收藏本站
《西安理工大学》 2003年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

锆钛酸铅铁电薄膜的制备及性能测试

杨莺  
【摘要】: 锆钛酸铅(PZT)薄膜具有优良的介电、铁电、压电和光电特性,且抗辐射性强,不挥发,已广泛地应用于微电子,集成光学和微机械系统(MEMS)等高技术领域。PZT的制备方法有很多,其中溶胶—凝胶(Sol-Gel)方法可以和集成电路(IC)光刻工艺相互兼容,处理温度低,有大面积涂敷性能,能精确地控制组分,无需复杂的真空设备,成本低廉,所以对于集成铁电薄膜电容的应用这种方法有很广阔的前景。 本文利用Sol-Gel技术在掺锡的In_2O_3透明导电薄膜(ITO)衬底和低阻硅衬底上成功地制备了PZT铁电薄膜。运用了X射线衍射,Sawyer-Tower电路和LCR电桥分别对薄膜的晶化温度,结构和电学性能进行了测试。XRD结果表明:在680℃低温退火的条件下ITO衬底上的PZT薄膜晶化较完善;在800℃退火的条件下低阻硅衬底上的PZT薄膜形成钙钛矿相。Sawyer-Tower电路和LCR电桥测试结果表明:以ITO为衬底的PZT的剩余极化强度(Pr)为19.36μC/cm~2,矫顽场强(Ec)为95kV/cm,介电常数ε为639,损耗因子tgδ为0.23。以Si为衬底的PZT的剩余极化强度(Pr)为47.7μC/cm~2,矫顽场强(Ec)为18kV/cm,介电常数ε为158,损耗因子tgδ为0.04-0.045。
【学位授予单位】:西安理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2003
【分类号】:TB43

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张明明;贾泽;尹聪;王林凯;任天令;;集成工艺中湿法刻蚀对锆钛酸铅性能的影响(英文)[J];纳米技术与精密工程;2011年04期
2 王春栋;滕保华;程登木;周飞;;两表面层铁电薄膜体介质层效应理论研究[J];四川师范大学学报(自然科学版);2011年05期
3 李振豪;李琳;普朝光;;应用于非制冷焦平面器件上的PMN-PT铁电薄膜[J];硅酸盐学报;2011年09期
4 田玥;唐艳学;石旺舟;;0.74Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.26PbTiO_3薄膜的光学性能研究[J];上海师范大学学报(自然科学版);2011年03期
5 郭淑兰;王敏;徐学东;李佳;;Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)薄膜的ICP刻蚀及性能研究[J];微电子学;2011年04期
6 王光明;张铭;李廷先;郭宏瑞;严辉;;氧压对脉冲激光沉积LaNiO_3薄膜结构和电学性能的影响[J];功能材料;2011年S2期
7 郭红力;刘果;李雪冬;肖定全;朱建国;;两步法快速退火对PMN-PT薄膜结构和性能的影响[J];功能材料;2011年08期
8 王振林;;K_xNa_(1-x)NbO_3无铅压电陶瓷的制备工艺分析[J];热加工工艺;2011年13期
9 王英龙;张鹏程;刘虹让;刘保亭;傅广生;;晶粒尺寸及衬底应力对铁电薄膜特性的影响[J];物理学报;2011年07期
10 何远钦;;压电能量收集概论[J];装备制造技术;2011年08期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 杨轶;张宁欣;任天令;刘理天;;集成铁电器件中的关键工艺研究[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
2 于艳菊;王福平;赵连城;;稀土Eu掺杂改性的PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3铁电薄膜[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
3 曹伟;莫小洪;田杰;项爱民;王西成;;采用Zr(NO_3)_4制备高取向度PZT铁电薄膜的溶胶-凝胶工艺[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
4 陈辉;;非理想表面层对铁电薄膜极化率分布的影响[A];创新沈阳文集(B)[C];2009年
5 毕振兴;张之圣;胡明;;射频磁控溅射法分别制备PZT和BST铁电薄膜的分析与比较[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
6 朱建国;肖定全;刘洪;朱基亮;;多层纳米铁电薄膜介电增强机理[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
7 王彪;;纳米铁电薄膜及其相关材料相变性能的尺寸效应研究[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
8 马运新;宋世庚;苏树兵;郑应智;;纳米晶PZT/PT铁电薄膜的尺寸效应[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
9 李金隆;张鹰;李言荣;邓新武;熊杰;;BST类铁电薄膜的最低晶化温度和自组装生长研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
10 周易春;;无铅铁电薄膜及其存储器的制备和失效行为[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集(下)[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;日开发出锆钛酸铅光电材料[N];中国高新技术产业导报;2003年
2 黄帅 张子雨 周亚楠;西安交大研制出一种新材料[N];中国经济时报;2009年
3 记者 鸣琦;西安交大无铅压电材料研究取得重大突破[N];陕西日报;2009年
4 闵乃本;科学的春天带来阳光雨露[N];科技日报;2008年
5 吴昌红 吴红梅;我省三十多个项目登榜[N];新华日报;2006年
6 许祖华 冯国;我国首次研制出无铅压电材料[N];中国技术市场报;2009年
7 ;“两院”入驻15位上海新院士[N];上海科技报;2005年
8 记者 李军;无铅压电材料锆钛酸钡钙诞生[N];中国化工报;2009年
9 记者 张哲浩;西安交大研制出无铅压电材料[N];科技日报;2010年
10 组稿 责任编辑 郭易楠;“阳光世博”助推新能源经济[N];上海科技报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 卢兆信;铁电薄膜相变性质的高阶格林函数研究[D];电子科技大学;2011年
2 张芹;铁电薄膜极化性质的理论研究[D];吉林大学;2011年
3 杨锋;铁电薄膜与隧道结存储器件性能模拟及失效机理研究[D];湘潭大学;2010年
4 尹伊;铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究[D];浙江大学;2011年
5 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
6 郭惠芬;钙钛矿铁电薄膜的制备及其表面微区电学性质研究[D];河南大学;2010年
7 朱哲;铁电薄膜生长机制和畴变演化的研究[D];湘潭大学;2011年
8 裴玲;钛酸铋基铁电薄膜的Sol-gel法制备及改性研究[D];武汉大学;2010年
9 迟庆国;钛酸铅基铁电薄膜组织结构控制及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 符小荣;非制冷红外探测器用PbTiO_3系铁电薄膜的Sol-Gel法制备及性能研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨莺;锆钛酸铅铁电薄膜的制备及性能测试[D];西安理工大学;2003年
2 许华玉;有机铁电P(VDF-TrFE)薄膜的制备及铁电性能研究[D];湘潭大学;2010年
3 周光惺;BLT/PZT/BLT铁电薄膜的溶胶—凝胶制备及性能研究[D];华中科技大学;2009年
4 张才建;PT系铁电薄膜生长及其性能研究[D];电子科技大学;2010年
5 吴勤勇;铁电薄膜残余应力X射线衍射测试方法研究[D];湘潭大学;2010年
6 白刚;外延钙钛矿薄膜中铁电相变的唯象理论研究[D];汕头大学;2010年
7 姚东来;铁电薄膜的物理性质研究[D];苏州大学;2002年
8 王敬宇;铁电薄膜、半导体薄膜应力的X射线衍射表征与研究[D];电子科技大学;2011年
9 万晓婧;激光沉积法制备SrTiO_3铁电薄膜及其性能分析[D];北京工业大学;2011年
10 张夏;应变对铁电薄膜电热性能的调控[D];湘潭大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026