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《青岛大学》 2003年
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PET基纳米TiO_2膜的溅射沉积及其表面结构与性能

裴喜华  
【摘要】: 本文利用磁控反应溅射技术,以高纯度钛(Ti)为靶材,氧气为活性气体,在PET基底上反应溅射沉积TiO_2,将纳米TiO_2的光催化氧化特性应用于高聚物表面改性,为进一步开发抗菌织物打下基础。 首次在高分子PET基底上溅射沉积了氧化钛薄膜。利用扫描电镜(SEM)结合原子力显微镜(AFM)研究了的溅射膜的表面形貌及成膜机理,并系统研究了各工艺条件(放电功率、工作压力、溅射处理时间、氧氩比等)对表面形貌的影响。与以往报道的生长模式不同,发现在很短的时间内即可在基底上溅射生成致密均匀的纳米膜层,其膜厚随着时间的延长而增加,且当达到一定厚度时,又在原有纳米膜层上生长出更大尺寸的团蔟结构。提高功率可提高膜的覆盖度,使溅射膜颗粒分布均匀,结合更加紧密。提高压力或减小氧氩比,可使溅射膜的颗粒更加密集。 利用光电子能谱(XPS)研究了工作气压及氧氩比的变化与溅射膜的结构及各组分比例的关系。计算了溅射膜的钛氧比,发现不同的工艺条件对溅射膜的组成有很大的影响。利用X射线衍射法(X-ray)对溅射沉积膜的表面物相结构进行了研究,发现在本实验室条件下溅射生成的膜均是无定型结构。 利用织物基底,通过溅射制备了抗菌织物,并对其应用性能(包括抗菌性及牢度)进行了初步研究。发现制备的织物具有一定的抗菌性,并且有相当的牢度。说明利用射频磁控反应溅射TiO_2制备抗菌织物具有潜在的应用价值。
【学位授予单位】:青岛大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2003
【分类号】:TB43

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 朱玮;水中氧化锰颗粒物对TiO_2和ZnO光催化杀菌活性的影响[D];河北师范大学;2010年
【参考文献】
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1 黄占杰;无机抗菌剂的发展与应用[J];材料导报;1999年02期
2 豆俊峰,邹振扬,郑泽根;纳米TiO_2的光化学特性及其在环境科学中的应用[J];材料导报;2000年06期
3 高铁,钱朝勇,于向阳;TiO_2表面超亲水性[J];材料导报;2000年07期
4 施长年,陈志春,薛兴涛,吕德水,林贤福;纳米二氧化钛表面组成及其微结构分析技术进展[J];材料导报;2002年05期
5 孙一军,夏冠群;MOCVD方法在TiO_2纳米粉末制备中的应用[J];材料科学与工程;1999年04期
6 郑连英,朱江峰,孙昆山;壳聚糖的抗菌性能研究[J];材料科学与工程;2000年02期
7 汪国忠,汪春昌,张立德,牟季美;纳米TiO_2的制备和性能[J];材料研究学报;1997年05期
8 余家国,赵修建,赵青南,杜金成;TiO_2光催化薄膜的XPS研究(英文)[J];材料研究学报;2000年02期
9 王建平;抗菌纤维的最新进展[J];产业用纺织品;1998年11期
10 李有宏,宫泽祥,龙振湖,纪纯新;氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜[J];大连理工大学学报;1996年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李大成,周大利,刘恒,张萍,陈朝珍,全学军;略论二氧化钛的高性能化和高功能化(上)[J];四川有色金属;2001年03期
2 李大成,周大利,刘恒,张萍,张云,龚家竹;纳米TiO_2的特性[J];四川有色金属;2002年03期
3 李大成,周大利,刘恒,张萍,张云,龚家竹;纳米TiO_2的制备[J];四川有色金属;2003年02期
4 任成军,李大成,周大利,刘恒,钟本和;纳米TiO_2的光催化原理及其应用[J];四川有色金属;2004年02期
5 曹建军,郭刚,汪斌华,段小平,黄婉霞,涂铭旌;PP/TiO_2纳米复合材料的研制及其抗老化机理分析[J];工程塑料应用;2004年07期
6 方少明;郭良起;户敏;周立明;高丽君;王光义;;壳聚糖/烯丙基三苯基氯化磷抗菌材料的制备[J];工程塑料应用;2008年10期
7 金力成;金波;;金属薄膜的质量造成电阻器失效的分析[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2008年05期
8 吴缨,李光顺,徐强,徐洪耀;硫氰酸铁铵-氯仿体系光度法测定聚乙二醇[J];安徽大学学报(自然科学版);2004年05期
9 孟影;金绍维;;La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3外延膜厚度引起的电阻率变化[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年03期
10 胡涛,毛文钦;抗菌涂料的应用进展[J];安徽化工;2005年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 江宏富;宋海燕;张学斌;刘杏芹;彭定坤;孟广耀;;硅藻土基光催化膜的制备表征及催化性能[A];第二届中国膜科学与技术报告会论文集[C];2005年
2 林涛;丁兰岚;刘秀华;龙素群;;TiO_2/Bi_xTi_yO_z气相光催化降解苯[A];四川省环境科学学会二〇一一年学术年会论文集[C];2011年
3 信会菊;郝维昌;王天民;;S掺杂的γ-Bi_2O_3的制备及光催化性能[A];中国化学会第十二届全国应用化学年会论文集[C];2011年
4 董卫国;黄故;;丙纶/TiO_2纳米材料复合纤维的性能研究[A];'2001功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2001年
5 杨建忠;孙爱贵;谭艳君;黄翔;;织物经纳米二氧化钛整理后光催化性能研究[A];第三届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2003年
6 欧阳友生;陈仪本;彭红;彭如群;谢小保;;织物防螨抗菌测试标准化及相关问题[A];第四届功能性纺织品及纳米技术研讨会论文集[C];2004年
7 梁小平;李万灯;蒋强;刘亚津;;抗菌除臭纤维用无机纳米材料[A];第五届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2005年
8 王东;路建军;齐宏进;;防水透湿织物上碳氟膜的纳米结构及均匀性的初步研究[A];第六届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2006年
9 金小芳;;甲壳胺改性聚乙烯醇纤维的制备及其性能[A];第六届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2006年
10 王东;路建军;齐宏进;;防水透湿织物变色问题的初探[A];第六届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2006年
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1 王爱萍;改性纳米二氧化钛薄膜制备及其在模拟海水中光生阴极保护性能研究[D];中国海洋大学;2010年
2 李荣春;新型季铵化壳聚糖衍生物的制备及其抑菌和抗氧化活性研究[D];新疆农业大学;2010年
3 游峰;面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究[D];南开大学;2010年
4 梁钦锋;扩散火焰形态及气化炉内熔渣沉积与传热规律研究[D];华东理工大学;2010年
5 童天中;晶相可控纳米TiO_2微球的制备、表征及其金属改性研究[D];华东理工大学;2010年
6 汤如俊;小颗粒CoPt单层和双层垂直磁记录介质研究[D];电子科技大学;2010年
7 冯林永;大洋多金属结核合成锂离子筛与吸附基础研究[D];昆明理工大学;2009年
8 仪淑敏;茶多酚对鱼糜制品的冷藏保鲜作用及抑菌机理[D];浙江工商大学;2011年
9 张熙;II-VI族半导体耦合/复合低维结构光学非线性[D];武汉大学;2009年
10 左志军;浆态相催化剂的直接制备及其浆态相催化反应中的溶剂效应及TiO_2相变规律的理论研究[D];太原理工大学;2011年
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1 赵缨慰;900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究[D];长春理工大学;2010年
2 刘东方;自清洁保健型建筑涂料的制备及其性能的研究[D];长春理工大学;2010年
3 王博;辐射桥面发射激光器工艺与测试[D];长春理工大学;2010年
4 位永平;非晶InSb探测器材料光电特性研究[D];长春理工大学;2010年
5 张瑞丽;太阳能电池用α-SiC_x:H薄膜的制备与性能研究[D];浙江理工大学;2010年
6 贾林涛;折射率调制光纤气体传感系统设计与研究[D];郑州大学;2010年
7 郭东歌;基于LPFGs氢敏探测器的研究[D];郑州大学;2010年
8 樊丽霞;卤族元素掺杂纳米TiO_2的光催化性能研究[D];中国海洋大学;2010年
9 翟纪伟;氧化亚铜粉末、薄膜的制备及其光催化性能研究[D];中国海洋大学;2010年
10 顾松涛;稀土—氮共掺杂TiO_2的制备及其光催化性能研究[D];中国海洋大学;2010年
【同被引文献】
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1 付国柱,于运花,徐瑞芬,许秀艳;纳米TiO_2改性聚乙烯膜抗菌性能的研究[J];工程塑料应用;2003年04期
2 王积森;冯忠彬;孙金全;贾明剑;宋振雷;;纳米TiO_2的光催化机理及其影响因素分析[J];微纳电子技术;2008年01期
3 鹿院卫;马重芳;王伟;李文彩;;纳米光催化杀菌技术研究进展[J];北京工业大学学报;2006年07期
4 王怡中;二氧化钛悬浆体系中八种染料的太阳光催化氧化降解[J];催化学报;2000年04期
5 曾炽涛,陈爱平,陈爱华,刘伟,戴智铭;负载型TiO_2/玻璃弹簧的光催化杀菌作用[J];催化学报;2003年07期
6 汪铭,丁新更,曹旭丹,杨辉;不锈钢基片上制备Ag~+/TiO_2抗菌薄膜的研究[J];材料科学与工程学报;2003年03期
7 邓慧华,陆祖宏;半导体光催化杀菌的机理和应用[J];东南大学学报;1996年S1期
8 李凤生,杨毅,邓国栋,尹强,付廷明;纳米TiO_2/SiO_2复合食品抗菌材料[J];中国粉体技术;2001年05期
9 赵晓燕;王鸿博;高卫东;孟艳玲;顾佳;;磁控溅射制备稀土激活TiO_2复合抗菌非织造布[J];纺织学报;2008年03期
10 彭少洪;;TiO_2光催化杀菌技术研究进展[J];广州城市职业学院学报;2008年01期
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1 周武艺;纳米TiO_2的掺杂改性及光催化性能的研究[D];湖南大学;2005年
【二级引证文献】
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1 赵月;可见光下铒—镱—铁共掺纳米TiO_2光催化杀菌作用研究[D];东北师范大学;2011年
【二级参考文献】
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1 尹峰,林瑞峰,林原,肖绪瑞;TiO_2表面电子结构及其光催化活性[J];催化学报;1999年03期
2 唐阳清,周馨我;纳米TiO_2的制备方法[J];材料导报;1995年03期
3 高铁,钱朝勇,于向阳;TiO_2表面超亲水性[J];材料导报;2000年07期
4 肖奇,邱冠周,胡岳华,王淀佐;纳米TiO_2制备及其应用新进展[J];材料导报;2000年08期
5 程沧沧,胡德文,赵俐敏;水泥负载TiO_2光催化降解染料水溶液的研究[J];重庆环境科学;1998年04期
6 罗菊,丁星兆,程黎放,马学鸣,董远达;用溶胶-凝胶法制备的纳米 TiO_2粉末的结构[J];材料科学进展;1993年01期
7 汪国忠,汪春昌,张立德,牟季美;纳米TiO_2的制备和性能[J];材料研究学报;1997年05期
8 王德育,袁春伟;TiO_2薄膜厚度及其光学常数的测量[J];东南大学学报;1999年05期
9 徐明霞,普敏莉,刘岩,徐廷献;氧化物超细粒子/矿物微粉复合粉体应用特性[J];非金属矿;1997年01期
10 柳闽生,杨迈之,郝彦忠,余赪,蔡生民,李永舫;纳米尺度TiO_2/聚吡咯多孔膜电极光电化学研究[J];高等学校化学学报;1997年06期
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1 李云松;磁控溅射镀膜玻璃在建筑业的应用[J];中国仪器仪表;1995年03期
2 王洋,雷明凯,张仲麟;微波ECR等离子体辅助磁控溅射沉积装置的研制[J];真空;1994年06期
3 李云奇,徐成海,关奎之,张世伟,金镛,石丽平,张正洪,李石;磁控溅射镀膜技术在建材及民用工业中的应用[J];真空;1994年02期
4 何文;浅谈磁控溅射镀膜工艺及其在我国的发展现状[J];山东建材;1994年06期
5 ;低温耐磨磁控溅射表面涂层技术[J];机电产品开发与创新;1999年03期
6 何文;磁控溅射镀膜工艺及其发展现状[J];上海建材;1994年02期
7 ;CLDA—700磁控溅射离子镀设备[J];中国高校科技与产业化;1995年02期
8 王良;一种磁控溅射镀膜电源的设计方法[J];辽宁工学院学报;1997年01期
9 蔡青;“王冠牌”磁控溅射镀膜玻璃投放市场[J];建材工业信息;1997年07期
10 苏树发,曹高劭,赵新兵;不同方法制备的锑负极材料性能研究[J];科学通报;2004年15期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 高福全;吴志勇;;聚氨酯泡沫塑料磁控溅射镀膜工艺[A];中国工程物理研究院科技年报(2003)[C];2003年
2 刘建华;徐可为;;溅射气压对ZrO_2薄膜微结构与光学性能的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
3 王波;王如志;黄安平;严辉;;磁控溅射AlN薄膜的制备及其结构特性研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
4 陈长琦;王凤丹;王君;王旭迪;程亚威;;Cr/Cr2O3膜系的微结构研究[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年
5 刘何燕;孟凡斌;李养贤;王荫君;;溅射MnBiAl薄膜的结构相变[A];第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议论文集[C];2004年
6 毛旭;周祯来;杨宇;;磁控溅射Ge/Si多层膜的喇曼谱研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
7 王玫;黄安平;宋雪梅;朱满康;汪浩;王波;严辉;姚振宇;;磁控溅射碳化硅薄膜的结构研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
8 陈长青;毛旭;周祯来;陈刚;刘焕林;杨宇;;射频磁控溅射纳米SiC薄膜及其拉曼和红外分析[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
9 余旭浒;马瑾;计峰;王玉恒;宗福建;张锡健;程传福;马洪磊;;ZnO:Ga透明导电膜的低温制备及特性研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
10 田仁来;黄楠;陈俊英;冷永祥;王露;;Ti-O薄膜的溅射刻蚀微形貌表面对内皮细胞生长的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 王俊起 郑华英;抗菌织物 健康帮手[N];健康报;2006年
2 山东 王富民;简单的光控、磁控、温控电路实验板[N];电子报;2009年
3 本报记者 李颖;“抗菌”纳入行业标准认证[N];科技日报;2006年
4 王琦 余华骏;低辐射镀膜玻璃的色差分析与检测[N];中国建材报;2005年
5 本报记者 许海坡;打造“保健功能面料专家”[N];中国纺织报;2009年
6 浙江 王夫;自制磁控摩托车防盗报警器[N];电子报;2008年
7 记者 张瑛;魏富儒发明磁控脉冲阀节水又防臭[N];山西科技报;2007年
8 李垂友;技术特征等同构成专利侵权[N];中国知识产权报;2005年
9 曹燕平;杜邦-帝人薄膜公司安装使用多功能OptiLab溅射蒸镀机[N];中国包装报;2006年
10 王放;磁控高效焊接工艺及设备获佳誉[N];科技日报;2005年
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1 郭亚军;轴瓦磁控溅射镀膜技术及其材料力学性能研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
2 刘传胜;氮化碳纳米复合涂层摩擦磨损和耐水蚀研究[D];武汉大学;2004年
3 柳清菊;TiO_2系光催化超亲水性薄膜的研究[D];昆明理工大学;2003年
4 徐军;微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术及CN薄膜的制备研究[D];大连理工大学;2002年
5 黎明锴;中频磁控溅射制备AIN薄膜及其离子注入研究[D];武汉大学;2004年
6 董树荣;微波介质陶瓷薄膜的研究[D];浙江大学;2003年
7 黄安平;反应溅射沉积高介电Ta_2O_5薄膜研究[D];北京工业大学;2004年
8 张焱;超导RFQ模型腔的铌溅射研究和V_3Si超导膜材制作工艺[D];中国原子能科学研究院;2000年
9 曾其勇;化爆材料动态切削温度的薄膜热电偶测量原理及传感器研制[D];大连理工大学;2005年
10 徐鲁宁;磁控高熔敷率MAG焊机理研究[D];北京工业大学;2001年
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1 裴喜华;PET基纳米TiO_2膜的溅射沉积及其表面结构与性能[D];青岛大学;2003年
2 张乃枝;溅射法制备CeO_2-TiO_2薄膜的结构性能研究[D];武汉理工大学;2004年
3 朱炎;外加磁场对平面磁控溅射的影响[D];苏州大学;2001年
4 苏树发;锑及锑锡合金薄膜的电化学吸放锂性能研究[D];浙江大学;2005年
5 黄开玉;中频孪生磁控溅射等离子体特性与氧化物薄膜沉积研究[D];大连理工大学;2005年
6 黄代勇;磁控溅射法制备光催化TiO_2薄膜的研究[D];武汉理工大学;2002年
7 赵新民;基片下外加磁场磁控溅射方法的研究[D];苏州大学;2003年
8 叶海;TiO_2薄膜的制备及特性表征[D];暨南大学;2003年
9 刘翔宇;磁控溅射镀膜中靶的优化设计[D];清华大学;2004年
10 乔保卫;磁控反应溅射AIN薄膜的制备工艺与性能研究[D];西北工业大学;2003年
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