收藏本站
《宁波大学》 2017年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

Ge-Sb-Se基质光波导剥离法制备工艺研究

韩金涛  
【摘要】:近些年来,以光信息通信为主具有功耗小,抗干扰能力强的光互联技术引起了人们的广泛关注,并被广泛的应用于军事,生活,航天等方面。作为集成光学器件的基本组成部件,光波导器件的性能对整个集成光学系统的性能具有决定性的影响。硫系玻璃材料拥有较宽的透过光谱,较高的折射率和低的双光子吸收系数,以及较高的三阶非线性,在光通信、集成光器件、全光网络等领域都具有重要的应用价值,特别在中远红外波段,被证实为集成光学器件的优良载体。基于硫系玻璃材料的波导光器件适用于非线性集成光学器件的制备,因此以硫系玻璃材料为基质制备的光波导具有广泛的应用。但是目前,波导的应用在国内还处于起步摸索的阶段,制备低损耗高效率的光波导具有很大的应用前景和意义。当前国际上流行的制备光波导的方法主要有粒子刻蚀法、干刻法、湿刻法、剥离法等。由于考虑到经济简便,制备波导的流程的复杂度,我们选择了剥离法来制备光波导。这就大大简化了波导的制备流程,并避免了一些昂贵设备的购买。本文主要是利用了宁波大学红外材料与器件实验室制备的高纯度大口径Ge-Sb-Se玻璃材料作为蒸发源,采用热蒸发技术进行镀膜,并对薄膜的性能和波导形态进行了研究;在利用剥离法制备光波导的过程中,我们分别使用了正胶AZ5214和负胶N244来进行图形的转移。并将所制备的光波导进行了形貌分析和传输分析。本文研究的主要内容如下:第一章介绍了光波导的概念及其特性和硫系材料的一些特征及优点;并对国内外光波导的研究现状进行了简单的介绍。第二章介绍了光波导的一些基本知识,包括理论分析和数值方法第三章主要介绍了利用仿真软件对不同宽度和高度的波导的传输特性进行模拟仿真,并利用仿真得到的数据进行掩模板的制备第四章主要讲述了剥离法波导的制备过程,并分析了利用热蒸发制备的薄膜的优缺点;同时,分析并比较了分别利用两种不同性质的光刻胶进行波导制备的效果;在波导制备过程中,还引入了热回流的工艺,用来减少波导侧面的粗糙度。第五章主要讲述了薄膜和波导的一些基本的测试和表征。第六章是全文的总结,提出了解决方案和研究中发现的问题,指出了本文研究的不足之处,并展望了未来光波导的广阔发展前景。
【学位授予单位】:宁波大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2017
【分类号】:TN252

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 顿爱欢;魏劲松;干福熹;;Laser direct writing pattern structures on AgInSbTe phase change thin film[J];Chinese Optics Letters;2011年08期
2 曹莹;聂秋华;徐铁峰;戴世勋;沈祥;王训四;;Ge_(28)Sb_6S_((66-x))Se_x玻璃系统光学特性与结构[J];光子学报;2010年07期
3 沈亮标;徐清波;剪明明;徐键;董建峰;;平面波导光传感器的研究进展[J];激光与光电子学进展;2009年05期
4 刘启明;何漩;干福熹;钱士雄;;硫系非晶半导体薄膜中的超快光Kerr效应[J];物理学报;2009年02期
5 邹林儿;陈抱雪;陈林;袁一方;鄂书林;浜中广見;磯守;;As_2S_8玻璃条形波导的光激励法制备技术研究[J];光学学报;2006年07期
6 刘启明,干福熹;GeSe_2非晶半导体薄膜中光致结构及性能变化[J];光学学报;2002年05期
7 汤全安,马新宇;微型光波导陀螺中无源环形谐振器研究[J];光学技术;1997年05期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 郭海涛;GeS_2基硫系非线性光学玻璃的形成、结构与性能研究[D];武汉理工大学;2007年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李霄;张凡;蒋海;孔凡玲;赵佳媚;;谐振式光学陀螺偏振噪声抑制方法[J];航天控制;2017年06期
2 邹林儿;何盼盼;傅继武;陈抱雪;;+1/-1相位掩模板和532nm激光下低损耗As_2S_3硫系光纤布喇格光栅的制备[J];光子学报;2017年07期
3 徐航;彭雪峰;戴世勋;徐栋;张培晴;许银生;李杏;聂秋华;;Ge-Sb-Se硫系玻璃拉曼增益特性研究[J];物理学报;2016年15期
4 张奎;陈志敏;耿永友;王阳;吴谊群;;Nanoscale-resolved patterning on metal hydrazone complex thin films using diode-based maskless laser writing in the visible light regime[J];Chinese Optics Letters;2016年05期
5 韩金涛;张巍;魏凤娟;王贤旺;章亮;张培晴;戴世勋;;Ge_(20)Sb_(15)Se_(65)硫基光子晶体平板波导的宽带慢光特性研究[J];中国激光;2015年06期
6 董阳箭;戴世勋;张培晴;刘永兴;杨佩龙;王训四;;4.3μm低损耗硫系空芯光子带隙光纤结构设计及性能研究[J];光子学报;2015年03期
7 李双;齐磊;王国祥;李军;沈祥;徐培鹏;戴世勋;聂秋华;徐铁锋;;硫系掺铒光波导在光通信的研究进展[J];激光与光电子学进展;2015年03期
8 徐会娟;王训四;聂秋华;朱敏鸣;姜晨;廖方兴;张培全;张培晴;戴世勋;徐铁峰;陶光明;;新型挤压法制备硫系玻璃光纤及其性能研究[J];光电子.激光;2014年06期
9 王贤旺;张巍;章亮;李军建;徐铁峰;;硫系玻璃光子晶体光波导的制备研究进展[J];激光与光电子学进展;2013年12期
10 李家韡;陈抱雪;周建忠;;多模干涉型B270-As_2S_8复合光波导的优化设计[J];光学仪器;2013年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 林常规;GeS_2基硫系玻璃陶瓷的微晶化机理、可控制备及其性能研究[D];武汉理工大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 坚增运;郑超;常芳娥;周晶;高玉社;吕士勇;;成分对Ge_xSe_(90-x)Sb_(10)玻璃特征温度及性能的影响[J];西安工业大学学报;2009年01期
2 朱浩瀚;秦海琨;张敏;赖淑蓉;廖延彪;;光纤布拉格光栅传感解调中的寻峰算法[J];中国激光;2008年06期
3 王珍媛;顾铮;;光学湿度传感器[J];激光与光电子学进展;2007年11期
4 阿不都卡德尔·阿不都克尤木;肖开提·阿布力孜;阿布力孜·伊米提;;高灵敏光波导传感器检测H_2S气体[J];传感技术学报;2007年09期
5 宋保栋;施汉昌;何苗;张凡;郭彬彬;;平面波导型荧光免疫传感器的研究[J];中国环境科学;2007年03期
6 迪丽拜尔.阿合买提;肖开提.阿布力孜;阿布力孜.伊米提;;基于玻璃光波导检测氯化氢气体方法的研究[J];新疆大学学报(自然科学版);2007年02期
7 刘仁强;刘品宽;付庄;赵言正;王树国;;弯曲增敏型光纤曲率传感器机理的研究[J];光学学报;2007年05期
8 张利勋;廖云;欧中华;刘永智;代志勇;彭增寿;王大文;;分布式光纤拉曼温度传感器的对称解调[J];光学学报;2007年03期
9 郭团;赵启大;刘丽辉;黄桂岭;薛力芳;李国玉;董波;刘波;张伟刚;开桂云;袁树忠;董孝义;;光强检测型光纤光栅温变不敏感动态压力传感研究[J];光学学报;2007年02期
10 符运良;袁一方;傅军;李天略;;表面等离子共振Ag-SnO_2薄膜光化学气体传感器[J];传感器与微系统;2007年01期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 龚跃球;GeS_2基玻璃及其薄膜的二阶非线性光学性能研究[D];武汉理工大学;2006年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈明阳;;电磁场数值方法在光波导课程教学中的应用探讨[J];电脑知识与技术;2009年23期
2 潘姬,赵鸿麟,杨恩泽;硅光波导的束传播法设计及制备[J];光学学报;1995年03期
3 王又发,王奇,鲍家善;有限长非线性光波导的研究[J];中国激光;1996年02期
4 康寿万;光波导理论中的伽辽金方法(英文)[J];光子学报;2000年03期
5 王哲哲;赵高扬;李美莲;盛淑月;张晓磊;;有机-无机复合材料光波导的制备[J];功能材料;2008年06期
6 郭海文;黎永前;丁丽娟;叶芳;;一种新型液/液光波导的模拟研究[J];机械制造;2011年09期
7 石邦任,刘骥;指数型光波导的近似解析法[J];电子学报;1994年02期
8 ;光波导理论[J];中国光学与应用光学文摘;1995年03期
9 潘姬,赵鸿麟,杨恩泽;硅单模脊形光波导的三维模拟及实测结果[J];固体电子学研究与进展;1995年01期
10 ;光波导理论[J];中国光学与应用光学文摘;1996年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 任一涛;黄寅;丁心仁;赵璐;汤毅;;紫外写入条形光波导芯区折射率的测算[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 江先鑫;硅基集成光波导生物传感器研究[D];浙江大学;2015年
2 蒋卫锋;硅基PLC型无源光子集成器件理论与关键技术研究[D];东南大学;2015年
3 王玉芳;一类变系数亥姆霍兹算子的特征模计算及应用研究[D];浙江大学;2016年
4 梁华伟;光波导光学相控阵技术的理论和实验研究[D];西安电子科技大学;2007年
5 王亮玲;离子注入与离子交换平面和条形光波导的制备及其特性研究[D];山东大学;2008年
6 焦扬;离子注入与离子束刻蚀制备平面和条形光波导的研究[D];山东大学;2007年
7 王磊;离子注入平面与条形光波导的优化条件研究[D];山东大学;2007年
8 毕篆芳;环形谐振腔中高效率二次谐波产生与金红石光波导的特性研究[D];山东大学;2012年
9 董宁宁;介电晶体光波导和纳米颗粒中的微荧光及非线性效应[D];山东大学;2012年
10 陈聪;铒镱共掺有机聚合物硅基平面光波导放大器的研究[D];吉林大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 韩金涛;Ge-Sb-Se基质光波导剥离法制备工艺研究[D];宁波大学;2017年
2 张明琼;光波导环形谐振腔生化液体传感器的研究[D];电子科技大学;2015年
3 罗莎;高精度光延迟线设计及应用研究[D];电子科技大学;2015年
4 张武明;基于相位恢复的光波导相控阵光束优化研究[D];西安电子科技大学;2014年
5 张斌;片间光互连电路与光波导的设计及仿真[D];西安电子科技大学;2014年
6 陈建;用于PCB光互连的聚合物光波导垂直耦合器的研究[D];电子科技大学;2016年
7 史倩;集成光波导光延迟技术研究[D];电子科技大学;2016年
8 李耘云;金属—介质—半导体复合纳米结构光波导分束器设计和制备[D];湖南大学;2015年
9 鲁曼;光纤耦合光波导相控阵光束优化方法研究[D];西安电子科技大学;2016年
10 王莉莉;基于两种酸碱指示剂光波导二甲胺传感器的研究[D];新疆大学;2017年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026