电容式压力传感器检测电路设计

【摘要】：传感器是获取信息的主要元件。多层膜结构的电容式压力传感器具有高灵敏度，良好的稳定性，以及低温度系数等优点，近年来得到了极大关注与重视，而检测压力信息的电路系统则是发挥其优势的重要技术基础与关键。本论文在对多层膜电容式压力传感器结构模型、原理等研究分析基础上，基于灵敏度等关键技术参数完成了其检测电路的系统结构设计和模块电路设计。检测电路的基本设计原理是将传感器的弱电容信号转化为电压信号，所设计的系统结构主要包括振荡器、限幅器、鉴频器和放大器等电路。其中，振荡器的任务是把电容的变化体现为电压的改变，根据几种电路的优缺点比较，最终采用调频电路进行检测电路的设计。限幅器用来限制幅值的变化，并使幅值成为定值，并使输出量的变化只有.f，以它作为判断被测量的大小。鉴频器则是用来使整个系统线性化，并将频率信号转换为电压输出至放大器，最后再加入放大器将电压放大。为验证所设计检测电路的可行性，论文分别对各模块电路和系统电路进行了仿真分析。仿真结果表明，各模块电路和系统电路的性能都达到了预期的设计要求。最后总结了论文的主要工作及研究成果，同时提出了后期需要继续研究的工作。

【学位授予单位】：西安电子科技大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2011
【分类号】：TP212.1

下载全文更多同类文献

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式

	【参考文献】
	【参考文献】

中国期刊全文数据库

前5条

1	刘娜;黄庆安;秦明;;一种新型CMOS电容式绝对压力传感器的设计[J];传感技术学报;2006年05期
2	石延平;倪立学;周庆贵;;一种新型薄膜压磁电感式压力传感器的研究[J];传感技术学报;2010年09期
3	孙圣和;;现代传感器发展方向[J];电子测量与仪器学报;2009年01期
4	田慧;栗保明;;压电式压力传感器的测量与标定系统[J];电子元器件应用;2008年09期
5	蔡永壮;王振龙;季英瑞;;振弦式压力传感器在桥梁索力监测中的应用[J];筑路机械与施工机械化;2009年01期

中国硕士学位论文全文数据库

前1条

1	郭强;基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测[D];厦门大学;2008年

	【共引文献】
	【共引文献】

中国期刊全文数据库

前10条

1	董国强;李德才;郝瑞参;;基于铁磁性液体的微差压传感器研究[J];传感技术学报;2009年01期
2	梁俊超;周岳斌;刘桂雄;;正交实验方法在传感器数字化参数优化中应用[J];传感器与微系统;2010年04期
3	张鹏;赵国强;孙红艳;;模糊传感器在嵌入式皮带秤中的应用[J];传感器与微系统;2010年08期
4	柏受军;王鸣;郎朗;赵发;;LVDT位移传感器电压电流转换电路的设计[J];传感器与微系统;2012年04期
5	毛良明;沈省三;肖美蓉;;物联网时代来临大坝安全监测技术的未来思考[J];大坝与安全;2011年01期
6	张鹏;马海燕;孙红艳;;基于单片机的浴室湿度模糊控制系统的设计[J];电脑知识与技术;2011年36期
7	方俊生;施式亮;吴媛媛;丁晓娜;;应用89C51单片机测量矿井风机转速[J];电子测量技术;2010年01期
8	程啟华;解乃军;;传感器比对标定中的频谱修正算法[J];电子测量技术;2010年07期
9	杨剑涛;徐国华;程小亮;;一种AUV自主采样控制技术的研究与实现[J];电子测量技术;2010年11期
10	邓文华;张华;李玉龙;;一种用于光纤传感的数字式检测系统设计[J];电子测量技术;2010年12期

中国重要会议论文全文数据库

前3条

1	陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集（下册）[C];2010年
2	陈耿新;刘桂雄;黄国健;;基于非抢占优先级排队模型的NCAP通信模式实时性分析与提高[A];2010中国仪器仪表学术、产业大会（论文集1）[C];2010年
3	杨青锋;;我国传感技术的现状及发展之路[A];称重科技——第十届称重技术研讨会论文集[C];2011年

中国博士学位论文全文数据库

前6条

1	陈家赢;对地观测传感器信息资源建模和管理研究[D];武汉大学;2010年
2	周岳斌;IEEE 1451混合接入模式下网络化智能传感系统建模与实现[D];华南理工大学;2012年
3	陈震;黑龙江省森工林区“智慧林业”框架应用技术研究[D];东北林业大学;2012年
4	陈兆栓;预应力混凝土斜拉桥施工监控概率方法研究[D];华南理工大学;2012年
5	李平杰;多支承索杆振动参数识别研究[D];华南理工大学;2012年
6	王昕;多功能传感器信号重构若干关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	闫耀斌;磁悬浮推力轴承电感式传感器研究[D];大连交通大学;2010年
2	李磊;基于网络化虚拟仪器的车辆零部件检测系统的研发[D];武汉理工大学;2011年
3	冯若晔;基于ARM的弹底压力测试技术的研究[D];中北大学;2011年
4	施贤真;预应力混凝土斜拉桥施工过程内力测量概率分析[D];华南理工大学;2011年
5	刘耀辉;光子晶体光纤光栅传感特性的研究[D];南京邮电大学;2011年
6	常志强;嵌入式温度测量和控制系统的设计与实现[D];电子科技大学;2011年
7	于勇;低压直喷发动机稀释燃烧优化及爆震控制研究[D];天津大学;2012年
8	顾简;基于GPRS的农业微环境多参数无线监测系统研究[D];哈尔滨理工大学;2011年
9	沙春哲;气体传感器长期稳定性监测系统[D];哈尔滨理工大学;2011年
10	李伟;双悬臂梁式光纤Bragg光栅位移传感器[D];昆明理工大学;2011年

	【二级参考文献】
	【二级参考文献】

中国期刊全文数据库

前10条

1	杨道虹,徐晨,董典红,张剑铭,阳启明,金文贤,沈光地;硅腐蚀停止技术制备超薄硅膜中的分形现象[J];半导体学报;2005年01期
2	文西芹,刘成文,杜玉玲,张永忠;磁头型磁弹性扭矩传感器补偿问题研究[J];传感技术学报;2004年03期
3	张光照,刘焱;微机械加工技术-硅的各向异性刻蚀[J];传感器技术;1997年01期
4	亢春梅,曹金名,刘光辉;国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用[J];传感器技术;2002年06期
5	白泰礼,何羚,王彩云,邓铁六;基于振弦式传感器的多功能智能检测仪[J];传感器技术;2004年03期
6	吴德会,王晓红;基于支持向量机的电容式压力传感器建模方法[J];传感器技术;2005年07期
7	吴雄;汽车MEMS传感器的应用及发展[J];传感器世界;2002年03期
8	程坤;黄庆安;秦明;茅盘松;;一种简单实用的差频方法原理研究及应用[J];电子器件;2006年02期
9	曹向群,唐九耀,范丽娜;高温热氧化中SiO_2层厚度的控制研究[J];光电子·激光;2001年09期
10	张书玉,张维连,张生才,姚素英;SOI高温压力传感器的研究现状[J];河北工业大学学报;2005年02期

中国硕士学位论文全文数据库

前2条

1	徐静;单晶硅自停止腐蚀工艺研究[D];中国工程物理研究院;2005年
2	张建辉;硅基微压力传感器关键工艺研究[D];国防科学技术大学;2005年

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前10条

1	张燕燕;侯朝焕;;一种新型解耦陀螺的结构及电路设计[J];微计算机应用;2009年09期
2	刘春元;梁亢;;LM556定时器在频率检测中的应用[J];集成电路应用;1996年05期
3	金隐华;;简单而性能良好的非固定周期峰值检测电路[J];电子测量技术;1997年04期
4	华崇良;;大件金属物体检测器[J];实用电子文摘;1997年04期
5	王现军;宋豫全;;适于高塑性变形材料测量的电容传感器[J];电工技术;2003年11期
6	王亚峰;安敏;于丽人;;人体接触或接近检测方法[J];上海计量测试;2006年01期
7	王锐;周泽坤;张波;;用于PWM控制DC-DC变换器的电流检测电路[J];电子与封装;2006年07期
8	陈淼;贾存良;;TBA-9型利乐无菌包装机的条码识别系统的分析与改进[J];自动化技术与应用;2006年09期
9	王立刚;张殿元;;低噪声光电检测电路的研究与设计[J];电测与仪表;2007年08期
10	白泽生;;一种二氧化碳气体检测方法[J];传感器与微系统;2007年07期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	刘彦斌;秦晨飞;梁华国;黄正峰;史冬霞;;基于多路复用的老化预测电路设计研究[A];第十四届全国容错计算学术会议(CFTC'2011)论文集[C];2011年
2	颜晗;李平;;干涉型光纤水听器光信号检测电路设计分析[A];中国声学学会2006年全国声学学术会议论文集[C];2006年
3	宗贵聪;;基于CPLD/FPGA的无功电流的检测[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集（Ⅲ）[C];2008年
4	张志虎;贾红光;王宏宇;李明哲;汪东林;;某型检测箱“电源检测电路”存在的问题及改进[A];系统仿真技术及其应用（第7卷）——'2005系统仿真技术及其应用学术交流会论文选编[C];2005年
5	巴雅尔;谷劲松;刘爱民;戈兴茹;;SVC装置阀组检测电路的研究[A];电力电容器、无功补偿技术论文集[C];2006年
6	祖梅;崔贺;;门限检测电路的实用化设计[A];第十四届全国混合集成电路学术会议论文集[C];2005年
7	白水成;张世昌;李崇福;李成伟;黄增林;;新一代天气雷达(CB)发射机的检测与维修[A];第26届中国气象学会年会第三届气象综合探测技术研讨会分会场论文集[C];2009年
8	孙怀东;;人工气候室的湿度检测系统设计[A];第十九届电工理论学术年会论文集[C];2007年
9	沈以鸿;王家森;高上凯;姜进;何丽静;林榕;;经颅多普勒血流分析仪的研制[A];首届中国仪器仪表学会医疗仪器分会学术会议论文集[C];1993年
10	张静;仇洪冰;王长龙;刘佳;;IR-UWB高速射频检测电路的研究[A];2007'仪表，自动化及先进集成技术大会论文集（二）[C];2007年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	山东车法高;海信KFR-26GW/77ZBP型变频空调电路分析[N];电子报;2006年
2	山西李小菊;TDA8844 简介[N];电子报;2006年
3	四川贺学金;Hi-Fi/AV攻放保护电路原理剖析[N];电子报;2007年
4	山东尹怀志;自制实用安全的家庭用电保护器[N];电子报;2006年
5	江西曾海萍;床边监护仪体温检测电路的检修[N];电子报;2008年
6	;带保险丝检测电路的集成电路存储器及其方法[N];中国有色金属报;2003年
7	河北索星红;为万用表加装红外遥控器检测电路[N];电子报;2006年
8	吉林孙德印;LG CF-29K92F彩电保护电路原理与维修[N];电子报;2006年
9	昆明吴建平;一种可控硅保护及负载短路检测电路[N];电子报;2001年
10	陕西瞿贵荣;鉴别数码管好坏的检测电路简介[N];电子报;2008年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	周敬然;加速度传感器ICP关键制作工艺及检测电路的研究[D];吉林大学;2008年
2	李梦超;基于隧道效应的纳米级振动检测理论与技术的研究[D];天津大学;2007年
3	郑永红;气体摆式倾角传感器的敏感机理及影响性能的关键因素研究[D];北京邮电大学;2008年
4	张海峰;毛细管电泳芯片非接触电导检测技术研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
5	蒋新华;锂离子电池组管理系统研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2007年
6	李欣欣;宏/微两级驱动的大行程高精度二维定位平台基础技术研究[D];浙江大学;2008年
7	孟祥艳;牛肉物理特性与品质的检测方法研究[D];吉林大学;2010年
8	施阳和;微机械石英陀螺敏感元件的设计与制造研究[D];华中科技大学;2008年
9	殷凤良;等离子弧焊接过程的数值模拟[D];天津大学;2007年
10	李强;无位置传感器无刷直流电动机运行理论和控制系统研究[D];东南大学;2005年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	许晶;电容式压力传感器检测电路设计[D];西安电子科技大学;2011年
2	左大伟;声表面波气体传感器信号检测电路的设计与优化[D];电子科技大学;2010年
3	刘方;基于全微分理论的高精度应变检测系统设计[D];东北林业大学;2011年
4	韩磊;电磁式微机械陀螺检测电路设计[D];华北电力大学（北京）;2008年
5	刘珍;热激励微机械谐振器闭环自激/检测电路研制[D];杭州电子科技大学;2011年
6	周晓奇;电容式微机械加速度计处理电路研究[D];浙江大学;2008年
7	王岳生;硅微电容式加速度传感器检测电路研究[D];重庆大学;2009年
8	付通;电动助力转向控制策略的研究与检测电路的设计[D];大连理工大学;2006年
9	张抒;用于微加速度计检测电路的自适应滤波器的设计与实现[D];吉林大学;2009年
10	赵桓;有源电力滤波器检测新方法的研究及其实现[D];西安科技大学;2009年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡神州行卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62791813 010-62985026	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南