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《西安电子科技大学》 2009年
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一款半导体材料电阻率测量的恒流源系统设计

杨帆  
【摘要】: 随着新材料的研制和开发,对材料电阻率的测量显得日益重要,目前国内微电子工业中多采用直线阵列等间距四探针作为测量常温下材料电阻率的方法,应用四探针法测量电阻率已引起人们的重视。四探针测量系统的优点是设备简单操作方便,精确度高,对样品的形状无严格要求。恒流源是一种能向负载提供恒定电流的电路,它是四探针电阻率测试系统中的重要组成不分,可以说恒流源的性能在很大程度上决定了整个四探针测试系统的性能。 恒流源电路通常是指一个输出电流大小与外部影响无关的电子电路。实际上,当该电路的外部条件在一定范围内变化时,提供负载的电流基本保持不变。它已广泛应用于半导体材料参数的测量仪器、教育、科研和实际生产之中。电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多,四探针法是一种广泛采用的标准方法。它的优点是设备简单操作方便,精确度高,对样品的形状无严格要求,而作为四探针测试仪重要组成恒流源电路就显得尤为重要。 本文从恒流源的有基本概念入手,对恒流源的应用和表述作了较为详细的介绍和分析;然后介绍直流稳压电源的基本概念、基本构成;接下来,对恒流源进行了比较详细的描述,其中对几种恒流源电路进行的分析;接着介绍了四探针测试仪和与自主设计的恒流源电路,该电路采用LM317三端可调式集成稳压器作为稳压部分的核心,由改进型的晶体管恒流源电路作为恒流部分的核心,并使用了达林顿管TIP122进行扩流,然后对电路进行了软件模拟测试,达到规定的要求;最后,运用Protel99SE软件把电路制成印刷线路板,并对装配好的线路板进行了测试和调整。 最后,总结全文指出了不足和自己的一些体会,并给出进一步研究的方向。
【学位授予单位】:西安电子科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2009
【分类号】:TN86

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 徐远志,晏敏,黎福海;数字化智能四探针测试仪的研制[J];半导体技术;2004年08期
2 周全德;硅片少子寿命的直排四探针测试[J];半导体学报;2001年03期
3 李晨山;孙以材;王伟;;半导体四探针测试仪新型恒流源的开发[J];电子工业专用设备;2007年02期
4 尉广军,朱宇虹;几种恒流源电路的设计[J];电子与自动化;2000年01期
5 徐和飞,朱名日,张烈平;大功率恒流源新的稳流控制方法[J];桂林工学院学报;1999年03期
6 孙以材,刘新福,高振斌,孟庆浩,孙冰;微区薄层电阻四探针测试仪及其应用[J];固体电子学研究与进展;2002年01期
7 宿昌厚,鲁效明;论四探针法测试半导体电阻率时的厚度修正[J];计量技术;2005年08期
8 王亚,李鹏,徐立军;一种单极性输入双极性输出压控恒流源[J];仪器仪表学报;2001年S1期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 盛法生,范雅俊;适合计算机接口的数控恒流器件研究[J];半导体技术;1999年05期
2 刘煜,赵小宁,尉广军,任文霞;一种高效可控恒流源[J];半导体技术;2002年05期
3 胡小玲,徐萍萍,阮颖,于海鹰,高国,王林,赵夕彬;半导体激光器可靠性评估系统设计[J];半导体技术;2005年09期
4 谢辉;刘新福;贾科进;闫德立;田建来;;四探针和EIT测试微区薄层电阻的研究与进展[J];半导体技术;2007年05期
5 任献普;刘新福;黄宇辉;柳春茹;赵晓然;赵丽敏;;基于EIT技术的微区薄层电阻测试系统研究[J];半导体技术;2009年10期
6 洪云翔,张浙源;CRD的特性和硅外延层质量控制[J];半导体技术;1994年03期
7 刘新福,孙以材,刘东升,陈志永,张艳辉,王静;无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位[J];半导体学报;2004年02期
8 张艳辉,孙以材,刘新福,陈志永;斜置式方形探针测量单晶断面电阻率分布mapping技术[J];半导体学报;2004年06期
9 陈照章,朱湘临;变压器绕组电阻快速测试方法初探[J];变压器;2002年09期
10 熊建;;数控恒流源的设计与实现[J];成都电子机械高等专科学校学报;2008年01期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 谢莉莉;汪鹏;;四探针法在半导体测试技术中的应用[A];第二十届中国(天津)'2006IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2006年
2 谢莉莉;汪鹏;;四探针法在半导体测试技术中的应用[A];第二十届中国(天津)’2006IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2006年
3 李海;刘雪峰;肖鑫龙;罗钦;刘毅冰;;LED热阻特性的电学测试系统[A];第六届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(下册)[C];2010年
4 秦玲;王有利;赖青贵;王华岑;;基于MOSFET的高精度恒流源防干扰设计[A];中国核科学技术进展报告(第二卷)——中国核学会2011年学术年会论文集第7册(核电子学与核探测技术分卷、脉冲功率技术及其应用分卷、核聚变与等离子体物理分卷)[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 周小芳;一些简单氧化物半导体薄膜的LIV效应及其输运性质研究[D];昆明理工大学;2010年
2 汪鹏;半导体薄层电阻测量新方法研究[D];河北工业大学;2011年
3 杨兴;磁场与位移感知型超磁致伸缩微位移执行器及其相关技术研究[D];大连理工大学;2002年
4 刘新福;结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究[D];河北工业大学;2003年
5 胡浩军;运动平台捕获、跟踪与瞄准系统视轴稳定技术研究[D];国防科学技术大学;2005年
6 吴恩启;微细管道内表面检测及三维重建关键技术研究[D];浙江大学;2005年
7 谈发堂;银填充导电胶中表面与界面研究[D];华中科技大学;2006年
8 袁军国;分布式马赫—泽德干涉仪的原理与应用研究[D];华中科技大学;2006年
9 张小燕;磁性聚膦腈微纳米材料的合成、性能及应用研究[D];上海交通大学;2009年
10 蒋礼;无铅焊点的热损伤电测理论及应用[D];中南大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 韩晓阳;光纤入侵探测系统的可靠性研究[D];杭州电子科技大学;2011年
2 彭书丽;外弹道动态地磁场环境模拟技术研究[D];中北大学;2011年
3 牟向阳;激光粒度仪数据采集系统研究与实现[D];济南大学;2011年
4 宋方武;专用蓄电池智能放电监测系统的研究与实现[D];电子科技大学;2011年
5 田国强;心内导管三维定位装置的信号源系统关键技术研究与开发[D];郑州大学;2011年
6 罗辉;四探针智能测试仪的研发[D];杭州电子科技大学;2010年
7 牛江虹;定量脉冲充磁技术与装置的研究[D];河北大学;2011年
8 宁晓蕾;鼠标形桌面主操作手的设计[D];南京航空航天大学;2011年
9 赵丽敏;探针游移对测试大型硅片微区薄层电阻的影响及仿真技术研究[D];河北工业大学;2011年
10 赵晓然;表征薄层电阻的Mapping技术研究[D];河北工业大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 徐远志,晏敏,黎福海;数字化智能四探针测试仪的研制[J];半导体技术;2004年08期
2 宿昌厚,鲁效明;双电测组合法测试半导体电阻率的研究[J];半导体学报;2003年03期
3 孙以材,刘新福,高振斌,孟庆浩,孙冰;微区薄层电阻四探针测试仪及其应用[J];固体电子学研究与进展;2002年01期
4 宿昌厚,鲁效明;双电测组合四探针法测试半导体电阻率测准条件[J];计量技术;2004年03期
5 宿昌厚;用四探针技术测量半导体薄层电阻的新方案[J];物理学报;1979年06期
6 孙以材,张林在;用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻[J];物理学报;1994年04期
7 孙以材,石俊生;在矩形样品中Rymaszewski公式的适用条件的分析[J];物理学报;1995年12期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李唯;;一种精密可调恒流源[J];电工技术;1994年11期
2 袁波江,薛大建,陆璇辉;低噪声半导体激光器驱动电源的研制[J];光学仪器;2005年05期
3 栾松;刘巧珍;;收尘用高压电源的比较分析和优化设计[J];机械与电子;2010年08期
4 苗新法;;基于可调稳压芯片的数控恒流源[J];电子测量技术;2011年07期
5 王士杰;场效应管恒流源特性的分析与研究[J];自动化仪表;1996年02期
6 李佛标,周寿增,夏守余,李松茂;用X-Y记录仪测量微电阻[J];计量技术;1996年04期
7 曹科峰;邓建军;赵娟;朱利君;杨磊;叶超;张纪昌;;三相交流调压模块在线性调压式恒流源中的应用[J];电源技术应用;2003年06期
8 李苏萍,张晓;视频阻抗测试仪的研制[J];半导体技术;2005年07期
9 陈国杰;黄义清;谢嘉宁;周有平;;线性非平衡电桥设计及应用[J];实验室研究与探索;2006年05期
10 李婷婷;李洪波;;数控大功率精密恒流源设计[J];通信电源技术;2006年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 蒋文均;李磊磊;;多余物控制对电位器工作的影响[A];2010年西南三省一市自动化与仪器仪表学术年会论文集[C];2010年
2 曹作群;曹红;肖红清;黄晓英;陈俊;;复合型精密恒流源[A];’02全国电工测试技术学术交流会论文集[C];2002年
3 曹科峰;邓建军;赵娟;朱利君;杨嘉;叶超;黄斌;曹宁翔;董金轩;张纪昌;于治国;陈敏;;三相交流模块在500A调压式恒流源中的应用[A];第二届全国特种电源与元器件年会论文集[C];2002年
4 吕建工;桑鹏;;高精度LED检测光源电路[A];第二十四届全国空间探测学术交流会论文摘要集[C];2011年
5 徐珊珊;张毅;卢富强;;某型电位器的射线检测技术研究[A];晋冀鲁豫鄂蒙云贵川沪甘湘渝十三省(市区)机械工程学会2008年学术年会——机电工程类技术应用论文集[C];2008年
6 赵少波;;毫欧姆级电阻测量电路设计[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(下)[C];2001年
7 谢莉莉;汪鹏;;四探针法在半导体测试技术中的应用[A];第二十届中国(天津)'2006IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2006年
8 谢莉莉;汪鹏;;四探针法在半导体测试技术中的应用[A];第二十届中国(天津)’2006IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2006年
9 罗光耀;谭杰;范植开;;恒流源磁场的设计[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
10 张振;;VARIAN 23EX直线加速器常见联锁的原因及处理[A];中华医学会医学工程学分会第八次学术年会暨《医疗设备信息》创刊20周年庆祝会论文集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 辽宁 凌丽;劣质电位器严重影响雅卓功放机质量[N];电子报;2007年
2 ;转叶扇电机的更换[N];电子报;2007年
3 辽宁 徐涛;DK-2B型电磁调速电机控制器原理与检修[N];电子报;2007年
4 南京 王祥麟;音乐信息仪的改进[N];电子报;2007年
5 湖北 余致民;给电脑主机内增加音频功放[N];电子报;2007年
6 陕西 翟怀贤;三端稳压器在微调电路中的应用[N];电子报;2007年
7 江西 高福光;阿洛卡SSD-1100型B超机故障检修两例[N];电子报;2008年
8 四川 兰虎;数字电位器应用汇集(上)[N];电子报;2006年
9 山东 张学堂;巧解有源音箱的小故障[N];中国电脑教育报;2006年
10 四川 李齐声;魅族ME型MP3机的试用及转录CD音乐经验[N];电子报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 满峰;星载电场仪关键技术研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2009年
2 袁军国;分布式马赫—泽德干涉仪的原理与应用研究[D];华中科技大学;2006年
3 黄晓伟;金刚石对顶砧上四探针法测量电阻率的有限元分析[D];吉林大学;2007年
4 郭俊福;宽禁带半导体器件的研制及其测量技术[D];中国科学技术大学;2008年
5 赵新杰;高温超导体辐照效应研究[D];中国原子能科学研究院;1999年
6 卢全国;基于GMM的微致动研究及应用[D];武汉理工大学;2007年
7 赵俊;热敏元件综合特性测试系统研究[D];华中科技大学;2007年
8 李冰寒;GaAs、GaSb基材料生长及其器件研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
9 冯仪;数控电动螺旋压力机控制与检测技术研究[D];华中科技大学;2009年
10 王晴;用于半导体激光器的脉冲恒流源理论与技术研究[D];吉林大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨帆;一款半导体材料电阻率测量的恒流源系统设计[D];西安电子科技大学;2009年
2 穆兴华;用于中高压电机软起动装置的隔离开关电源研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 秦玲;基于功率运算放大器的恒流源技术研究[D];中国工程物理研究院;2007年
4 周景迁;一种基于线性功率放大器的交流恒流源设计[D];厦门大学;2008年
5 陈广赞;基于单片机控制的恒流测试系统[D];大连理工大学;2009年
6 吴琦;PM-OLED带恒流源的驱动电路[D];电子科技大学;2005年
7 穆云田;基于单片机控制的直流恒流源的设计[D];河北工业大学;2007年
8 张艳花;恒流源偏置的磁悬浮轴承的研究[D];南京航空航天大学;2008年
9 薛清华;高精度多通道温度测量技术研究[D];华中科技大学;2007年
10 李建功;恒流源设计与实现及网络数据备份容灾系统研究[D];天津大学;2006年
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