收藏本站
《西安理工大学》 2001年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

激光干涉仪跟踪式无导轨测量的研究

邹建忠  
【摘要】:激光是一种新型的光源,广泛应用于国民经济的各个部门。尤其 激光具有良好的稳定性和再现性,特别适合于精密计量。以激光作光 源的干涉仪是一种高精度的计量仪器。 目前国内外对中小尺寸的测量技术日趋完善,出现了许多测量中 小尺寸零件的新方法、新仪器,这些基本能够满足现代化大生产的要 求。但是,在大型机械设备的制造、安装过程中,大型工件的几何尺 寸和形位误差的测量和质量控制是保证整套设备质量的关键因素之 一。因而,大型零部件、组装件的整体外形几何参数和形位误差的测 量以及加工现场的在位测量成为一个难题。针对大型工件的尺寸测量, 通常采用的测量方法属于有导轨测量,测量中须配备与工件尺寸相当 长的精密导轨。二十多年来一直研究的激光合成波长的测距仪由于种 种问题也未能商品化。因此,为改善这种状况,对激光干涉仪进行改 进,研究一种新的无导轨导向,能自动跟踪目标的测量仪器就成为一 项有现实意义的任务。 本文通过理论分析和模拟实验,确定了以光电池为光电接收传感 器,在计算机统一协调下自动跟踪测量反射镜的测量系统。研制出一 套涉及光学、精密机械、电子、计算机以及自动控制等多种学科技术 的测量系统。该系统测试精度和自动化程度较高、具有良好的测试性 能,能较好地解决无导轨导向测量。经过大量实验,证明这种系统为 大工件组装现场的测量提供了新的可实施方法。
【学位授予单位】:

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 陈铁君;;JG-Ⅱ型自动补偿激光干涉仪[J];仪表技术与传感器;1980年02期
2 B.A.Ханов;魏和荣;;用激光干涉仪的测量方法的分析[J];国外计量;1981年01期
3 陆伯印,赵美蓉,徐燕申,周胜;带有三维激光干涉仪和压电位移执行器的新型主动隔振系统[J];仪器仪表学报;1996年02期
4 廖澄清,朱小平,王蔚晨,杜华;激光干涉仪测长精度校准方法的研究[J];现代测量与实验室管理;2005年01期
5 韩大勇;;数控机床线性轴定位与重复定位精度的检测[J];计测技术;2008年04期
6 ;测角度的激光干涉仪[J];光学精密工程;1978年05期
7 顺;;组合式激光干涉仪[J];应用光学;1993年02期
8 周星;用激光干涉仪测量数控机床回转轴精度[J];工具技术;1997年02期
9 张虎,周云飞,陈吉红,师汉民;数控机床补偿误差的激光干涉仪识别技术[J];华中科技大学学报(自然科学版);2001年12期
10 宋波;;大尺寸石英玻璃光学均匀性的测量[J];中国建材科技;2006年01期
11 于迎红;;激光干涉仪线性光束准直的快速调整方法[J];计量技术;2006年09期
12 曹永洁;万军;傅建中;张孝三;;激光干涉仪在机床定位精度测量中的误差分析[J];机床与液压;2007年04期
13 蒋秀兰;祝逸庆;马建敏;傅云霞;蔡明钢;葛爱明;王青;陈磊;;双波长激光量块干涉仪减小量块中心长度测量不确定度的措施[J];上海计量测试;2010年06期
14 陈洪芳;林虎;殷建杰;;数字式测高仪定位误差的测量及补偿[J];机电工程;2011年02期
15 刘丽君;;JG-Ⅱ型自动补偿激光干涉仪鉴定会[J];仪表技术与传感器;1979年06期
16 高木信雄;张耀宏;;使用激光干涉仪的直线度、超高分辨率系统[J];国外计量;1987年04期
17 ;GLI-100型量块激光干涉仪研制成功[J];计量学报;1992年03期
18 范志刚,浦昭邦,徐进;量块检定用激光干涉仪[J];应用激光;1996年01期
19 茅振华,王鹏翔,裘越;激光干涉仪在测长机检定中的应用[J];计量技术;1999年09期
20 暴亚琼;苏寒松;;反馈式激光干涉仪条纹锁定现象分析[J];电子测量技术;2004年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 方明;;激光干涉仪在水平仪检定器检定中的运用[A];江苏计量测试学术论文集(2009)[C];2009年
2 曹利波;;计量保证方案在国防计量中的应用[A];2007年度中国航空学会计量技术专业委员会计量与质量专题学术交流会论文集[C];2007年
3 曹利波;;利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测[A];高精度几何量光电测量与校准技术研讨会论文集[C];2008年
4 王广宇;洪延姬;叶继飞;;激光干涉仪测微冲量原理[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集(下)[C];2007年
5 夏瑞雪;陈晓怀;;纳米三坐标测量机误差检定方法研究[A];第七届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2009年
6 周罡;王瑞;;指示类量具检定仪示值误差校准方法的探讨[A];江苏计量测试学术论文集(2009)[C];2009年
7 胡小唐;禹国强;刘安伟;杨勇;;三维一体化超微定位系统的研制[A];第五届全国STM学术会议论文集[C];1998年
8 林命週;冯德益;姚立珣;虞雪君;;跟踪式后续显著地震的模糊预测[A];1997年中国地球物理学会第十三届学术年会论文集[C];1997年
9 高宏堂;叶孝佑;高思田;;实现激光干涉信号均匀分布取样方法的研究[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
10 卢明臻;高思田;杜华;崔建军;;大范围纳米结构测量系统原子力测头的研究[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 通讯员 汤庆;城南街道推行“风筝式、跟踪式、访谈式、预约式”学习[N];泰州日报;2009年
2 宁凌霄 王孟康 记者 王军政;市政协提案办理讲质量[N];咸阳日报;2010年
3 李国良李彦庄 马云龙;跟踪式服务 立体式保障[N];人民公安报;2007年
4 本报记者 张洵涛;跟踪式服务:旅行社的制胜法宝[N];中国旅游报;2003年
5 团结吴颖 罗洪彬;奉新创新机制促农民就业[N];宜春日报;2007年
6 佘晖 记者 陈铁;我国首台跟踪式太阳能光伏发电机研制成功[N];中国质量报;2008年
7 罗伟邓友发;成都“十一五”科技项目在抗震救灾中大显身手[N];中国知识产权报;2008年
8 高海滨;跟踪式培训法很给力[N];中国石化报;2011年
9 赵广军 吴智俊;春风化雨释坚冰[N];武威日报;2006年
10 本报评论员;上下同欲力能拔山[N];深圳特区报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 周忠海;基于激光干涉原理的海洋灾害预警关键技术研究[D];中国海洋大学;2009年
2 高思田;计量型原子力显微镜的研究[D];天津大学;2007年
3 张斌;精密工程中免形状测量的关键技术研究[D];北京工业大学;2012年
4 程方;纳米三坐标测量机测控系统关键技术研究[D];合肥工业大学;2010年
5 赵健;面向复合式测量的自感应AFM测头开发与系统研究[D];天津大学;2011年
6 黎永前;纳米精度测量与校准系统关键技术研究[D];西北工业大学;2003年
7 李鹏;加工中心在机复合式检测系统的关键技术研究[D];大连海事大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邹建忠;激光干涉仪跟踪式无导轨测量的研究[D];西安理工大学;2001年
2 于乃昭;激光干涉仪在低频微小振动测量中的应用[D];哈尔滨工程大学;2011年
3 来展;激光干涉仪信号处理系统及纳米测量机控制系统的研究[D];中国计量科学研究院;2011年
4 黄根旺;斐索型移相式激光干涉仪研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
5 刘宁;双光路激光干涉测长仪及其在三坐标机上的使用[D];天津大学;2005年
6 卢刚;跟踪式激光三角法表面形状测头的研制[D];西安理工大学;2004年
7 刘法泉;Canon KrF扫描光刻机套准精度的改进方法研究[D];上海交通大学;2008年
8 王二辉;EAST三道HCN激光干涉仪的研制的研制[D];中国科学技术大学;2010年
9 王欢;数控机床几何误差非接触圆轨迹检测方法研究[D];西安理工大学;2007年
10 赵敏;一种跟踪式新型表面形状测头的研究[D];西安理工大学;2002年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978