收藏本站
《中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)》 2004年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

Si衬底上低压MOCVD生长ZnS,ZnSe薄膜和ZnSe量子点

赵晓薇  
【摘要】: 宽带Ⅱ—Ⅵ族半导体材料如ZnS、ZnSe因其优异的光电特性成为蓝绿半导体发光和激光光电子器件的重要候选材料。如果利用外延技术,在硅衬底上外延生长直接带隙的宽带Ⅱ—Ⅵ族半导体材料,就可以把硅在微电子集成技术中的优势与宽带Ⅱ—Ⅵ族材料在光电特性方面的优势结合起来,使器件兼有高性能和低成本的优点。 本论文利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统控制生长条件制备了ZnS、ZnSe薄膜和ZnSe量子点。主要取得了以下结果: 1、利用LP-MOCVD系统,以H_2S和DMZn为源材料,未经高温预热处理Si衬底,制备了ZnS单晶薄膜。随着生长温度的降低,ZnS单晶薄膜质量提高,由在300℃时得到较小X-射线衍射FWHM的结果表明获得了结晶质量较高的ZnS单晶薄膜。ZnS薄膜中Zn/S原子比都接近1:1,制备的ZnS薄膜具有较好的化学计量比。 2、利用LP-MOCVD系统,以H_2Se和DMZn为源材料,在Si衬底上制备了ZnSe单晶薄膜。研究发现实验中ZnSe薄膜生长速率主要受DMZn流量控制。ZnSe薄膜中Zn/Se原子比都接近1:1,制备的ZnSe薄膜具有较好的化学计量比。ZnSe薄膜样品在77K时,光致发光谱中只观测到了近带边的发射,而且这一发光一直持续到室温,说明在Si衬底上LP-MOCVD外延生长的ZnSe薄膜具有较高的质量。 3、采用LP-MOCVD系统,在Si衬底上以V-W生长模式制备了5个周期循环生长的ZnSe/ZnS量子结构的样品。当ZnSe生长时间缩短时,其77K的PL谱峰蓝移增大。对样品作变温光谱发现,该结构的发光峰宽度随温度的升高先减小然后才增大,这正是量子点结构的特征之一。这表明我们制备的样品是ZnSe量子点。 4、作为主要成员参加了中国科学院仪器改造项目—光助MOCVD系统的改造工作。为了测试改造后的光助MOCVD系统的性能,用该系统制备了ZnSe和ZnSe:N薄膜。
【学位授予单位】:中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2004
【分类号】:O484

手机知网App
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 梁洪;红外空气参考法测定光纤用SiCl_4中的总氢[J];四川有色金属;1999年03期
2 刘传军,赵权,刘春香,杨洪星;硅片清洗原理与方法综述[J];半导体情报;2000年02期
3 石虹;;半导体器件喷腐工艺与喷腐机改进[J];电力机车与城轨车辆;2012年02期
4 龙乐;;等离子体清洗及其在电子封装中的应用[J];电子与封装;2008年04期
5 赵晓薇,张吉英,杨宝均,范希武,羊亿,申德振;温度对Si衬底上低压MOCVD外延生长ZnS薄膜质量的影响[J];发光学报;2000年01期
6 陈镇龙;叶玉堂;刘霖;范超;田骁;吴云峰;王昱琳;;激光诱导液相电极腐蚀新方法[J];光电工程;2006年12期
7 谭刚;吴嘉丽;;SiH_2CL_2-NH_3-N_2体系LPCVD Si_3N_4薄膜因素分析[J];光学精密工程;2005年S1期
8 马肇曾;尹秀兰;金莲姬;;多元酚类使铜镜产生黑漆古及黑漆古结构——铜镜黑漆古的研究(Ⅱ)[J];考古;1995年11期
9 徐丽金 ,胡泽敏;实验室中超纯水的制备[J];南昌大学学报(工科版);1985年01期
10 曹凤才;张志栋;窦银科;;冰层厚度传感器在冰层厚度检测系统中的应用研究[J];应用基础与工程科学学报;2009年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 黄曜;黄郁芳;;ICP-MS法分析过氧化氢、硝酸、硫酸中的金属杂质[A];2005年全国无机质谱、同位素质谱和质谱仪器学术报告会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 余海湖;静电自组装纳米复合薄膜研究[D];武汉理工大学;2002年
2 单崇新;ZnCdSe量子点的制备及其表征[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
3 谢光忠;气敏薄膜及气体传感器阵列的制备及特性研究[D];电子科技大学;2007年
4 祁海峰;连续及纳秒激光对砷化镓材料的损伤研究[D];山东大学;2008年
5 罗坤;PGA基聚电解质的静电络合、层层自组装及药物载体构建[D];上海大学;2009年
6 刘霖;激光腐蚀/刻蚀技术研究[D];电子科技大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邓其明;PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究[D];电子科技大学;2010年
2 林江;大气压非平衡等离子体沉积类二氧化硅薄膜研究[D];浙江大学;2011年
3 李陈发;多孔硅的电化学制备与光致发光[D];南昌大学;2011年
4 汪幸;酞菁类声表面波气体传感器以及碳纳米管的掺杂研究[D];安徽大学;2011年
5 董艳锋;多孔铝镶嵌复合材料的光学性质研究[D];曲阜师范大学;2002年
6 李薇薇;微电子器件硅衬底表面污染物去除技术的研究[D];河北工业大学;2003年
7 王菲菲;多孔氧化铝镶嵌有机染料的发光研究[D];曲阜师范大学;2003年
8 徐昌曦;活性炭纤维光催化改性研究[D];东华大学;2004年
9 刘俊朋;硅基发光材料的制备、性能和机理研究[D];天津大学;2004年
10 李鸿辉;CdS、Au纳米粒子自组装薄膜研究[D];武汉理工大学;2004年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 黄朝表;吴川六;张丹宁;郑晋生;赖金平;李舒艳;赵一兵;;ZnSe量子点的水相合成及光诱导荧光增敏效应[J];浙江师范大学学报(自然科学版);2009年01期
2 白忠臣;黄政;;基于液相ZnSe量子点光源的光学层析成像系统[J];中国科技信息;2011年16期
3 蔡庆麟,阎研,郝少康;CdSe量子点拉曼谱的共振效应研究[J];光散射学报;2003年03期
4 单崇新,范希武,张吉英,张振中,王晓华,吕有明,刘益春,申德振,孔祥贵,吕少哲;ZnCdSe量子点的激子行为研究[J];发光学报;2003年04期
5 范希武;GaAS—ZnSe固溶体外延层的制备和性能[J];发光学报;1973年03期
6 范希武,徐叙瑢;ZnSe—Mn的高场发光[J];发光学报;1979年Z1期
7 卢玉村 ,蔡邦维;10.6μ高能激光硒化锌(ZnSe)光学元件增透膜[J];四川大学学报(自然科学版);1984年02期
8 王吉丰,黄锡珉,张志舜;ZnSe:Al发光光谱的研究[J];发光学报;1988年01期
9 李文深,池元斌,李岩梅,范希武,杨宝均,申德振,吕有明;静压下Znse/Zn_(1-x)Cd_xSe应变超晶格的光致发光研究[J];发光学报;1995年03期
10 华玉林,金少刚,吕安德,孙要武;用热压ZnSe晶体制备ZnSe:Mn肖特基发光二极管[J];发光学报;1980年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张黎黎;张灿邦;张宏伟;周凌云;;核/壳量子点与生物分子偶联机制及其荧光特征的量子力学分析[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
2 陈立波;L.J.Sham;EdoWaks;顾永建;;光控耦合双量子点之间的超快相位门[A];第十五届全国量子光学学术报告会报告摘要集[C];2012年
3 李勇;谢志雄;;一种基于酵母细胞的硒化镉量子点的绿色合成方法[A];2010年第四届全国微生物遗传学学术研讨会论文摘要集[C];2010年
4 杨坤;张春阳;;基于量子点与荧光微球双色并发机制的单分子检测研究[A];中国化学会第28届学术年会第9分会场摘要集[C];2012年
5 张立明;张智军;;石墨烯量子点的合成及光谱特性研究[A];第十六届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2011年
6 朱守俊;张俊虎;刘学;唐诗佳;李波;杨柏;;石墨烯量子点的制备及其在生物成像领域的应用[A];2011年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2011年
7 张黎黎;张灿邦;张宏伟;周凌云;;激光与量子点和生物分子偶联结构的极化子或激子的相互作用机制的量子力学分析[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
8 王迅;;半导体量子点的库仑荷电效应[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展(上册)[C];1999年
9 董玥;尚欣;郝先;朱永春;王宏达;;量子点与Hela的相互作用[A];第一届全国生物物理化学会议暨生物物理化学发展战略研讨会论文摘要集[C];2010年
10 苑光辉;明海;王沛;;近场激发下的量子点共振能量转移研究[A];光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 张巍巍;单个电子可如“乒乓球”般在量子点间往返[N];科技日报;2011年
2 刘霞;科学实验发现:量子点不是点[N];科技日报;2010年
3 记者 刘霞;量子点与经典数据流可在光纤内同行[N];科技日报;2011年
4 刘霞;量子点全光开关有望让光互联取代电子互联[N];科技日报;2011年
5 冯卫东;美公司推出高性能量子点感光元件[N];科技日报;2010年
6 刘牧洋;我国量子点研究获新突破[N];光明日报;2003年
7 冯卫东;美研究可高效阻断蛋白生成的量子点技术[N];科技日报;2008年
8 王全楚;“量子点”荧光标记初露端倪[N];健康报;2005年
9 记者马艳红;中科院化学所成功制备量子点荧光微球[N];中国医药报;2005年
10 记者  毛黎;美利用量子点提高光电转换率[N];科技日报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 赵晓薇;Si衬底上低压MOCVD生长ZnS,ZnSe薄膜和ZnSe量子点[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
2 王科范;Si表面Ge量子点的MBE外延生长及其结构表征[D];中国科学技术大学;2006年
3 董乔梅;食管癌相关分子功能和纳米材料量子点新特性研究[D];北京协和医学院;2011年
4 苗雁鸣;几种纳米体系的制备表征和生物应用[D];中国科学院研究生院(物理研究所);2006年
5 杨景海;Ⅲ-V族化合物半导体材料GaN外延膜和InAs量子点的制备及光学特性研究[D];吉林大学;2006年
6 张立功;ZnCdSe量子阱/CdSe量子点复合结构中激子过程的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
7 王会堂;胰岛素受体亲合短肽的筛选、合成及量子点荧光标记的研究[D];东北师范大学;2005年
8 吕威;低维半导体材料(InGaN量子阱、InAs量子点)显微结构与光学性能关系研究[D];吉林大学;2005年
9 房铁峰;介观Kondo输运[D];兰州大学;2007年
10 陈刚;微腔中多体系统的新奇量子相变及其调控[D];山西大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 任娟;合成水溶性量子点及其作为离子探针[D];兰州大学;2009年
2 左超;水溶性量子点和磁性纳米粒子的制备[D];武汉大学;2004年
3 鞠文明;声子腔中半导体双量子点量子比特的动力学[D];上海交通大学;2010年
4 龙宇;电子—声子相互作用对量子环输运性质的影响[D];河北师范大学;2010年
5 张冬;压力下应变GaN/Al_xGa_(1-x)N柱形量子点中杂质态结合能[D];内蒙古大学;2010年
6 吕强;荧光量子点制备及相转移研究[D];吉林大学;2004年
7 万异;水相合成量子点用于生物分子检测的研究[D];吉林大学;2004年
8 陈泽冠;CdSe/CdS量子点薄膜的制备及其光电性能[D];苏州大学;2010年
9 刘俊余;新型水溶性CdTe量子点荧光探针的制备及其在肿瘤多药耐药研究中的应用[D];东北师范大学;2010年
10 常加峰;量子点与量子位构造[D];扬州大学;2003年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026