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《兰州大学》 2006年
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超高密度磁记录介质用Fe-Pt薄膜的研究

曹江伟  
【摘要】:由于超顺磁效应的限制,使用传统的CoCr基薄膜介质的硬磁盘系统记录潜力已经发挥到了极点,要想继续提高磁记录系统的记录面密度,必须探寻新的材料。本论文主要研究了FePt薄膜作为下一代垂直磁记录介质的可行性。由于化学有序的fct-FePt相具有高单轴磁晶各向异性能(7×10~7erg/cm~3),允许把晶粒尺寸降低到几个纳米左右,同时保持足够的热稳定性,从而可以获得更小的记录信息单元,以实现更高的记录密度。 本论文主要围绕着两个问题展开:第一部分是致力于降低FePt和FePt-Al_2O_3薄膜中FePt相的有序化温度。由于FePt薄膜从fcc到fct相的转变温度为500℃~600℃,目前的磁盘生产线都不能承受如此高温,因此降低FePt相的有序化温度就变得非常重要。我们通过在溅射过程中添加N_2和原位有序两种方法在一定程度上降低了FePt相的有序化温度,主要得到了以下结果: 1)溅射过程中添加15%的N_2使FePt-Al_2O_3(15vol.%)薄膜中FePt的有序化温度降低了100℃左右,并且薄膜的织构从原来的(111)织构转变为杂乱取向。结构分析表明热处理过程中N原子的释放在薄膜中形成了大量的空穴,这有利于FePt相的有序化。 2)原位有序制备的FePt薄膜其有序化温度可以降低到250℃左右,FePt-Al_2O_3(15vol.%)薄膜的有序化温度为400℃左右,这两个温度比热处理的方法的有序化温度低200℃左右。 3)400℃下沉积的FePt-Al_2O_3(15vol.%)薄膜中FePt的晶粒大小约为6nm左右,已经达到了超高密度垂直磁记录介质的要求,然而FePt晶粒大小分布需要进一步改善。 4)原位有序的FePt和FePt-Al_2O_3(15vol.%)薄膜的低温有序化和我们所使用的溅射装置的靶到基片的间距较小有关,从而低气压下被溅射的原子在到达基片时具有较高的能量,这部分能量有助于薄膜的低温有序化。 第二部分主要致力于制备垂直取向的FePt薄膜,讨论了它们作为垂直磁记录介质的可行性。由于垂直磁记录技术要求磁记录介质薄膜中晶粒的易磁化方向垂直于膜面,对于FePt薄膜来说,即具有(001)取向。我们在本论文中采用Cr(W)衬底层和[Fe/Pt]_n多层两种方法制备了垂直取向的FePt薄膜,主要结论如下: 1)直接沉积在Cr(200)衬底上的FePt或FePtCu薄膜主要表现为(200)织构。 2)使用5nm的Mo中间层,有效地抑制了FePt层和Cr衬底层之间的扩散,FePt(20nm)/Mo(5nm)/Cr(80nm)薄膜的矫顽力高达9kOe,同时
【学位授予单位】:兰州大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2006
【分类号】:O484.43

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【引证文献】
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2 阎金良,彭玉田;GaAs/GaAsAl阴极粘结X射线双晶衍射测量[J];半导体光电;1998年02期
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4 屈晓田;丁秀香;;图像模拟进行物相分析的一种简单方法[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
5 安红娜;杨祖念;肖定全;余萍;刘志强;黄昕;;电化学法制备钼酸盐和钨酸盐薄膜的生长特性研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(10)[C];2007年
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