激光散射法表面粗糙度测量仪

【摘要】： 激光散射法针对光滑表面具有速度快、精度高、抗干扰能力强的特点,在表面粗粗度测量领域有很好的发展前景。 本文针对激光散射法测量范围不大的缺点,设计出一种激光散射测量系统,结合反射检测技术、散射检测技术、单片机技术、传感器设计技术,实现了在保证散射法原有测量精度的基础上,提高测量系统的测量范围。 论文的主要研究内容包括以下几个方面: (1)归纳整理激光散射法的研究现状和发展方向。设计了一种扩大测量范围的算法。 (2)完成了测量系统前端传感器的设计,设计了传感器的电路原理图。 (3)定义了数据处理的功能模块,研究了测量算法的具体实现。