管的制备及其场发射性能研究(英文)[J];光子学报;2007年02期
8 吕文辉;宋航;李志明;赵辉;曹连振;赵海峰;蒋红;缪国庆;金亿鑫;;电泳淀积三极管结构的碳纳米管场发射显示阴极(英文)[J];电子器件;2008年01期
9 解滨,陈波,韩邦诚,尼启良,巩岩;用有限元方法计算X光源场发射阴极电流[J];光学精密工程;2004年02期
10 刘爱青;元光;顾长志;;钛酸钡薄膜的制备及其场发射特性研究[J];真空电子技术;2006年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 钟定永;刘双;王恩哥;;大面积定向碳氮纳米管场发射阴极[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
2 李晓燕;张志勇;翟春雪;张富春;刘立军;纪红芬;;电泳法制备纳米金刚石场发射阴极[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
3 彭自安;李兴辉;;场发射阴极在微波管中的应用[A];中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会论文集[C];1997年
4 柯春和;李兴辉;;平板CRT的进展[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集(下册)[C];1995年
5 朱长纯;;纳米场发射显示器和技术[A];纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集(上卷)[C];2001年
6 张鲲;朱长纯;邓宁;李玉魁;刘卫华;;户外用高亮度碳纳米管三极发光管的研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2001年
7 彭自安;冯进军;柯春和;李兴辉;;真空微电子学进展[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集(下册)[C];1995年
8 李常杰;;MPCVD制备出的碳纳米管的热场发射性能研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第5分册)[C];2010年
9 李松玲;王如志;赵维;宋志伟;王波;严辉;;脉冲激光沉积氮化铝薄膜及沉积参数对其场发射性能的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
10 庄学曾;;真空微电子微波管[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集(上册)[C];1995年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 苏 林;点“气”成“金”[N];大众科技报;2003年
2 北方交通大学 滕 枫 徐 征 赵谡玲;FED:CRT的又一次平板化[N];计算机世界;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 翟春雪;纳米金刚石涂层场发射阴极结构与性能研究[D];西北大学;2008年
2 王莉莉;基于碳纳米材料的场发射光源研究[D];华东师范大学;2008年
3 刘延霞;低维氧化锌功能材料的气敏、发光及场发射性质的研究[D];兰州大学;2011年
4 解滨;微型X射线源研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
5 王伶俐;生长于硅纳米孔柱阵列衬底上氧化锌的场发射和气体传感性能研究[D];郑州大学;2013年
6 苑举君;TiO_2纳米结构及n-型TiO_2纳米结构/p-型金刚石异质结制备、表征及性质研究[D];吉林大学;2011年
7 李国华;一维硫属化合物纳米材料的可控合成及相关NANO/MEMS器件特性研究[D];合肥工业大学;2011年
8 钟明龙;金属氧化物纳米结构的热氧化法制备、生长机制及功能特性[D];华南理工大学;2012年
9 杨延宁;纳米金刚石复合涂层场发射关键技术研究[D];西北大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 翟春雪;钛基钠米金刚石涂层场发射阴极工艺研究[D];西北大学;2003年
2 袁光军;表面传导场发射阴极的模拟[D];中国海洋大学;2013年
3 程元红;场发射阴极微小栅孔阵列的研制[D];电子科技大学;2007年
4 秦坤;纳米金刚石涂层场发射阴极工艺改进及理论研究[D];西北大学;2005年
5 张艳阳;电泳沉积法制备纳米晶金刚石场发射阴极研究[D];西北大学;2009年
6 庞飞燕;碳纳米管的低压化学气相沉积法制备及其应用研究[D];华东师范大学;2009年
7 徐丽娟;纳米荧光粉制备及原位碳纳米管场发射显示器件的研制[D];天津大学;2008年
8 袁红梅;碳纳米管场发射荧光管的制备及性能研究[D];电子科技大学;2010年
9 慕晓文;栅极冷阴极结构碳纳米管管束阵列场发射性能的研究[D];兰州理工大学;2011年
10 崔雪梅;碳纳米管植入金属电极表面的方法及其应用技术研究[D];上海交通大学;2011年
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