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《西安电子科技大学》 2006年
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2×2微机械(MEMS)光开关

徐永青  
【摘要】:本文通过对MEMS光开关工作原理的系统分析,根据静电驱动MEMS光开关对机电特性和光耦合特性的要求,主要以2DMEMS光开关为研究方向,开展了新型MEMS工艺加工技术研究、机械结构设计研究、光耦合技术研究。设计实现了一种新型的体硅微机械加工工艺,并在工艺实验的基础上,通过ANSYS软件,利用有限元分析方法,优化设计了几种具有大位移、低电压驱动特性的1×2、2×22DMEMS光开关结构单元,完成了一种新型的1×2和一种2×2 2DMEMS光开关设计加工,对其机电特性和光纤耦合特性进行了测试。其中2×2静电梳齿电容驱动2DMEMS光开关具有在驱动电压22V作用下,驱动位移>50μm,开关时间小于1.5ms的良好机电性能;1×2静电梳齿电容驱动2DMEMS光开关在采用直接切割光纤光耦合方式下,具有在驱动电压38V作用下,开关时间小于1ms、最大插损小于2.5dB、隔离度<-50dB的综合光开关性能指标。
【学位授予单位】:西安电子科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2006
【分类号】:TN256

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 赵飞;基于静电驱动的F-P腔可调谐光滤波器的设计[D];吉林大学;2010年
【参考文献】
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1 禹培栋,王国忠,陈明华,谢世钟;光开关技术进展[J];半导体光电;2001年03期
【共引文献】
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2 万助军;吴亚明;李四华;;基于多模干涉耦合器的集成热光开关实验研究[J];光学学报;2006年08期
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3 张福军;几种DMIT类金属有机配合物的三阶非线性光学性能和光传输特性的研究[D];山东大学;2007年
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2 黄昱勇;光学薄膜在投影显示和光开关中的应用[D];浙江大学;2002年
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4 纪平;微机械光开关微反射镜的制作和驱动结构的有限元分析[D];吉林大学;2004年
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7 郑毅;聚合物8x8高速热光光开关集成芯片驱动与控制系统的研究[D];华中科技大学;2004年
8 韩晓星;用于热光光开关的聚合物薄膜波导制作[D];华中科技大学;2004年
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10 明安杰;8×8 MOEMS光开关的准直、耦合系统设计及实验研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
【同被引文献】
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1 李拴庆,付士萍;微电子机械系统[J];半导体技术;2001年08期
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3 杨亦飞,张伟刚,刘波,韦占雄,殷昀虢,开桂云,董孝义;一种新颖的宽带可调光纤光栅滤波器[J];光电子·激光;2005年08期
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7 李勇,李玉和,李庆祥,訾艳阳;计及边缘效应的非平行梳状驱动器的静电力计算[J];清华大学学报(自然科学版);2003年08期
8 刘军营,楮金奎,朱向荣,韩光平;微机电系统的发展[J];山东理工大学学报(自然科学版);2003年01期
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2 龚怀民;基于MEMS的微机械滤波器研究[D];电子科技大学;2006年
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7 王运;何治柯;;核酸分子“光开关”特性钌(Ⅱ)配合物研究进展[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
8 宋金声;;光开关的技术进展和应用[A];全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议(OFCIO’2001)论文集[C];2001年
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