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《广东工业大学》 2003年
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Nd-Fe-B/α-Fe两相纳米晶复合交换永磁薄膜结构和磁性研究

孙泓  
【摘要】: 用射频磁控溅射技术制备了由硬磁相Nd_2Fe_(14)B和软磁相α-Fe组成的纳米复合多层膜,研究了多层膜微结构和退火温度对Nd_2Fe_(14)B/α-Fe复合多层膜的表面形貌和磁性能的影响;用X射线衍射仪分析了复合多层膜的相结构;用电子探针和俄歇能谱仪分析了复合多层膜的成分;用扫描电镜观测了复合多层膜的表面形貌;用振动样品磁强计测试了复合多层膜的磁性能。研究结果表明: 用RFMS-4射频磁控溅射仪制备纳米复合多层膜技术稳定可靠,在优化工艺条件下能保证薄膜成分和溅射速率的稳定性。 制备出[NdFeB(15nm)/α-Fe (x)]_(10)(x=0,5,10,15nm)和[NdFeB (y)/α-Fe (5nm)]_(10(20))(y=5,25nm)系列复合多层膜,在不同退火温度(550℃,600℃,650℃,700℃)下进行热处理。发现随着α-Fe所占体积百分比增加,多层膜的矫顽力下降,剩余磁化强度提高,最大磁能积增加,当α-Fe层的体积达到50%的时,复合多层膜具有最大磁能积。在650℃退火后,调制结构为[NdFeB(5nm)/α-Fe(5nm)]_(20)复合多层膜,在室温下可获得的最佳磁性能:矫顽力 _iH_c=148.9kA/m,剩余磁化强度M_r=264.1kA/m,剩磁比M_r/M_s=61%,最大磁能积(BH)_(max)=42kJ/m~3。
【学位授予单位】:广东工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2003
【分类号】:TB383

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 赵毅朝;NdFeB薄膜的制备及性能研究[D];太原科技大学;2011年
【参考文献】
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【共引文献】
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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10 徐斌;注塑磁粉制备技术研究[D];浙江工业大学;2010年
【同被引文献】
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中国硕士学位论文全文数据库 前2条
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【二级引证文献】
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【二级参考文献】
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【相似文献】
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6 祝艳;纳米晶PbSe与SnSe的制备、表征及性能研究[D];南京理工大学;2004年
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