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《西安电子科技大学》 2011年
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电容式压力传感器检测电路设计

许晶  
【摘要】:传感器是获取信息的主要元件。多层膜结构的电容式压力传感器具有高灵敏度,良好的稳定性,以及低温度系数等优点,近年来得到了极大关注与重视,而检测压力信息的电路系统则是发挥其优势的重要技术基础与关键。 本论文在对多层膜电容式压力传感器结构模型、原理等研究分析基础上,基于灵敏度等关键技术参数完成了其检测电路的系统结构设计和模块电路设计。检测电路的基本设计原理是将传感器的弱电容信号转化为电压信号,所设计的系统结构主要包括振荡器、限幅器、鉴频器和放大器等电路。其中,振荡器的任务是把电容的变化体现为电压的改变,根据几种电路的优缺点比较,最终采用调频电路进行检测电路的设计。限幅器用来限制幅值的变化,并使幅值成为定值,并使输出量的变化只有.f,以它作为判断被测量的大小。鉴频器则是用来使整个系统线性化,并将频率信号转换为电压输出至放大器,最后再加入放大器将电压放大。 为验证所设计检测电路的可行性,论文分别对各模块电路和系统电路进行了仿真分析。仿真结果表明,各模块电路和系统电路的性能都达到了预期的设计要求。 最后总结了论文的主要工作及研究成果,同时提出了后期需要继续研究的工作。
【学位授予单位】:西安电子科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2011
【分类号】:TP212.1

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【参考文献】
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