MEMS中多能量场耦合问题数值方法研究--《西北工业大学》2001年硕士论文

《西北工业大学》 2001年

MEMS中多能量场耦合问题数值方法研究

【摘要】： 本文在松弛法的基础上，使用艾特金（Aitken）加速法使其加速，从而形成了一种新的数值方法——加速松弛法，用以求解MEMS中多能量场耦合问题。这种方法使用单一能量场求解器，因而具有很好的通用性。本文给出了加速松弛法在求解两个和多个能量场耦合问题时的计算方案。最后推导了静电-力耦合问题的加速松弛法的计算方案，并通过几个算例与松弛法相比较，结果证明加速松弛法是精确的，并且在大多数时候，尤其当静电-力强耦合时，加速松弛法比松弛法迭代次数大大减少，程序运行时间也明显缩短，甚至当松弛法不收敛时，仍能继续计算直到达到“拉入电压”，因而具有显著的优势。再加上加速松弛法本身所具有的通用性，这样加速松弛法就成为一种收敛速度快、稳定性较好、并能使用单一能量场求解器求解任意多个能量场耦合问题的通用算法。

【关键词】：数值方法 加速松弛法 能量场 耦合 静电－力
【学位授予单位】：西北工业大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2001
【分类号】：O242.26;O302
【DOI】：CNKI:CDMD:2.2001.007917
【目录】：

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	【引证文献】
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前1条

1	高行山,林胜勇,朱西平;加速松弛法及其在静电—力耦合问题仿真分析中的应用[J];机械强度;2001年04期

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1	高洁;多晶SiC梳齿驱动器的结构分析与优化设计[D];西安理工大学;2006年

	【参考文献】
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1	才海男,马秀兰,李鹏生,浦昭邦,周兆英;微机械技术发展现状[J];哈尔滨工业大学学报;1997年06期
2	王立鼎,崔天宏,吕琼莹;微型机械研究的现状及展望[J];科技导报;1993年12期
3	朱俊华,周兆英,叶雄英;微型机电系统的计算机辅助设计系统简介[J];仪表技术与传感器;2000年01期

	【共引文献】
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1	张耀明,温卫东,王利民,赵熙强;弹性力学平面问题中一类无奇异边界积分方程[J];力学学报;2004年03期
2	杨永谦,蔡乾亚;开口角隅应力集中的重复子域边界元法[J];武汉交通科技大学学报;1996年05期
3	夏恒,宫镇,陆森林;用边界元法计算高速车辆内部气流噪声[J];江苏大学学报(自然科学版);2003年01期
4	欧贵宝;陈建兵;赵东杨;;分域边界元法双映射奇异元计算应力强度因子[J];哈尔滨工程大学学报;2005年06期
5	赵勉,陈红勋,马峥;二元单叶片泵叶轮水力径向力的计算方法[J];流体机械;2004年02期
6	肖来元,易传云,傅国祥;基于最大拉应变理论的共轭鼓形齿面裂纹研究[J];华中理工大学学报;1997年03期
7	李卓谡;赵玉洁;贾晓娜;;单晶硅与单晶铜的微摩擦性能比较[J];机械管理开发;2008年02期
8	李月琴;张文辉;;尺寸与表面效应及其对微齿轮强度的影响[J];机械强度;2008年02期
9	谭允祯，马有才，崔洪义，张广文，郝迎格，贾广成;放顶煤工作面顺槽顶板煤层自燃的规律[J];煤炭学报;1996年02期
10	邹雪莲;陈红勋;;单流道泵叶轮水力径向力的数值计算[J];流体机械;2006年01期

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1	王立鼎;;中国MEMS的研究与开发进程(简稿)[A];MICONEX2002仪器仪表与自动化技术发展学术大会会议指南[C];2002年

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1	孙吉勇;MEMS光栅光调制器阵列及投影显示系统的光学分析和实验[D];重庆大学;2008年
2	张力;用于半导体和金属表面三维微/纳结构制备的新型电化学加工方法及其应用[D];厦门大学;2008年
3	金长宇;水电站地下厂房的围岩稳定分析与变形预测[D];大连理工大学;2007年
4	秦忠诚;3D-FSM·DDM间接边界元数值系统及其在矿山工程中的应用研究[D];山东科技大学;2007年
5	朱瑞;三维轴对称问题的超收敛算法与分裂外推[D];四川大学;2007年
6	王卫东;面向MEMS设计的微流体流动特性研究[D];西安电子科技大学;2007年
7	王涛;高g值环境典型微结构动态特性及其测试技术研究[D];大连理工大学;2008年
8	曾祥勇;筏板基础无网格计算方法及其在考虑上部结构共同作用分析中的应用[D];重庆大学;2007年
9	梁军生;微型直接甲醇燃料电池结构、工艺及阳极气液输运研究[D];大连理工大学;2007年
10	孙海涛;基于径向基神经网络的无网格法及其应用[D];华中科技大学;2006年

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前10条

1	高述辕;等价无奇异边界积分方程及工程应用[D];山东理工大学;2008年
2	李金;再生核粒子形函数选取的研究[D];燕山大学;2007年
3	张悦;一种新型三自由度并联微动机构的分析与设计研究[D];燕山大学;2008年
4	周良兴;基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统建模及其实施技术研究[D];浙江大学;2008年
5	吕浚潮;位势问题快速多极边界元法[D];华中科技大学;2007年
6	林鑫;基于双层位势的虚边界元计算方法[D];重庆大学;2008年
7	吴胤霖;二维热传导方程的Dirichlet边值问题的Galerkin边界元计算方法[D];重庆大学;2008年
8	汪学海;基于双层位势的非定常扩散方程的虚边界元解法[D];重庆大学;2008年
9	杨松;表面粗糙度的三维motif评定方法研究[D];南京农业大学;2008年
10	张谭;微尺度通道内流动与换热特性的数值研究[D];北京工业大学;2009年

	【同被引文献】
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前3条

1	崔梦,胡明,严如岳;SiC薄膜材料在MEMS中应用的研究进展[J];压电与声光;2004年06期
2	李文军,赵小林,蔡炳初,戴旭涵;微光机电系统及其应用[J];微细加工技术;2001年03期
3	夏人伟;大型复杂航天器的若干结构与力学问题[J];宇航学报;2001年04期

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1	晁鲁强;基于有限元的AMS-02顶部支架结构分析与优化设计[D];山东大学;2005年
2	李勇;微夹持理论与系统的研究[D];清华大学;2002年
3	王利;基于有限元模态分析的曲轴裂纹探测研究[D];武汉理工大学;2004年
4	郑英彬;叉指式微加速度计的耦合场分析[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2002年

	【二级引证文献】
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前1条

1	吕胜利,韩永志;MEMS器件建模与仿真分析方法研究[J];机械强度;2005年04期

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前1条

1	王勇;场路结合并考虑耦合的磁力机械分析与设计方法研究[D];合肥工业大学;2006年

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前1条

1	王亚幂;多场耦合系统设计技术与应用研究[D];华中科技大学;2006年

	【二级参考文献】
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前7条

1	王立鼎,崔天宏,吕琼莹;微型机械研究的现状及展望[J];科技导报;1993年12期
2	王立鼎,吴一辉;抓住机遇,推动我国微型机械的快速发展[J];中国机械工程;1999年02期
3	鲍敏杭;微机械技术正面临新突破(一)[J];仪表技术与传感器;1993年06期
4	鲍敏杭;微机械加工技术发展概况(二)[J];仪表技术与传感器;1998年06期
5	丁衡高;微米／纳米技术──面向21世纪的军民两用技术[J];仪器仪表学报;1995年S1期
6	赵家齐，郭永丰，刘永红，赵万生;用于纳米级加工的特种加工技术[J];仪器仪表学报;1995年S1期
7	邬敏贤，金国藩，严瑛白;微光学器件及其应用前景[J];仪器仪表学报;1995年S1期

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前10条

1	王能超,方景龙;关于加速松弛法的注记[J];华中科技大学学报(自然科学版);1987年S3期
2	陶化成;加速松弛法最佳参数的确定[J];数值计算与计算机应用;1984年02期
3	E.B.Fainberg ,宁佐理;与下伏介质电性连接的非均匀球形地球的电磁感应[J];地球物理学进展;1991年01期
4	沈克精;关于积分∫_a~bf（x）costxds的数值计算方法[J];安徽大学学报(自然科学版);1995年03期
5	贺国强;M.K.d.V.方程的数值方法[J];高等学校计算数学学报;1984年01期
6	贺国强;广义K.d.V.方程的数值方法[J];计算数学;1985年04期
7	谭鹤良;一种通过对数复变换解非线性方程的数值方法[J];湖南大学学报(自然科学版);1986年02期
8	薛禹群,谢春红;水文地质中应用的数值方法述评[J];水文地质工程地质;1980年01期
9	凌颖;“96·3”暴雨过程的环流形势和能量场特征分析[J];广西气象;1997年S1期
10	周军;静电的应用[J];科学24小时;2005年05期

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1	夏利清;范佘明;;船舶在波浪中破舱稳性数值计算方法综述[A];2004年船舶水动力学学术会议论文集[C];2004年
2	杜涛;吴子牛;;混合解析/数值方法在隐式求解湍流双方程模型上的应用[A];计算流体力学研究进展——第十一届全国计算流体力学会议论文集[C];2002年
3	袁湘江;桂业伟;涂国华;;捕捉间断的高精度数值方法[A];计算流体力学研究进展——第十一届全国计算流体力学会议论文集[C];2002年
4	蔡永恩;王仁;;一种新的模拟地震过程的数值方法——LDDA[A];1999年中国地球物理学会年刊——中国地球物理学会第十五届年会论文集[C];1999年
5	李春萍;黄久生;;大庆射孔弹厂静电综合治理方法[A];中国物理学会第九届静电学术年会论文集[C];2000年
6	宁宁;;台风“杜鹃”在广西降水偏少原因的分析[A];2004年广西气象学会学术年会论文选集[C];2004年
7	杜涛;吴子牛;杨勇;;混合解析/数值方法及其湍流数值模拟上的应用[A];首届全国航空航天领域中的力学问题学术研讨会论文集（上册）[C];2004年
8	张薇;;通过静电科研培养大学生综合素质[A];中国物理学会第十一届静电、电磁防护与电磁兼容学术年会论文集[C];2003年
9	蔡泽伟;宋晓刚;叶春阳;;丁坝附近岸线变化的数值解[A];第十四届全国水动力学研讨会文集[C];2000年
10	王士民;刘丰军;叶飞;汪成兵;;隧道塌方研究中的数值方法发展现状[A];中国土木工程学会第十二届年会暨隧道及地下工程分会第十四届年会论文集[C];2006年

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1	内蒙古霍孝萍;人体防静电的小技巧[N];电子报;2009年
2	高智;流体运动的扩散抛物化理论、方程和数值方法[N];科学时报;2001年
3	本报记者江南雪;干燥季节当心静电骚扰你[N];健康时报;2004年
4	胡楫;静电可伤身[N];健康报;2002年
5	李刚;电脑，让静电走开[N];中国电脑教育报;2003年
6	本报记者柳艳芳;开放办学，打造优势聚合“能量场”[N];天津教育报;2008年
7	窦翔;印刷中的静电与抗静电[N];中国包装报;2002年
8	王恒廖红;静电[N];科学时报;2002年
9	晓斌立东;自主创新引领“绿色治疗”[N];科技日报;2006年
10	李志云;静电产生的原因及故障排除[N];中国包装报;2004年

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前10条

1	唐立;Dirichlet问题的概率数值方法[D];中南大学;2003年
2	范振成;几类随机延迟微分方程解析解及数值方法的收敛性和稳定性[D];哈尔滨工业大学;2006年
3	常亮明;弹塑性接触问题的数值方法及应用[D];清华大学;1989年
4	彭向阳;几类特殊约束矩阵方程问题及其最佳逼近问题[D];湖南大学;2006年
5	冷欣;刚性奇异延迟微分方程的数值方法[D];中国工程物理研究院;2005年
6	宋庭新;基于网格计算的雷电电磁环境仿真[D];华中科技大学;2005年
7	李范良;几类特殊矩阵的左，右逆特征对问题及其矩阵方程组问题[D];湖南大学;2005年
8	杨迪雄;隔震结构优化设计和工程数值方法中的混沌[D];大连理工大学;2004年
9	陈立峰;倒向随机微分方程数值方法与非线性期望在金融中的应用：g-定价机制及风险度量[D];山东大学;2007年
10	唐亚勇;几何过程及随机模型的一些新结果[D];四川大学;2005年

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前10条

1	林胜勇;MEMS中多能量场耦合问题数值方法研究[D];西北工业大学;2001年
2	朱霞;几类随机数值方法的稳定性与收敛性[D];华中科技大学;2004年
3	王琦;油轮静电防爆智能控制系统[D];上海海运学院;2001年
4	王海军;确定多重应力强度因子的数值方法的研究[D];合肥工业大学;2002年
5	高翔;油轮静电防爆智能数字监测控制系统[D];上海海运学院;2002年
6	杨放;曲线宽频带线天线分析的数值方法[D];西北工业大学;2004年
7	周文华;静电照像直接制版版材及性能研究[D];北京化工大学;2000年
8	张红辉;油轮静电防爆技术的研究[D];上海海运学院;2001年
9	董广;钢梁—钢管混凝土框架结构抗震性能研究[D];沈阳工业大学;2005年
10	张媛颖;[D];上海师范大学;2005年