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XeCl准分子激光器的设计研制及其特性研究

任韧  
【摘要】: 准分子激光在工业制造、科学研究、生物医学、核聚变、光电子、半导体等重要的课题研究领域上有广阔的发展远景。特别是准分子激光在光电材料、光电技术上有得天独厚的优良性能。因此本文以气相沉积、外延生长、巨磁薄膜、金刚石及其它薄膜制备及后续的光刻,激光与物质的相互作用,等离子体研究为目的,研制获得了激光脉宽18ns,单脉冲能量150mJ,矩形光斑大小2cm×1cm,束散角3mrad,最高重复频率5HZ的XeCl准分子激光器。 本论文首先对准分子激光特点,原理,脉冲放电进行了评述,其次,以试制XeCl准分子激光器为目的,探索并完成了电极设计、回路电感减小方法、火花开关设计、ns陡前沿放电、紫外预电离、辉光放电、脉冲功率技术研究。针对目前准分子激光结构采用了简化结构,进行了物理设计,工程设计,实现了较大激励体积,尤其在实现电路的可靠性,独立性,安全性,充配气系统的密封准确配比上作了大量工作。准分子激光器具有电极试制代价小,电感低,激光脉宽为18ns等特色。 最后论文对试制成功的准分子激光器参数进行了测试。试验结果表明激光特性良好,与同类相比,准分子激光装置激光输出情况良好。


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