收藏本站
《中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)》 2004年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

衍射光栅色散理论与光栅设计、制作和检验方法研究

巴音贺希格  
【摘要】:本文对衍射光栅色散理论与光栅设计、制作工艺和效率检验方法做了较为深入的研究。第一,在光栅理论研究方面,基于矢量衍射理论给出了一维和二维平面光栅的广义光栅方程以及角色散公式的完整解析形式,建立了衍射光栅第一类和第二类角色散概念,系统地讨论了衍射光栅两类角色散的相关特性,完善和发展了衍射光栅色散理论。第二,在光栅理论的应用研究方面,从矢量衍射理论基础出发,给出了表示平面光栅光谱仪谱线和谱带弯曲程度的精确关系式和光谱仪器的两类色散公式,数值结果表明以往所用近似公式存在不足。第三,在光栅设计与制作方面,导出了矩形光栅衍射效率的一般表达式,分析了矩形光栅衍射光谱的缺级现象,通过数值分析发现光学头光栅纵向与横向加工误差之间存在互补性,并根据设计结果成功地研制出了VCD信号读写头光栅。第四,在金属光栅刻划工艺研究方面,建立了实际刻划光栅的物理模型,着重探讨了刻划激光光栅和计量光栅的技术要领,并应用先进的检测手段再现了光栅槽形,为提高光栅的刻划精度提供了参考依据。第五,对全息曝光系统的特点、光栅常数的精确控制方法、曝光与显影过程中常见的问题和离子束刻蚀工艺等方面的具体问题做了研究,并制作了全息—离子束刻蚀光栅。第六,论述了平面光栅衍射效率连续扫描测试原理,分析了已有光栅效率自动检验仪设计方案及其优缺点,提出了一种新的结构紧凑,精度易于实现,能够进行实时测量的全自动光栅效率检验仪设计方案,并做了可行性分析,为具体研制工作做了准备。
【学位授予单位】:中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2004
【分类号】:O436.1

手机知网App
【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 李文昊;巴音贺希格;齐向东;;基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理[J];微细加工技术;2007年01期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 董晓浩;X射线光束线仪器与条形射频源离子束刻蚀设备研制若干问题研究[D];中国科学技术大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 王建国;TN型液晶光栅的制作与研究[D];汕头大学;2009年
2 于宏柱;全自动光栅衍射效率测试仪设计[D];吉林大学;2013年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 梁万国,郑婉华,谢敬辉,梁恩主,陈良惠,李卉,刘浩;VCD和DVD用全息光栅衍射效率的分析[J];半导体学报;2001年06期
2 张奇志,周传宏,傅克祥,王植恒;阶梯形浮雕和折射率位相光栅的衍射性质比较[J];光电工程;2000年02期
3 周传宏,王植恒,张奇志,聂娅,傅克祥;二元台阶型光栅的校正傅里叶展开耦合波分析[J];光电工程;2001年04期
4 张国平,叶嘉雄,李再光;二元光学元件的耦合波分析[J];光电工程;1997年02期
5 石建川,李慎,刘盛纲;金属光栅衍射问题的电磁场理论分析(TE波)[J];光电工程;1998年02期
6 石建川,李慎,刘盛纲;金属光栅衍射的电磁场理论分析(TM波)[J];光电工程;1999年01期
7 郑师海;李德华;陈岩松;;微米亚微米光栅的矢量衍射特性研究[J];光电子·激光;1997年01期
8 巴音贺希格,齐向东,唐玉国;矩形光栅衍射效率的一般表达式及其缺级现象[J];光电子·激光;2003年10期
9 巴音贺希格,齐向东,唐玉国;二维周期结构色散特性的矢量理论分析[J];光电子·激光;2003年11期
10 巴音贺希格,高键翔,齐向东,李春启;10.6μm激光器一级输出高衍射效率闪耀光栅的研制[J];光电子·激光;2004年10期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 时轮;一种亚纳米级栅距变化量的变栅距光栅分度控制方法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王仁义;薄透镜成像的几何光学规律及其傅里叶解释[J];安徽教育学院学报;2002年03期
2 王伟;;物理光学课程教学改革与实践[J];安徽工业大学学报(社会科学版);2011年04期
3 黄显昌;;电磁波在平面光栅上的衍射[J];安徽师大学报(自然科学版);1986年02期
4 景敏;由物像位置关系得出的透镜成像判断方法[J];安康师专学报;2005年05期
5 姜丽娜;;单缝夫琅和费衍射光强分布的3种计算方法[J];辽宁科技大学学报;2011年02期
6 高峰,刘柏松;用迈克尔逊干涉仪实现点光源非定域干涉的分析[J];鞍山钢铁学院学报;1994年04期
7 范希智,李刚正;有机电致发光薄膜的研制[J];鞍山师范学院学报;1999年03期
8 彭伟,余小戈,林钧岫;FBG的衍射光学特性和耦合模理论分析[J];半导体光电;1999年03期
9 杨四刚,潘晴,胡必春,李林;基于固体腔F-P标准具的可调谐自适应光滤波器[J];半导体光电;2003年02期
10 涂建坤,陆润华,江斌,依晓春,沈奶连;用波长扫描法测试光纤偏振模色散[J];半导体光电;2003年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 符斯列;陈俊芳;;微波ECR等离子体化学气相沉积GaN薄膜的特性研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
2 何平安;胡亚文;陶慧玲;宋燕新;;激光投线仪610自动检测系统[A];2009年全国测绘仪器综合学术年会论文集[C];2009年
3 王进;刘勋;雷洪波;赖新春;;紫外可见光反射光谱法测试薄膜厚度装置及应用[A];中国核学会核材料分会2007年度学术交流会论文集[C];2007年
4 杨志刚;钟声;;化学镀铜在超大规模集成电路中的应用和发展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
5 徐向东;洪义麟;霍同林;周洪军;陶晓明;傅绍军;;同步辐射Laminar光栅的研制[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
6 郝斌;过晓辉;王胡顺;;高速摄像测量仪作用距离的分析计算[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
7 王晓玲;郎晓萍;牛春晖;;光信息科学与技术专业课程改革研究[A];2006-2010年教育部高等学校光电信息科学与工程专业教学指导分委员会及协作委员会2010年全体会议论文集[C];2010年
8 何平安;胡亚文;陶慧玲;宋燕新;;投线仪误差自动测量系统[A];第十八届十三省市光学学术会议论文集[C];2010年
9 张文法;温诗铸;;应用光干涉法研究弹流油膜厚度和形状[A];摩擦学第三届全国学术交流会论文集流体润滑部分(Ⅰ)[C];1982年
10 徐熙平;苏拾;张国玉;张宁;;基于CCD的摆动扫描镜摆幅光电测量系统研究[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 贺胜男;真空紫外同步辐射Seya-Namioka单色仪的多层膜光栅研制[D];中国科学技术大学;2010年
2 李建威;高速光电探测器频率响应特性测试研究[D];南开大学;2010年
3 陈国庆;荧光光谱技术在食品安全监控中的应用研究[D];江南大学;2010年
4 刘超;激光光热驱动技术与微型光热驱动机构研究[D];浙江大学;2010年
5 牛爽;全景环带凝视成像光学系统的研究与应用[D];浙江大学;2010年
6 黄翀;航空场景模拟器的设计与研究[D];华中科技大学;2011年
7 李中亮;大曲率弧矢聚焦双晶单色器及多层膜单色器相关技术研究[D];中国科学技术大学;2011年
8 钟俊;宏观尺度的纳米级定位控制技术研究[D];中国科学技术大学;2011年
9 张少梅;LiNbO_3的光波导特性研究和平板光子晶体结构的制备[D];山东大学;2011年
10 强海霞;一维光子晶体全向反射镜和滤波器的设计及特性研究[D];南京理工大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 叶鑫;基于模板法的亚波长微结构的制备与减反射性能研究[D];中国工程物理研究院;2010年
2 饶玉芳;无掩模光刻系统的研究与设计[D];南昌航空大学;2010年
3 黄长辉;金属材料断口三维形貌检测与表征分析[D];南昌航空大学;2010年
4 王悦竹;80口径观鸟镜ED光学系统设计[D];长春理工大学;2010年
5 付丽丽;单块晶体集成的Crossbar网络的优化设计与制作[D];辽宁师范大学;2010年
6 高上;液晶电视侧导光LED背光源设计与驱动控制技术[D];中国海洋大学;2010年
7 苏东平;基于FPGA的激光衍射测径仪的研究[D];哈尔滨理工大学;2010年
8 郝秀晴;半导体—光纤复合腔可调谐激光器的研究[D];北京交通大学;2011年
9 彭祖杰;数字全息三维面形检测研究[D];昆明理工大学;2008年
10 朱存光;激光诱导离解光谱技术及其定量化研究[D];烟台大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孟宪光 ,尤大纬;LSK—500型离子束刻蚀机通过成果鉴定[J];电工电能新技术;1983年03期
2 任智斌,卢振武;通过缩短显影时间提高微透镜阵列的填充因子与F数[J];光电子·激光;2005年02期
3 齐向东;新型平面光栅衍射效率扫描测试仪方案[J];光机电信息;1997年11期
4 黄翀;周学平;欧阳艳东;林旭升;吴永俊;黄远明;;液晶光阀的电光色散特性研究[J];光谱学与光谱分析;2006年03期
5 黄罛;刘骥;周学平;欧阳艳东;;频率驱动液晶光阀的电光特性研究[J];光谱学与光谱分析;2007年02期
6 王芳;齐向东;于宏柱;于海利;;平面反射光栅衍射效率自动测试仪的设计与分析[J];光谱学与光谱分析;2009年02期
7 寇婕婷;巴音贺希格;唐玉国;齐向东;于宏柱;;平面光栅双单色仪的光学系统设计[J];光谱学与光谱分析;2012年03期
8 董晓浩;凤良杰;康乐;徐朝银;;同步辐射X射线双晶单色器联动机构[J];光学精密工程;2007年02期
9 巴音贺希格;张浩泰;李文昊;;凹球面基底离心式涂胶的数学模型及实验验证[J];光学精密工程;2008年02期
10 张善文;巴音贺希格;;宽波段金属光栅设计中闪耀波长对光栅异常的补偿效应[J];光学精密工程;2009年05期
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 孔鹏;平场全息凹面光栅设计方法及制作关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
2 傅翾;同步辐射Sagittal聚焦双晶单色技术研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
3 高福华;衍射光学在ICF激光驱动系统中的应用研究[D];四川大学;2003年
4 沙吉乐;基于液晶光栅技术的三维视觉测量系统研究[D];天津大学;2003年
5 朱向冰;军用自动立体显示技术研究[D];合肥工业大学;2006年
6 寇婕婷;衍射光栅效率自动测试仪光学系统设计与测量误差修正方法研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 吴迪;衍射波前测试方法的研究[D];长春理工大学;2011年
【二级引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 周小为;大口径衍射光学元件的离子束刻蚀及相关问题的研究[D];中国科学技术大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 徐茵,顾彪,秦福文,从吉远,杨树人;GaN薄膜低温外延的ECR-PAMOCVD技术[J];半导体技术;1998年01期
2 梁春广,张冀;GaN——第三代半导体的曙光[J];半导体学报;1999年02期
3 赵彦立,钟国柱,范希武,李长华;AlN:TbF_3薄膜的电致发光[J];发光学报;1999年04期
4 王炜,徐俊中,李永平,李涛,傅绍军;用于分频的闪耀光栅设计及衍射行为研究[J];光电工程;2000年02期
5 傅克祥,文军,王磊,周传宏,王植恒;亚波长位相光栅矢量衍射理论的数值计算[J];光电工程;1997年S1期
6 石建川,李慎,刘盛纲;金属光栅衍射问题的电磁场理论分析(TE波)[J];光电工程;1998年02期
7 郑师海,李德华,陈岩松,戴伦;微米亚微米矩形光栅衍射特性的实验研究[J];光电子·激光;1995年06期
8 章锦华 ,陈冬;金刚石车刀的设计与刃磨工艺的研究[J];工具技术;1984年02期
9 郝德阜;;光栅干涉仪的运动误差原理[J];光学机械;1990年05期
10 王晓琳;杨厚民;;衍射光栅分度误差的检测[J];光学机械;1992年06期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 曾庆衿;红外光在光密介质中的传播[J];光电子.激光;1991年06期
2 王锦光;洪震寰;;我国古代对虹的色散本质的研究[J];自然科学史研究;1982年03期
3 张国威;变束棱镜的色散理论[J];光学学报;1986年01期
4 刘泉水;陈桂枝;;特殊色散现象的观测与分析[J];物理通报;1997年03期
5 ;光的色散[J];中国光学与应用光学文摘;1998年05期
6 叶帆;顾兵;黄晓琴;;薄膜材料折射率色散的进展与展望[J];光学仪器;2010年04期
7 张存洲,张万林,张光寅;固体中自由载流子-声子间介电耦合作用及其在反射光谱中的表现[J];红外与毫米波学报;1984年04期
8 刘平,徐文兰,李志锋,缪中林,陆卫;PbTiO_3铁电相及顺电相的声子色散理论计算[J];物理学报;2001年02期
9 陈振鹏;光学实验教改点滴[J];大学物理;1982年08期
10 胡化凯;五行说对中国古代物理认识的影响[J];管子学刊;1999年01期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 屈恩世;汪岗;;径向梯度变折射率透镜的色散特性的研究[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
2 李冠告;蓝国祥;李兵;王华馥;;钽酸锂晶体的喇曼光谱及其方向色散的测定[A];第二届全国光散射学术会议论文集(下)[C];1983年
3 王华馥;杨洗陈;兰国祥;李兵;;LiNbO_3和LiTaO_3晶体的喇曼光谱及方向色散[A];第二届全国光散射学术会议论文集(上)[C];1983年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 巴音贺希格;衍射光栅色散理论与光栅设计、制作和检验方法研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
2 林林;生物组织光学断层成像与光学参数提取方法研究[D];暨南大学;2011年
3 赵勇;载流子色散型硅基光波导器件研究[D];浙江大学;2011年
4 郝金会;Sagnac式光纤电流互感器研究[D];哈尔滨工程大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 冯桂英;硼掺杂对β-SiC光学性质的影响[D];燕山大学;2010年
2 殷金英;粒子光学常数的尺寸效应[D];哈尔滨工业大学;2006年
3 章锦;基于DSP的40Gbit/s动态色度色散补偿系统中控制单元的设计[D];天津大学;2006年
4 郑平;光载射频系统中光生毫米波技术研究[D];西安电子科技大学;2010年
5 张娜;防透明织物制备及表征关键技术研究[D];东华大学;2012年
6 邓屹;偏振模色散的统计特性以及其对于脉冲影响的研究[D];华中科技大学;2005年
7 杨超博;色散型慢光干涉仪的实验研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 李睿;新型复合波导结构太赫兹发射器的设计[D];天津大学;2010年
9 刘彩虹;多模光纤光栅的特性及其较单模光纤光栅优越性的研究[D];吉林大学;2012年
10 杨旺喜;通信波段近零平坦色散光子晶体光纤的理论设计[D];燕山大学;2012年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026