收藏本站
《广东工业大学》 2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

三维微细电解加工技术研究

韩桂海  
【摘要】:微机电系统(MEMS)的发展,带动了微细加工技术的发展。微细电解加工,因其高效、低成本、可加工材料范围广、对工件表面无应力、无热变形等优点,可望在微细加工技术领域占有一席之地。 本文设计、制作了一台进行微细电解加工的实验装备,该装备有三个直线运动系统、两个回转轴,采用步进电机驱动各轴互动,可以实现两个回转轴的展成运动以期实现电极在线制作以及三维零件的加工。 通过计算机控制工具电极或者工件的运动,让两者按照设定轨迹运动;加工过程中,通过数据采集卡检测电极间的加工电压变化或者回路中的电流变化,自适应控制电极间的端面间隙。 采用最高频率达125KHz的高频、窄脉冲加工电源,在该装备上进行了一系列的微细电解加工的实验,分别探讨当电极间端面间隙、加工持续时间、电解液种类(NaCl、NaNO3、NaClO3等三种)以及浓度、高频脉冲电源的加工电压、脉宽、占空比等参数改变的情况下,电解加工的效率、加工精度、表面质量以及加工表面材质变化等规律。 在基本加工实验的基础上,对工件进行孔的加工,分析了不同加工情况下加工孔的锥度变化。 用不同方法在线加工电极,成功的制作了几种微细电极,并提出了一种新的在线电极加工方法。
【学位授予单位】:广东工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2005
【分类号】:TG661

【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 王发光;磁驱动电解加工机床的结构设计及精度分析[D];西安工业大学;2012年
2 曾繁章;微细电解加工装备开发与实验研究[D];广东工业大学;2006年
3 王建明;齿轮端面电化学精整及电场与流场分布的研究[D];青岛科技大学;2006年
4 王磊;微细群孔电解加工关键技术研究[D];南京航空航天大学;2007年
5 孙德旭;多功能微细加工数控平台研究[D];中国石油大学;2007年
6 王贺宾;微细电解加工装备研制及其实验研究[D];广东工业大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张永俊,徐家文,唐亚新;展成式电化学加工[J];航空精密制造技术;1995年05期
2 朱永伟,徐家文,胡平旺;数控展成电解加工整体叶轮的研究与应用[J];航空学报;2001年04期
3 朱守星,丁建宁,蔡兰,杨继昌;基于AFM纳米加工机理和方法的研究进展[J];江苏大学学报(自然科学版);2002年03期
4 傅惠南,王晓红,刘雄伟;纳米加工和材料去除机理研究[J];机械工程学报;2002年06期
5 陈迪,雷蔚,李昌敏,张卫平,蔡炳初;DEM技术中微复制工艺研究[J];微细加工技术;2000年01期
6 孟珺遐,王西彬,孙智杰,张利刚;生物刻蚀金属制作微小三维结构[J];微细加工技术;2003年01期
7 蒋中伟,袁大军,陈荣刚,黄文浩,褚家如,刘允萍;双光子三维微细加工重要工艺参数的实验研究[J];微细加工技术;2003年02期
8 刘立兵,赵毅,李明辉,潘伟;激光诱导化学沉积三维加工技术[J];应用激光;2002年02期
9 王振龙,赵万生,狄士春,迟关心;微细电火花加工技术的研究进展[J];中国机械工程;2002年10期
10 潘开林,陈子辰,傅建中;激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用[J];制造技术与机床;2002年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 段润保,赵砚江,毛言理;微机械(MEMS)与微细加工技术[J];河北理工学院学报;2004年02期
2 王庆良,王爱军,葛世荣,刘金龙;微机电系统纳米摩擦学研究进展[J];合成润滑材料;2003年01期
3 胡平旺,徐家文,云乃彰;带冠整体叶轮叶间通道的数控电解加工方法[J];哈尔滨工业大学学报;2004年02期
4 贾宝贤;赵万生;王振龙;胡富强;;微细电火花机床及其关键技术研究[J];哈尔滨工业大学学报;2006年03期
5 狄士春;吴海波;赵万生;迟关心;;高频窄脉冲电化学加工间隙的在线检测与控制[J];哈尔滨工业大学学报;2007年01期
6 朱永伟;徐家文;赵建社;;大扭曲叶片整体涡轮盘电解加工关键技术[J];哈尔滨工业大学学报;2008年05期
7 鲍怀谦;徐家文;曹连民;;超纯水微细电解加工的可行性研究[J];哈尔滨工业大学学报;2009年05期
8 李瑞君;钱剑钊;龚伟;黄强先;;基于DVD光学读取头的大量程高精度扫描探头[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2011年12期
9 钱密,徐家文;展成电解加工整体叶轮扭曲叶片中的间隙分析[J];航空精密制造技术;2002年02期
10 袁哲俊,谢大纲,胡忠辉;微飞行器技术的最新发展(二)[J];航空精密制造技术;2005年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 林伟青;;聚合物微流体芯片微压印脱模温度研究[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
2 徐向兰;;激光加工在微制造技术中的应用[A];全国先进制造技术高层论坛暨第八届制造业自动化与信息化技术研讨会论文集[C];2009年
3 翁明浩;王振龙;;微阵列轴孔的电火花和电化学组合加工工艺研究[A];第三届十省区市机械工程学会科技论坛暨黑龙江省机械工程学会2007年年会论文(摘要)集[C];2007年
4 刘金国;曲宁松;李寒松;孙毅;;多孔径微小群孔电解加工工艺研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
5 陈伟;刘壮;谢岩甫;;锥形电极对微小孔电解加工定域性的影响[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
6 谢岩甫;刘壮;陈伟;;倒锥微细电极的制备及应用研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
7 朱荻;;纳米制造技术与特种加工[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
8 徐家文;王建业;田继安;杨占尧;刘延禄;朱树敏;;21世纪电解加工的发展和应用[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
9 施文轩;张明岐;;电液束加工技术的新发展[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
10 张之敬;刘明;朱小燕;唐兴伦;;模糊控制器在小型电解加工机床中的应用[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 田野;聚合物微机械的飞秒激光加工及驱动研究[D];吉林大学;2011年
2 曾永彬;屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
3 张华;喷射液束电解—激光复合加工的基础研究[D];南京航空航天大学;2009年
4 王延庆;钢表面凹坑纹理的制备及摩擦学性能研究[D];中国矿业大学;2010年
5 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
6 马晓宇;阵列孔微细电解加工基础技术研究[D];清华大学;2010年
7 胡洋洋;UV-LIGA与微细电加工组合制造金属阵列网板技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
8 吴锐;整体构件高效、快捷数控电解加工的应用研究[D];南京航空航天大学;2009年
9 刘辰;三元流闭式叶轮组合电加工技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
10 王维;群小孔电解加工的关键技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李高飞;数控选区电沉积快速成型的成型质量研究[D];浙江理工大学;2010年
2 吴涛;陶瓷微细结构的生坯加工方法研究[D];大连理工大学;2010年
3 贾胜芳;MEMS引信保险装置的制作及铸层结合强度研究[D];大连理工大学;2010年
4 安成明;微细超声加工装置及基础工艺的研究[D];大连理工大学;2010年
5 张尔东;音叉式石英微陀螺CMOS集成检测电路设计[D];哈尔滨理工大学;2010年
6 娄淑杰;基于FEM技术蓝牙耳机壳体变形分析及工艺优化[D];山东大学;2010年
7 李斌斌;MEMS带通滤波器的设计研究[D];西安电子科技大学;2011年
8 殷志波;电解喷射小尺寸加工机理分析及装备性能研究[D];西安工业大学;2011年
9 庚小迪;辅以磁场的水分散剂工作液电火花小孔加工工艺研究[D];太原理工大学;2011年
10 李伟;微细电铸过程磁致对流效应数值分析[D];河南理工大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孙耀杰,卢西敏,滕霖;挠性接头电火花线切割加工工艺探索[J];航空精密制造技术;2001年05期
2 贾宝贤,边文凤,赵万生;宏微复合进给机构及其在微细电火花加工中的应用[J];航空精密制造技术;2004年02期
3 李文卓,颜国正,蔡彬,赵万生;一种新型压电陶瓷驱动器电源设计[J];航空精密制造技术;2005年04期
4 孙立忠;王振龙;朱保国;;超短脉冲微细电解加工实验研究[J];航空精密制造技术;2007年06期
5 徐庆仁,刘淑敏;微机械制造技术的现状、发展及应用前景[J];航空精密制造技术;1996年04期
6 艾兴 ,刘战强 ,黄传真 ,邓建新 ,赵军;高速切削综合技术[J];航空制造技术;2002年03期
7 朱荻;微米与纳米级加工技术[J];航空制造技术;2002年06期
8 巴瑞璋 ,张晓兵;激光加工密集群孔技术[J];航空制造技术;2003年07期
9 安立宝,高霁;微小孔加工技术及其进展[J];航空工艺技术;1996年03期
10 王彤,李庆平,李庆余;齿轮棱边电解光饰新工艺[J];哈尔滨科学技术大学学报;1995年04期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 徐家文;王建业;田继安;杨占尧;刘延禄;朱树敏;;21世纪电解加工的发展和应用[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
2 陈远龙;任中根;徐家文;陈济轮;;电解加工技术的现状与展望[A];2005年中国机械工程学会年会论文集[C];2005年
3 朱荻;张朝阳;明平美;曾永彬;王明环;;微细电化学加工技术的研究与发展[A];2005年中国机械工程学会年会论文集[C];2005年
4 王昆;朱荻;曲宁松;王少华;;微细电解线切割加工的模型分析与试验研究[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 徐惠宇;微细电解加工系统及其相关工艺的研究[D];南京航空航天大学;2005年
2 陈远龙;电解加工工艺参数数据库及电解加工基本工艺规律研究[D];合肥工业大学;2000年
3 王明环;微细电解加工实验研究[D];南京航空航天大学;2007年
4 张朝阳;纳秒脉冲电流微细电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2006年
5 朱保国;脉冲电化学微细加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
6 郑福胜;直线往复磁力驱动器研究[D];吉林大学;2008年
7 王昆;微细电解线切割加工技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2007年
8 陈东菊;大型立式超精密机床系统误差分析与辨识技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨培剑;电液束加工微小凹坑阵列技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
2 赵洪策;桌面式微型工厂的建模和仿真与可视化关键技术研究[D];西北工业大学;2001年
3 巫春玲;新型航空直线直流电动机驱动控制系统研究[D];西北工业大学;2004年
4 袁慧珠;精密砂轮划片机的设计及精度分析[D];沈阳工业大学;2004年
5 刘平;STM金属表面高分辨电化学刻蚀的研究[D];天津大学;2002年
6 彭思平;超纯水微细电解加工送进装置的研制[D];南京航空航天大学;2005年
7 刘肖;基于力学测试的电解加工间隙在线检测初步研究[D];南京航空航天大学;2005年
8 陈安骏;超声电解复合加工在微器件制作中的基础研究[D];南京航空航天大学;2005年
9 曾繁章;微细电解加工装备开发与实验研究[D];广东工业大学;2006年
10 张丽娟;电解加工阴极的计算机辅助设计[D];西安工业大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 郭帅;罗红平;郭钟宁;;微细电极在线制备技术的研究进展[J];制造技术与机床;2011年08期
2 羌予践;华亮;张汝建;林纯;;基于现场可编程门阵列的超声电磁复合电机驱动控制系统设计[J];电机与控制应用;2011年05期
3 时小惠;;有限元法分析微小孔电解过程工件表面电场分布[J];机械制造与自动化;2008年05期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 韩子平;脉冲微细电解加工技术研究[D];广东工业大学;2008年
2 刘东光;H_2SO_4-H_3PO_4为基液的模具钢化学抛光工艺研究[D];武汉理工大学;2008年
3 刘改红;微细电解加工用阵列电极的侧壁绝缘研究[D];清华大学;2009年
4 张正元;立式电解加工机床PLC控制系统的设计与实现[D];合肥工业大学;2010年
5 王贺宾;微细电解加工装备研制及其实验研究[D];广东工业大学;2012年
6 郭帅;微细工具电极在线制备装置开发及加工技术的研究[D];广东工业大学;2012年
7 杨涛;电化学蚀刻机床及试验系统的研制[D];合肥工业大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 宋小中,刘正埙,高长水;电火花微细加工技术及其发展[J];航空精密制造技术;1996年02期
2 吴敏镜;微机械及其加工综述[J];航天工艺;1997年01期
3 张德远,李雅芹,孙以凯;生物加工金属材料的可行性研究 [J];中国科学C辑:生命科学;1997年05期
4 ;超硬刀具材料的研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2001年04期
5 徐家文,唐亚新;数控展成电解加工的成形规律研究[J];机械工程学报;1994年06期
6 于殿泓,劳奇成,卢秉恒,山本昌彦;微型制造中的掩膜快速成型技术[J];机械设计与制造工程;2000年04期
7 李志坚;微电子技术的又一次革命──微电子机械系统(MEMS)发展展望[J];科技导报;1997年09期
8 陈海峰,宋家庆,李春增,蔡生民,刘忠范;利用原子力显微镜在Au-Pd合金膜上制备纳米结构[J];科学通报;1998年18期
9 何正国,李雅芹,周培瑾;氧化亚铁硫杆菌的铁和硫氧化系统及其分子遗传学[J];微生物学报;2000年05期
10 王振龙,赵万生,迟关心,刘光壮;微三维结构型腔的微细电火花加工[J];微细加工技术;2000年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 朱荻,王明环,明平美,张朝阳;微细电化学加工技术[J];纳米技术与精密工程;2005年02期
2 李小海;王振龙;赵万生;;高频窄脉冲电流微细电解加工[J];机械工程学报;2006年01期
3 李小海,赵万生,王振龙,李志勇,张勇;基于多功能加工平台的微细电解加工(英文)[J];纳米技术与精密工程;2005年01期
4 彭思平,徐家文,李颖,杨倩;微细电解加工机理探讨[J];电加工与模具;2005年02期
5 李风,陈海燕,张永俊;CAD/CAM技术在展成电解加工中的应用[J];机床与液压;2002年03期
6 李颖,徐家文,彭思平;超纯水微细电解加工的基础研究[J];电加工与模具;2005年03期
7 陈柱春;张永俊;许志永;;电解加工电源的发展与应用[J];机电工程技术;2007年06期
8 张永俊,徐家文;展成电解加工的成形规律研究[J];广东工业大学学报;1995年S1期
9 ;电解加工基本知识讲座(五)[J];电加工与模具;1976年02期
10 段建坤;许方田;;固定阴极式电解加工在若干零件中的应用[J];电加工与模具;1979年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李小海;王振龙;赵万生;;微细电解加工装置的研制及其应用[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
2 宫超林;曲宁松;李寒松;;活动阴极模板电解加工发动机缸套微坑阵列试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
3 张凯;严政;庄金隆;;电解加工产物的处理[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
4 董朝盼;赵雍建;傅秀清;康敏;;直线刃阴极数控电解加工工艺试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
5 刘金国;曲宁松;李寒松;孙毅;;多孔径微小群孔电解加工工艺研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
6 王建业;罗干英;林苏文;刘丛宽;张弢;罗天友;;高频窄脉冲电流源电解加工成型规律研究[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
7 朱永伟;徐家文;云乃彰;严德荣;胡平旺;钱密;;扭曲叶片整体叶轮的数控展成电解加工[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
8 王建业;张永俊;余艳青;;脉冲电解加工技术在精、微加工领域中的新发展[A];2005年中国机械工程学会年会论文集[C];2005年
9 陈伟;刘壮;谢岩甫;;锥形电极对微小孔电解加工定域性的影响[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
10 陈远龙;朱树敏;;电解加工工艺参数模拟试验设计及数据库的创建[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 黄春韶;满足微细加工需求 平面磨床发展趋势明显[N];中国工业报;2007年
2 本报记者 何人民;华工激光进军精密微细加工领域[N];中国工业报;2009年
3 叶甜春;90/65/45纳米半导体工艺——IT产业新的起跑线[N];计算机世界;2003年
4 金通证券 陈泳潮;G金果业绩回暖超跌严重[N];证券时报;2006年
5 鲁玉峰;基于UG\CAD平台的航空叶片测量前后置处理系统[N];中国航空报;2001年
6 唐苏亚;纳米技术研究方兴未艾[N];中国电子报;2002年
7 第一创业证券 陈靖;深圳华强 价值洼地 积极关注[N];上海证券报;2007年
8 谢斌;新艺厂依靠技术创新“顶天立地”[N];中国航空报;2002年
9 苏益;“973计划”核心科学家推销“大企业研发主导制”[N];第一财经日报;2006年
10 汪明;2009年全球生物传感器市场有望突破40亿美元[N];中国医药报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 鲍怀谦;超纯水微细电解加工的基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
2 徐正扬;发动机叶片精密电解加工关键技术研究[D];南京航空航天大学;2008年
3 马晓宇;阵列孔微细电解加工基础技术研究[D];清华大学;2010年
4 王维;群小孔电解加工的关键技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
5 李冬林;模板电解加工群孔基础研究及应用[D];南京航空航天大学;2010年
6 徐庆;整体叶盘多通道电解加工关键技术研究[D];南京航空航天大学;2012年
7 吴建民;大直径整体叶轮数控电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2009年
8 钱双庆;表面织构电解加工技术的基础研究与应用[D];南京航空航天大学;2011年
9 吴锐;整体构件高效、快捷数控电解加工的应用研究[D];南京航空航天大学;2009年
10 王福元;整体叶轮叶片型面数控电解精加工的若干关键技术研究[D];南京航空航天大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 韩桂海;三维微细电解加工技术研究[D];广东工业大学;2005年
2 谢岩甫;复杂形状微孔的电解加工试验研究[D];南京航空航天大学;2011年
3 王贺宾;微细电解加工装备研制及其实验研究[D];广东工业大学;2012年
4 丁维育;纯钛微细电解加工基础试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
5 曾繁章;微细电解加工装备开发与实验研究[D];广东工业大学;2006年
6 李晓霞;射流电解小尺寸三维工艺研究[D];西安工业大学;2012年
7 彭思平;超纯水微细电解加工送进装置的研制[D];南京航空航天大学;2005年
8 江一;激波辅助纯钛微细光刻电解试验研究[D];南京航空航天大学;2009年
9 宋曼;活动模板电解加工微小凹坑阵列研究[D];南京航空航天大学;2010年
10 朱成康;微细螺旋孔电解加工成型仿真技术研究[D];浙江工业大学;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026