单晶硅和石英光纤表面上电沉积功能性镀层的研究--《广东工业大学》2002年硕士论文

《广东工业大学》 2002年

单晶硅和石英光纤表面上电沉积功能性镀层的研究

【摘要】： 本文研究了单晶硅表面上电沉积Ni-Pd合金镀层和石英光纤表面电沉积Ni-Co合金镀层的工艺，通过XRD、SEM、AES等手段对两种镀层的组织结构、成分和性能进行了研究，并对单晶硅表面化学镀镍的机理作了初步的探讨，主要的实验内容和结果包括： (1)本文采用特殊的预处理方法，不经过敏化、活化等处理，在单晶硅表面上化学沉积上致密、均匀的Ni-P镀层，化学镀镍后对样品进行电镀Ni-Pd合金作为单晶硅的欧姆接触，采用正交试验法对电镀工艺进行了研究，优选出最佳的工艺参数，并研究了单因素对镀层性能的影响。 (2)对Ni-Pd合金镀层的接触电阻进行了测量，结果表明镀层的接触电阻比较小，具有优良的接触性能。镀层中Pd的含量对镀层的接触电阻有较大的影响，随着镀层中Pd的含量提高，镀层的接触电阻明显减小，接触性能得到提高。 (3)利用XRD、SEM、AES等手段对Ni-Pd合金镀层的结构、表面形貌、成分进行了分析，结果表明Ni-Pd合金镀层形成了面心立方的固溶体结构，镀层经过200℃快速退火后，有少量Pd的硅化物(PdSi)析出。镀层的表面形貌呈胞状。 (4)对单晶硅表面化学镀镍的机理进行了初步的探讨，结果表明硅表面的化学镀催化活性可能是由硅的氧化反应促使镍离子沉积成镍核所形成的。 (5)采用失重法对Ni-Pd合金和Ni-Co合金镀层进行耐腐蚀性测定，结果表明两镀层在0.5mol／L的H)2SO_4，和5％NaCl(醋酸调节PH=3)的溶液中均表现出优良的耐腐蚀性。 (6)石英光纤表面电沉积Ni-Co合金镀层的研究表明，石英光纤化学性质稳定，表面光滑，化学镀前必须经过特殊的预处理工艺：脱脂，粗化，敏化，活化，烤烘等。粗化液中需含有相当浓度的氟离子的混合酸，活化后的光纤必须进行烤烘以增加强钯微粒的结合力，使化学镀镍得以进行。 (7)经过预处理，采用化学镀、电镀的方法在石英光纤表面上电沉积Ni-Co合金，并研究了电镀工艺参数对镀层中Co含量的影响，得出优选的工艺参数。 (8)SEM及光学显微分析结果表明Ni-Co镀层的厚度比较均匀，表面光滑平整，通过热震法测定镀层与基体的结合力，其结果表明Ni-Co镀层与光纤基体具有良好的结合力。

【关键词】：非金属电镀 单晶硅 Ni-Pd合金 石英光纤 Ni-Co合金
【学位授予单位】：广东工业大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2002
【分类号】：TQ153
【DOI】：CNKI:CDMD:2.2002.061469
【目录】：

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1	陈步明;导电填料用非金属氧化物化学镀银的新工艺研究与应用[D];昆明理工大学;2006年

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1	陈超,陆雪标,邱明新,蔡英时;激光诱导硅表面化学镀镍[J];中国激光;1990年10期
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5	李秉臣,王玉田,庄岩;Pt-Ni/p-InP低阻欧姆接触的机理研究[J];半导体学报;1998年05期
6	李爱昌,张国庆,张允什;单晶硅上电沉积Ni-W-P合金薄膜[J];化工冶金;1997年04期
7	郭永,张国庆,姚素薇,郭鹤桐,龚正烈;p-Si上电沉积制备镍-磷非晶薄膜催化剂[J];物理化学学报;1996年05期
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1	李大成,周大利,刘恒,张萍,张云,龚家竹;纳米TiO_2的特性[J];四川有色金属;2002年03期
2	任成军,李大成,钟本和,周大利,刘恒,龚家竹;影响TiO_2光催化活性的因素及提高其活性的措施[J];四川有色金属;2004年04期
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8	郭冬勇,赵德国;纳米材料的现行测量技术[J];安徽教育学院学报;2002年06期
9	裴秀中;氧化铝超细粉体填料表面改性的研究[J];安徽化工;2003年02期
10	黄红祥;纳米材料及其应用[J];安徽化工;2004年02期

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1	李春霞;李立平;酒金婷;王柏华;;纳米粒子的表面改性研究进展[A];第二届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2002年
2	李星国;;纳米材料研究及其应用[A];第三届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2003年
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5	王东;路建军;齐宏进;;防水透湿织物上碳氟膜的纳米结构及均匀性的初步研究[A];第六届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2006年
6	高惠;杨俊玲;;纳米SiO_2的制备方法及应用[A];第八届功能性纺织品及纳米技术研讨会论文集[C];2008年
7	杨栋樑;;纳米技术在织物功能性整理中应用有关问题的探讨[A];第八届功能性纺织品及纳米技术研讨会论文集[C];2008年
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9	姚兰芳;朱永安;岳春晓;;纳米材料在隐身技术中的应用[A];2006年全国功能材料学术年会专辑（Ⅲ）[C];2006年
10	王生浩;文峰;郝万军;曹阳;;纳米雷达隐身材料的研究现状与展望[A];2006年全国功能材料学术年会专辑（Ⅲ）[C];2006年

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1	宋宁;超声—微波化学共沉淀法制备ITO和CIO纳米粉体的研究[D];昆明理工大学;2007年
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3	张流强;基于微机械的光调制热成像器件研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
4	王家俊;聚酰亚胺/氮化铝复合材料的制备与性能研究[D];浙江大学;2001年
5	黄怀国;导电聚合物-纳米半导体微粒复合膜的制备和性能研究[D];厦门大学;2001年
6	吴新民;光干涉测试中的抗振技术研究[D];南京理工大学;2002年
7	陈建军;纳米TiO_2光催化剂的制备、改性及其应用研究[D];中南大学;2001年
8	王玫;β-SiC薄膜的低温沉积及特性研究[D];北京工业大学;2002年
9	张静武;金属塑性变形与断裂的TEM/SEM原位研究[D];燕山大学;2002年
10	刘晓鹏;TiNi形状记忆合金薄膜显微结构及相变行为研究[D];大连理工大学;2002年

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1	张霄;荧光半导体纳米复合粒子的水相合成和表征[D];东华大学;2008年
2	刘开林;钴基表面纳米针阵列材料的制备与表征[D];上海交通大学;2008年
3	李伟;δ-MnO_2及MnO_2-TiO_2复合物对酚的去除作用[D];河北师范大学;2007年
4	张秀森;印刷电路板组件易损特性的计算机仿真分析[D];西安理工大学;2000年
5	王维民;多路光吸收式光纤耦合温度监测系统的设计与研究[D];燕山大学;2000年
6	曾强;不锈钢基Ni(Co)-HAP生物活性复合镀层研究[D];广东工业大学;2000年
7	张维丽;纳米WC的制备及Ni-P/WC(nm)复合镀层研究[D];广东工业大学;2000年
8	李爽;遂道结吸收损耗及其对新型大功率激光器特性影响的研究[D];北京工业大学;2000年
9	杭联茂;烧结炭化硅晶体的制备、结构及光致发光特性[D];西安理工大学;2001年
10	张晟卯;仿生纳米复合薄膜的制备、表征及摩擦学行为研究[D];河南大学;2001年

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1	毛倩瑾,于彩霞,王群,张丰,葛凯勇,周美玲;空心微珠表面金属化及其电磁防护性能研究[J];北京工业大学学报;2003年01期
2	黄少强,邱文革,李生华;非金属材料表面化学镀银[J];北京工业大学学报;2005年01期
3	李鹏,郭裕强,余峰,高乐敏;光纤传感器在智能复合材料中的应用[J];玻璃钢/复合材料;2005年03期
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5	凌国平;影响空心玻璃微珠化学镀镍均匀性的因素[J];表面技术;2004年04期
6	张海涛,陈莉云,王亚龙,王旭辉,张利兴,缪云坤,金宝源;玻璃纤维化学镀铜工艺条件的优化研究[J];材料保护;2002年10期
7	曾爱香,熊惟浩,徐坚,赵瑞云;空心微珠表面化学镀Ni-Co-P合金镀层研究[J];材料保护;2004年04期
8	李鹏,黄英,熊佳,王琦洁;玻璃纤维化学镀镍铜磷合金工艺的研究[J];材料保护;2004年09期
9	黄少强,邱文革,陈江涛;非金属粉体化学镀银影响因素的研究[J];材料保护;2004年10期
10	时刻,黄英,廖梓珺,祖恩峰,张龙彬,王利;玻璃纤维化学镀Co-P合金工艺研究[J];材料保护;2005年06期

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1	卫云鸽;石英光纤化学镀镍技术研究[D];电子科技大学;2000年
2	魏美玲;用化学镀法制备低发射率材料[D];武汉理工大学;2002年
3	黄磊;陶瓷粉体化学镀银的研究[D];浙江大学;2003年
4	张慧泽;化学镀法制备Si_3N_4—Co复合纳米粉末新技术研究[D];浙江大学;2003年
5	张超;超细Al_2O_3-TiC-Co复合粉体的制备及复合材料的研究[D];浙江大学;2004年
6	刘远廷;Nano-Al_2O_3化学镀铜粉末烧结行为的研究[D];浙江大学;2004年

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1	李爱昌,姚素薇,赵水林,郭鹤桐;电沉积Ni-W-P合金催化析氢特性研究[J];表面技术;1995年03期
2	于维平;Ni－P合金由晶态向非晶态转变的电结晶机理[J];材料研究学报;1994年06期
3	李爱昌,张国庆,张允什;单晶硅上电沉积Ni-W-P合金薄膜[J];化工冶金;1997年04期
4	胡征,范以宁,陈懿,姜欣华;粒度均匀镍-磷非晶超细微粒催化剂的制备与表征[J];物理化学学报;1993年01期
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1	柳襄怀,林成鲁,陈朝荣,李天胜,赵克萱,徐惠定,段大娟,吴恒显;溅射沉积无定形硅薄膜的激光外延研究[J];自然杂志;1980年11期
2	;提高单晶硅纯度的新方法[J];化学世界;1980年12期
3	陈清海;;单晶硅的磨削加工[J];机械工人.冷加工;1980年12期
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5	;我国首次研制成功φ155毫米大直径多晶硅棒[J];上海有色金属;1980年03期
6	周世桂;;一种生产单晶硅的新方法[J];稀有金属;1980年01期
7	姚光俊;吴鸿琴;张焕印;;用于超大规模集成电路的化工材料[J];化工新型材料;1980年12期
8	;GeO_2-SiO_2系多模阶跃光纤予制棒的研制[J];中国建材科技;1980年04期
9	;产品介绍[J];上海有色金属;1980年01期
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1	李枚;;微结构加速度开关的结构设计[A];中国工程物理研究院科技年报（1999）[C];1999年
2	何晓平;彭勃;;硅微机械静电伺服加速度计[A];中国工程物理研究院科技年报（1999）[C];1999年
3	林世昌;张燕生;张国炳;王阳元;;扫描电子束在绝缘衬底上生长单晶硅薄膜(SOI)的实验研究——电子束对材料改性研究之二[A];第七届全国电加工学术年会论文集[C];1993年
4	王柱生;晁致远;许金兰;;用一般单晶硅研制超薄型探测器[A];第8届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（一）[C];1996年
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6	刘涛;戴树玺;杜祖亮;张兴堂;刘长春;黄亚彬;李英顺;江雷;;Si/TiO_2/CdS复合体系的微区形貌及I-V特性研究[A];2000'全国光催化学术会议论文集[C];2000年
7	王启元;林兰英;王建华;邓惠芳;蔡田海;郁元桓;;单晶硅中与氢有关的红外吸收光谱分析[A];2000年材料科学与工程新进展（下）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
8	王启元;林兰英;王建华;邓惠芳;蔡田海;郁元桓;;NTD氢区熔单晶硅退火行为研究[A];2000年材料科学与工程新进展（下）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
9	马莉;;APCVD化学气相沉积镀膜技术在太阳电池生产中的应用[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
10	陈顺玉;李旦振;付贤智;;制备工艺对多孔硅光伏特性的影响[A];2000'全国光催化学术会议论文集[C];2000年

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6	窦学宏关树黔;稀土开发应用发展前景广阔[N];北京科技报;2001年
7	吴映红;光纤放大器的宽带化[N];中国电子报;2001年
8	李斌;我国投资兴建太阳能“电站”[N];中国环境报;2001年
9	通讯员张海东记者夏斐;武大将建世界级有机硅产业基地[N];光明日报;2001年
10	记者林英;世界最先进的太阳能电池生产线落户保定[N];光明日报;2001年

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1	雷永明;碳化硅薄膜材料及其在高温传感器件中的应用[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
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3	宗登刚;微机械材料力学性能测量[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2003年
4	席珍强;晶体硅中过渡族金属的沉淀规律[D];浙江大学;2003年
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6	郑冀;纳米掺杂AgSnO_2电触头材料及其单晶硅类流态结构的研究[D];天津大学;2004年
7	肖志松;掺铒硅基薄膜的纳米结构与发光动力学研究[D];北京师范大学;2001年
8	王海燕;硅基太阳能电池陷光材料及陷光结构的研究[D];郑州大学;2005年
9	霍凤伟;硅片延性域磨削机理研究[D];大连理工大学;2006年
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1	卫云鸽;石英光纤化学镀镍技术研究[D];电子科技大学;2000年
2	张光;梯度折射率塑料光纤关键设备的研制[D];燕山大学;2001年
3	曾凡光;N型单晶硅的水热刻蚀：形貌和光致发光[D];郑州大学;2001年
4	李桂峰;锂离子电池负极固体电解质膜及负极材料相关性质的研究[D];河南大学;2001年
5	王清涛;多孔硅光致发光特性研究[D];曲阜师范大学;2002年
6	汤艳;直拉单晶硅内吸杂研究[D];浙江大学;2002年
7	吴承龙;中子辐照微氮直拉硅单晶辐照效应的研究[D];浙江大学;2002年
8	黄全平;高量程微机械压阻式加速度传感器研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2002年
9	张国安;单晶硅和石英光纤表面上电沉积功能性镀层的研究[D];广东工业大学;2002年
10	谷锦华;化学腐蚀织构多晶硅电池的绒面和机械刻槽电池的研究[D];郑州大学;2002年