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《西安电子科技大学》 2010年
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基于CMOS工艺的毫米波无源器件的设计

温鹏华  
【摘要】: 本文基于CMOS工艺,采用Designer与HFSS软件对平面螺旋电感进行了设计与建模,提取了不同圈数,不同线宽,不同线间距以及不同内径的电感仿真参数,在1-100GHz范围内得到的电感值为0.2-0.5nH,最大Q值为8;针对MIM电容的结构特点,提出了等效电路模型,给出了具体参数的计算方法,对等效电路模型进行了验证。在HFSS中建立了多层电容模型,分析了不同层数,不同极板面积情况下电容值、Q值以及自谐振频率的变化规律。在1-100GHz范围获得的电容值从双层时的0.002-0.015pF增大到五层时的0.02-0.05pF,而Q值则从双层时的450下降到五层时的70左右。 基于建立的螺旋电感模型及MIM电容模型,分别建立了24GHz和60GHz的带通滤波器模型,仿真结果表明,滤波器各参数能较好的满足设计要求。采用T型电感耦合结构设计了中心频率为60GHz、带宽为20GHz带通滤波器,该滤波器回波损耗为37dB,插入损耗小于1.5dB。在T型电感耦合结构的基础上,通过在34GHz处加入传输零点,获得了带宽为18GHz,回波损耗为60dB,插入损耗小于1.5dB的带通滤波器。
【学位授予单位】:西安电子科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TN12

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【参考文献】
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