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《中国科学院长春光学精密机械与物理研究所》 2000年
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大行程亚微米精度激光直写设备定位技术的研究

熊木地  
【学位授予单位】:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2000
【分类号】:TN249

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 梁凤超;;临界角法激光直写聚焦伺服系统静态特性研究[J];电光与控制;2011年05期
2 谢扬球,谭永红,雷兴华,李若愚;X-Y精密数控工作台宏平台的设计及实现[J];桂林电子工业学院学报;2005年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 蒋志涛;基于LVDT 和SGS 的微定位控制系统[D];上海交通大学;2011年
2 钱首尚;高精度曲面光刻实时调焦技术的研究[D];大连海事大学;2008年
3 程陶;基于直线电机的精密定位驱动技术研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 蒋洪明,张庆;多分辨力传感器信息融合中的故障检测与恢复[J];传感技术学报;1995年02期
2 刘君华;罗瑜涛;;宽范围等分辨率精密测温法[J];电测与仪表;1993年09期
3 许昌昆;压电、电致伸缩传动器及其应用[J];电子元件与材料;1988年05期
4 胡淞,苏伟军;0.8~1μm分步重复投影光刻机六自由度硅片定位系统设计与计算[J];光电工程;1998年03期
5 胡淞,姚汉民;高分辨力高导向精度柔性铰链调焦机构[J];光电工程;1998年03期
6 高宏,李庆祥,严普强;亚微米弹性微位移工作台系统的设计及其精度分析[J];清华大学学报(自然科学版);1988年05期
7 杨建华,侯宏,孙进才,周庆余;基于BP神经网络的弱信号提取方法研究[J];数据采集与处理;1997年03期
8 胡小唐,庄在龙,陈峰,张小戎;用于扫描探针显微技术的空间超精微定位系统[J];天津大学学报;1996年01期
9 丛爽;运动控制中先进控制策略的研究综述[J];微特电机;1998年01期
10 张津,姚汉民,唐小平,胡淞;高精度逐场调焦调平实时动态控制算法研究[J];微细加工技术;1999年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 夏业启,于中;酚醛树脂生产的微机自动控制系统[J];工程塑料应用;2000年05期
2 郭伟,刘兴远,张力,王跃文,孙亮;无腹筋钢筋混凝土简支梁受剪特性的神经网络模型初探[J];四川建筑科学研究;2004年01期
3 刘兴远,郭伟,林文修,杜文龙,易珂;重庆地区混凝土构件碳化规律的神经网络描述[J];四川建筑科学研究;2004年04期
4 董守愚;浅谈仿生传感器[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2004年Z1期
5 郭志勇;陈小永;;基于μPSD3234的智能水位监测仪设计与实现[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2008年04期
6 刘苏南,刘风娟;最小相角系统稳定性的一种判别方法[J];安徽大学学报(自然科学版);1999年04期
7 蒋中;一种基于非线性Laguerre模型的预测控制算法[J];安徽大学学报(自然科学版);2000年02期
8 钟小芳,蒋中;基于Laguerre 函数近似模型的多变量系统增量型预测控制的算法[J];安徽大学学报(自然科学版);2001年02期
9 陈跃东;DS18B20集成温度传感器原理及其应用[J];安徽机电学院学报;2002年04期
10 张春,郭兴众;模糊直接转矩控制系统的仿真研究[J];安徽机电学院学报;2002年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 胡伟明;;基于STM32纯电动汽车电驱控制研究[A];“2011西部汽车产业·学术论坛”暨四川省汽车工程学会四届第九次学术年会论文集[C];2011年
2 朱归军;;高速公路养护过程的桥梁安全控制与防范[A];中国公路学会高速公路运营管理分会2011年度年会暨第十八次全国高速公路运营管理工作研讨会论文集[C];2011年
3 孙鹤旭;梁涛;雷兆明;;基于状态空间模型的多时域预测控制系统的闭环特性[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
4 冯俊娥;崔鹏;;线性奇异时滞系统的干扰解耦[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
5 周火凤;马保离;;离轴式拖车移动机器人的路径跟踪控制[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
6 杨建华;刘文琦;卢伟;;注汽锅炉蒸汽干度的模糊预测控制[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
7 李刚;王庆林;黄彪;;随机扰动下的动态矩阵控制系统性能监控、调节与诊断[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
8 吴义虎;宋丹丹;侯志祥;袁翔;;车辆横摆角速度的广义预测控制研究[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
9 莫晓明;;基于多模型综合的DMC控制及其应用[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
10 戎袁杰;汤洪海;郑雪生;王荣蓉;李春文;;单相并联有源滤波器的神经网络控制策略研究[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 徐国栋;智能压力变送器的研究[D];山东科技大学;2010年
2 赵昊;微测位移传感器在轮毂跳动量中的应用[D];长春理工大学;2010年
3 朱正强;车标识别的关键技术研究[D];辽宁师范大学;2010年
4 王红;电脑袜机结构和性能的研究[D];浙江理工大学;2010年
5 范不井;某地区电网短期负荷预测研究[D];郑州大学;2010年
6 荆宜青;QCM检测仪系统软件的优化设计与实现[D];郑州大学;2010年
7 杨书显;基于PSO算法的氧乐果合成过程建模与控制研究[D];郑州大学;2010年
8 李焕;基于视频的车辆测速系统研究[D];郑州大学;2010年
9 史文韬;基于DSP的水下机器人嵌入式控制系统设计[D];哈尔滨工程大学;2010年
10 李长鹏;基于CSTR温度系统的模糊神经网络预测控制研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 嵇国金,马奎,王磊;微纳定位/进给技术研究现状[J];微纳电子技术;2003年05期
2 伍刚,张小平;有源低通二阶滤波器的设计[J];兵工自动化;2005年04期
3 樊锋,刘强;交流直线电机矢量变换控制软换向方法及实现[J];北京航空航天大学学报;2004年04期
4 付伟;飞机的光电隐身技术[J];电光与控制;2002年01期
5 赵超;杨号;;红外制导的发展趋势及其关键技术[J];电光与控制;2008年05期
6 张京国;梁晓庚;吴万芳;;一种隐身目标电磁散射特性的计算方法[J];电光与控制;2008年09期
7 呼玮;杨建军;龙光正;王森;;弹道导弹被动段动态RCS建模与仿真[J];电光与控制;2010年04期
8 朱煜,尹文生,段广洪;光刻机超精密工件台研究[J];电子工业专用设备;2004年02期
9 唐允宝;李银玲;;LPC1768与AD7656带时标采样系统设计[J];单片机与嵌入式系统应用;2010年08期
10 刘静;王福忠;余淋;袁世鹰;;永磁直线同步电机的动态模型建立以及IGA优化设计[J];电气技术;2009年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 王立;先进红外成像制导技术研究[D];西北工业大学;2001年
2 吴玉年;临界角法在聚焦伺服系统中的应用[D];长春理工大学;2002年
3 冯晓国;二元光学激光直写设备传动系统结构设计与分析[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
4 魏玉凤;纳米六自由度微动工作台机械设计[D];合肥工业大学;2004年
5 郭怀天;基于电阻应变式称重传感器的电子天平的研制[D];吉林大学;2006年
6 奚琳;新型纳米三坐标测量机二维定位平台研究[D];合肥工业大学;2007年
7 易思伟;基于DSP的贴片机运动控制系统的研究与设计[D];西南交通大学;2007年
8 宋东清;基于DSP的导航计算机系统设计[D];哈尔滨工程大学;2007年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 邓卫平;张焱;徐志科;胡敏强;;超声波电机二维精密控制系统研究与实现[J];微电机;2008年05期
2 杨川;杨必胜;王光亮;;X-Y两维宽平台大范围精密定位系统结构分析与设计[J];制造技术与机床;2008年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 潘鹏;胡敏强;徐志科;;基于DSP芯片的超声波电机驱动器新进展[A];第十三届中国小电机技术研讨会论文集[C];2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 胡华;高精度二维工作台关键技术研究[D];吉林大学;2011年
2 蓝晨阳;基于扰动观测器的超精密宏微驱动定位技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 刘丽丽;音圈电机位置伺服控制系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 许鹏宇;动压马达驱动电源系统的研制[D];哈尔滨工业大学;2011年
5 宋超;大面积大行程激光投影成像曝光机工作台的研究[D];广东工业大学;2008年
6 储玉芬;基于衍射光栅计量的宏微定位系统的研究[D];湖北工业大学;2010年
7 王力超;大行程高精度定位系统控制技术研究[D];安徽大学;2012年
8 胡光学;大行程结构一体化二维微定位台参数化设计及实验[D];山东理工大学;2012年
9 余丽芳;大口径光学元件激光预处理系统运动控制软件设计[D];电子科技大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 胡寿松,邹志勤;大系统的分散滤波结构及容错应用[J];数据采集与处理;1994年01期
2 王宗培;徐殿国;;运动控制(一)——门综合性多学科交叉技术[J];微特电机;1990年05期
3 董大群,曾南,李斌;从噪声中提取瞬态信号──自适应权向量法[J];西北工业大学学报;1994年03期
4 刘一声;新型致动器及其应用的开发[J];压电与声光;1994年05期
5 吴一辉,王立鼎;纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法[J];压电与声光;1996年03期
6 吴一辉,王立鼎;纳米计量及定位技术简述[J];仪器仪表学报;1995年S1期
7 吴一辉,王立鼎,李路明,刘立新;纳米分辨率微动台机械结构动态特性的研究[J];仪器仪表学报;1996年S1期
8 蔡鹤皋,孙立宁,安辉,张涛;微米/纳米驱动及控制技术[J];仪器仪表学报;1996年S1期
9 谭平,陈振藩,赵淳生;结构网络行波主动控制技术综述[J];振动、测试与诊断;1992年03期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 曲东升,孙立宁,王建国,秦昌;基于压电驱动的纳米级精密定位系统的研究[J];压电与声光;2002年06期
2 乔俊仙;王肇志;胡松;张正荣;邢薇;唐小萍;王淑蓉;;电子束曝光机激光工件台系统研制[J];微纳电子技术;2006年02期
3 曲东升,孙立宁,高有将;压电陶瓷致动器自适应逆控制方法的研究[J];压电与声光;2002年05期
4 孙艳玲;谢铁邦;;一维计量型微位移工作台的研究[J];传感器世界;2006年03期
5 曹荣,李青,刘颖,秦岚;用VB数据库实现压电陶瓷Preisach模型及定位控制[J];压电与声光;2005年04期
6 宋超;周金运;王鲁宾;;激光投影成像精密定位工作台的研究[J];科技信息(科学教研);2007年33期
7 David.J.Bak,王德芳;利用压电运动的精密定位致动器[J];压电与声光;1980年06期
8 欧阳航空,陆林海,华晓青;基于PMAC的精密定位系统研究[J];机电一体化;2005年01期
9 杜志江;董为;孙立宁;;柔性铰链及其在精密并联机器人中的应用[J];哈尔滨工业大学学报;2006年09期
10 蔡中华;余玲玲;;关于±1次衍射莫尔信号的数值仿真的研究[J];计算机仿真;2006年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 郝俊杰;王晓慧;桂治轮;李龙土;;MnO_2对钛酸铋钠压电陶瓷性能的影响[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
2 李茂順;陳炳輝;吳朗;郭興家;吳金昆;;以溶胶凝胶法制备压电陶瓷[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
3 吴南春;施尔畏;郑燕青;李文军;;介质对水热制备PbNb_2O_6晶粒形貌的影响[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
4 林书玉;许龙;;一种新型的cymbal换能器的研究[A];中国声学学会功率超声分会2009年学术年会论文集[C];2009年
5 李宝库;;超声波电动机压电陶瓷粘接技术的提升[A];第十六届中国小电机技术研讨会论文摘要集[C];2011年
6 刘海峰;田莳;李小兵;;PZN-PZT压电陶瓷常温和低温电疲劳比较[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
7 潘在友;刘惠兰;冯丽爽;邢济武;;基于光杠杆原理测量压电陶瓷压电特性的方法[A];高精度几何量光电测量与校准技术研讨会论文集[C];2008年
8 李龙土;董蜀湘;;超声马达[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
9 李宁;胡俊辉;黄卫清;朱春玲;赵淳生;;压电除冰系统中压电元件尺寸对界面剪切应力的影响[A];Proceedings of the 2010 Symposium on Piezoelectricity,Acoustic Waves and Device Applications[C];2010年
10 李龙土;;功能陶瓷材料研究的若干进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 王燕如;2万平方公里区域可精密定位[N];乌鲁木齐晚报;2010年
2 朱沙沙;我国广域实时精密定位系统研发获进展[N];中国知识产权报;2009年
3 晓鑫;压电陶瓷——信息时代的新型材料[N];中国建材报;2004年
4 武长运;信息时代的多面手——压电陶瓷[N];山东科技报;2002年
5 中国电子元件行业协会电子陶瓷及器件分会;电子陶瓷:产品门类齐全应用领域拓宽[N];中国电子报;2008年
6 李文 清晨;信息时代的多面手压电陶瓷[N];北京科技报;2002年
7 李秀国;汉江机床首批滚柱导轨成功交货[N];机电商报;2009年
8 姜楠 遥远;绝对式光栅尺研制获重大突破[N];吉林日报;2011年
9 通讯员 丁万斌;中国首条现代导轨电车“新交通”工程正式投入运营[N];建筑时报;2007年
10 记者 陈黎明 通讯员 陆晓华;润发机械扩建工程竣工[N];中国冶金报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 熊木地;大行程亚微米精度激光直写设备定位技术的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
2 田勇;基于分段导轨模式的电动车无线供电技术关键问题研究[D];重庆大学;2012年
3 王希花;基于压电陶瓷迟滞非线性建模及控制系统的研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
4 朱炜;压电陶瓷叠堆执行器及其系统的迟滞现象模拟、线性化及控制方法的研究[D];重庆大学;2012年
5 秦岩丁;两自由度精密定位平台结构设计与运动控制[D];天津大学;2011年
6 晁小练;低温烧结PZT基压电陶瓷材料的研究及器件开发[D];陕西师范大学;2010年
7 邱宗明;激光无导轨精密测量及定位系统的研究[D];西安理工大学;2005年
8 张奔牛;传感和致动装置/结构中的多物理量耦合问题[D];重庆大学;2003年
9 刘琳;声频干扰技术的研究与实现[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
10 杨雷;激光微加工系统中若干关键技术的研究[D];郑州大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 唐韵;基于压电陶瓷逆压电效应原理的3MN叠加式力标准机的研究[D];电子科技大学;2010年
2 郑惠清;压电陶瓷在超声波电机中的应用研究[D];武汉理工大学;2010年
3 张治刚;钛酸钡模板织构化压电陶瓷的组织与性能[D];西安工业大学;2010年
4 陈培洪;新型非共振式压电直线电机的研究[D];南京航空航天大学;2011年
5 张东;压电变压器用陶瓷材料低温烧结的研究[D];天津大学;2010年
6 朱枝勇;以PZT为基的介电常数6500压电陶瓷瓷料研发[D];电子科技大学;2010年
7 常鹏;低温烧结铌镁锑锰锆钛酸铅(PMMNS)压电陶瓷及性能研究[D];暨南大学;2011年
8 梁丽娉;压电陶瓷传感器力学模型理论与试验研究[D];沈阳建筑大学;2011年
9 李福良;基于PA85的新型压电陶瓷驱动电源[D];合肥工业大学;2004年
10 杨亦权;压电陶瓷/聚合物复合材料压电阻尼性能研究[D];浙江大学;2002年
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