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《西北工业大学》 2004年
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MEMS工艺版图三维重构技术研究

方志华  
【摘要】: MEMS工艺版图三维重构是MEMS CAD关键技术之一,同时也是微机电系统集成平台(MEMS GARDEN 3.0)工艺级核心模块,是实现“top-down”设计“bottom-up”验证的必要条件。因此该技术研究具有重要的应用价值。 本文首先介绍了MEMS加工技术,并对常用加工工艺:基体创建,沉积,光刻,刻蚀以及键合进行几何建模,得到能够被三维重构系统识别的数据模型。 其次将工艺流程文件和CIF文件作为输入,实体模型作为输出,构建了MEMS工艺版图三维重构系统,给出了详细的三维重构处理流程图,并描述了开发过程中所用到的数据结构及工艺处理算法。 最后,以陀螺为例详细描述了该系统,并利用该系统重构了陀螺实体,其结果完全满足要求。 除此之外,本文还探讨了MEMS工艺版图三维重构发展趋势,由三维实体模型导出二维掩模版图是一个非常有前景的发展方向。
【学位授予单位】:西北工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2004
【分类号】:TH703

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