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《兰州大学》 2002年
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微波等离子体 CVD纳米金刚石场致电子发射研究

蔡让岐  
【摘要】:本论文研究了在多孔硅衬底上用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)技术生长的纳米晶金刚石薄膜和不连续金刚石薄膜的场致电子发射(FEE)特性。一方面,经电化学刻蚀制备得到的多孔硅表面存在大量缺陷,当将其作为衬底进行金刚石生长时将导致很高的成核密度,并且可提高薄膜与衬底间的粘附力。另一方面,受传统半导体工业中光刻术的启发,可设想以多孔硅作模板,生长出小的金刚石突起准阵列,也不失为一种成本低廉,又可达到较好场发射效果的方法。由于多孔硅(PS)具有在室温下发出可见光的特性, 在该衬底上进行金刚石薄膜生长之前,对其发光特性进行了研究。在氧化电流密度20mA/cm2,氧化时间15min 的情况下,对得到的多孔硅立即进行了发光特性测试,发现在室温下该多孔硅可发出波长约为750nm 的可见光。用扫描电子显微镜(SEM)对其表面形貌进行了观查。观查表明:得到的多孔硅孔径大小一致,排列整齐,孔径大小约为1μm,孔隙率较高。在该多孔硅衬底上进行金刚石薄膜的生长,从获得的样品SEM 照片可以看出:在孔隙率较高的情况下,金刚石成核密度低,难以生长成连续膜,呈多晶面大颗粒分立状. 原因是, 在孔隙率较高的情况下, 衬底具有较少的固态界面层。在适当降低孔隙率的情况下,衬底与待生长的薄膜之间的固态界面层增加, 可使金刚石成核密度提高,生长出纳米晶连续膜。可通过调节氧化电流密度大小的方法,来控制孔隙率的大小, 进而在多孔硅衬底上实现纳米晶金刚石薄膜与不连续分立晶金刚石薄膜的生长。对生长得到的纳米晶金刚石薄膜和不连续金刚石薄膜的场发射特性进行了
【学位授予单位】:兰州大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2002
【分类号】:O462.4

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【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 翟春雪;纳米金刚石涂层场发射阴极结构与性能研究[D];西北大学;2008年
2 杨延宁;纳米金刚石复合涂层场发射关键技术研究[D];西北大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 李晓燕;钛基纳米金刚石涂层场发射阴极制备及特性研究[D];西北大学;2008年
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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前9条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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4 孙添飞;李想;刘逸群;付金泉;;空间行波管增益斜率及群时延斜率测量方法探讨[A];中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会论文集(上册)[C];2013年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王建勋;Ka波段回旋放大器及W波段带状束电子光学系统的研究[D];电子科技大学;2010年
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1 陈晓;模块化双管发射技术的研究[D];南京理工大学;2011年
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3 冯荣军;8.2~18GHz夹持杆衰减涂层轴向衰减分布测量系统[D];电子科技大学;2011年
4 刘其强;夹持杆衰减涂层轴向衰减分布测试系统研究[D];电子科技大学;2011年
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【同被引文献】
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中国重要会议论文全文数据库 前1条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 翟春雪;钛基钠米金刚石涂层场发射阴极工艺研究[D];西北大学;2003年
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【二级引证文献】
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1 杨延宁;纳米金刚石复合涂层场发射关键技术研究[D];西北大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 文永亮;碳纳米管阵列电泳法制备及场发射特性研究[D];电子科技大学;2011年
2 赵文中;碳纳米管薄膜阴极电泳电镀法制备及场发射性能研究[D];电子科技大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
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2 黄庆安;真空微电子学的研究与发展[J];电子学报;1995年10期
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【相似文献】
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2 本报记者 冯卫东;车窗“兼职”显示屏[N];科技日报;2010年
3 记者 李斌 沈路涛;显示技术的发展[N];新华每日电讯;2000年
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5 付毅飞;“明年造出大于30英寸彩色FED”[N];科技日报;2004年
6 记者 徐静 任朝亮 通讯员 李汉荣 王丽霞 邹莹 蒙丽;广州新增5院士历年最多[N];广州日报;2009年
7 记者 任爱青;国内FED研发提速 风险与机会同在[N];中国电子报;2007年
8 韦东远;纳米材料与纳米科技的未来发展态势[N];中国社会科学院院报;2006年
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1 蔡让岐;微波等离子体 CVD纳米金刚石场致电子发射研究[D];兰州大学;2002年
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7 魏艳君;磁控溅射SiC薄膜制备及其场发射相关性能研究[D];燕山大学;2010年
8 钱学旻;Ⅱ-Ⅵ族一维半导体纳米材料阵列的制备及其性质的研究[D];苏州大学;2009年
9 张永胜;氧化物半导体纳米结构制备及其电子场发射特性研究[D];华东师范大学;2006年
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4 李会军;氮化碳薄膜场致电子发射特性研究[D];郑州大学;2002年
5 王勇;FED专用电源及二极型FED数码显示驱动电路的设计与制作[D];郑州大学;2005年
6 李昌龄;碳纳米管模板法制备SiC纳米线的研究[D];天津理工大学;2006年
7 王广军;FED阴极制备及其驱动电路研究[D];郑州大学;2007年
8 陈媚媚;一维二氧化锡纳米材料的合成、表征及其物性研究[D];北京交通大学;2007年
9 葛宝全;场发射电子注入式有机电致发光器件研究[D];郑州大学;2007年
10 殷吉昊;纳米晶金刚石薄膜场致发射特性研究[D];电子科技大学;2003年
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