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《西安电子科技大学》 2011年
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基于MEMS的静电控制加速度微开关分析及测试

郝亚锋  
【摘要】:MEMS加速度微开关作为一种集传感器及执行器于一体的惯性器件,不仅能够感知加速度信号,而且受控于加速度阈值来执行开关动作。 根据加速度开关工作原理,建立了静电控制加速度微开关模型。基于微开关模型,设计了一种具有显著阈值特性的加速度微开关,并建立了静电力、阻尼力、惯性力、弹性力及Casimir力等多力耦合作用下的开关动力学模型。开关结构主要由悬臂梁弹性元件和其支撑的惯性质量块构成。采用COMSOL Multiphysics软件分析阀值为23.6g。离心机测试装置测得开关闭合阈值均值为24g,偏差仅为1.6%,开关响应时间为5.32 ms。
【学位授予单位】:西安电子科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2011
【分类号】:TM564

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