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《陕西师范大学》 2018年
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真空环境下激光参数测量用运动机构及其对光束质量影响研究

王璞  
【摘要】:直线运动平台是用来搬运或定位一个负载的执行机构。其是一种全新的实现运动与精确定位的机械结构,其实现了模块化设计,功能综合化。将之前的导向、传动系统、驱动系统等整合到了一起,让整个装置变得更加简洁,可以有效的减小运动误差,装置整体运行也更加稳定。同时在激光参数综合诊断光路中,需要一种直线运动装置作为光路调整机构,其搭载各种光学元件,按照预先设定的规则,让光学元件进出光路,实现对激光参数的测量与诊断。本文针对激光参数测量用机构的特殊要求,对于直线运动平台进行重新优化设计,从而使直线运动平台满足在激光参数诊断装置中的使用要求。首先,由于激光参数诊断装置对于精度有严格要求,因此先从光机系统设计、集成化分析角度入手,对精密光学机械设计中存在的各种误差进行了全面的分析。为后期设计做好理论基础。其次,结合机构设计要求,结合摩擦传动与消隙齿轮原理,设计平移台的传动部件。驱动部件根据使用环境要求,选择旋转型超声电机。接着,为了检测设计的直线运动平台的对光路光束质量的改良情况,设计了一种实时维护装置,用来提供标准光源。通过检测的光束质量和光路工作状态的改变,从而可以评估出直线运动平台的优化程度。最后,使用光束质量分析仪测量M2因子,对于激光光束质量进行检测。根据光束质量变化情况,推出直线运动平台的优化程度。
【学位授予单位】:陕西师范大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2018
【分类号】:TN24

【参考文献】
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