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《西北工业大学》 2007年
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基于柔性衬底的微型换能器技术

王艳  
【摘要】:柔性MEMS器件具有非常广泛的应用前景。本文以柔性衬底基微型换能器为研究对象,对MEMS柔性衬底技术展开研究,设计研发了气泡型微致动器和柔性触觉传感器。 论文阐述了聚酰亚胺基、PDMS基、金属基三种不同柔性衬底基微型换能器的工艺实现方法。 针对金属基柔性微换能器实现方法,研发了一种用于主动流动控制的气泡型微致动器。设计了微致动器的结构,并对其变形行为进行仿真分析。采用光刻、刻蚀、旋涂等工艺制作了气泡型微致动器。通过对气泡样件的压力载荷-变形行为测试,表明致动器具有较好的线性度和较大承载能力。结合特定翼型的风洞实验,验证微致动器作动可以影响翼型表面的压强分布,从而可用于增升等控制目的。 通过对聚酰亚胺基和PDMS基微型换能器的研究,设计了一种柔性开关式微型触觉传感器。对触觉传感器的结构进行了设计,并通过仿真分析研究不同结构尺寸对其变形行为的影响,得到了优化的结构尺寸。按照设计出的传感器结构,提出了两种衬底材料的触觉传感器加工工艺,并采用覆铜聚酰亚胺薄膜制作了微触觉传感器。
【学位授予单位】:西北工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2007
【分类号】:TN712

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【参考文献】
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