收藏本站
《中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)》 2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

MOEMS光开关阵列芯片的研究

兰卫华  
【摘要】:快速发展的光通信技术促使全光通信网络浮出水面,全光网络的发展依赖于光开关技术的进步。过去几年间,各种各样的技术被用于光开关的研究。和其他技术相比,MOEMS 光开关技术显示了无法比拟的技术优势。因此基于MOEMS技术的光开关将成为下一代全光通信网络的关键光器件。 首先,从光开关在全光网络的应用出发,比较了各种光开关技术的性能。基于MOEMS 技术的光开关和其他技术类型的光开关相比显然具有更多的优良性能,例如波长透明和偏振无关等。叙述了国内外目前为止MOEMS 光开关技术的发展现状。提出了一种基于静电驱动和垂直微反射镜技术的MOEMS 光开关。 其次,分析了光开关微反射镜的反射特性,然后推导了归一化的光开关静电驱动结构力矩平衡特性方程。另外,讨论了各个静电驱动结构参数对驱动电压的影响。随后,计算了光开关的固有频率,并且分析了光开关的开关速度。 第三,使用MSC Patran 有限元软件对静电驱动结构进行了建模,并利用有限元分析了各部分的应力分布,对机械结构进行了可靠性分析。 最后,研究了各向异性腐蚀的机理,设计了MOEMS 光开关阵列芯片的制作工艺。使用KOH 各向异性腐蚀液制作了垂直微反射镜阵列,并对实验结果进行了分析和讨论。
【学位授予单位】:中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2005
【分类号】:TN929.11

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;[断电记忆 淡入淡出 单向调光] 波创A8系列智能/调光开关[J];数字社区&智能家居;2010年03期
2 徐宁;朱永梅;孙晓云;马正北;钱晨;;基于压电陶瓷的光开关结构设计与实验研究[J];光通信研究;2011年04期
3 曹作恺;徐宁;;微流控阵列光开关中微流体流动特性的研究[J];计算机技术与发展;2011年09期
4 李丽君;曹莹;周秀丽;于国亮;;光纤布拉格光栅非线性双稳开关特性研究[J];光通信研究;2011年04期
5 陈直;陈抱雪;隋国荣;李倩;;LiNbO_3基Sn-As_2S_8单偏振单模波导电光开关的设计[J];光学仪器;2009年03期
6 苏亚辉;崔洪涛;杨云杰;汪金礼;黄文浩;;飞秒激光并行光学存储系统设计及仿真[J];光电工程;2011年06期
7 刘小林;郑建立;;基于SOA的光保险丝的研究和设计[J];光通信技术;2011年06期
8 ;[防漏电DIY纳米材料] 完美生活OMELIFE智能笑脸开关系列[J];数字社区&智能家居;2010年03期
9 ;性能稳定决定品质成败——智能无线灯控产品评测[J];数字社区&智能家居;2010年03期
10 韩文峰;;浅谈FTTH网络中自动保护和恢复切换技术[J];数字技术与应用;2011年07期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 明安杰;梁静秋;董玮;陈维友;王立军;王维彪;;基于MOEMS的自由空间8×8光开关相关技术研究[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议(OFCIO’2003)论文集[C];2003年
2 沈映欣;李刚毅;;1×4 LiNbO_3光开关[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议(OFCIO’2003)论文集[C];2003年
3 黄珊;何治柯;;核酸分子“光开关”用于银离子的测定[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
4 陈非凡;李云龙;殷玲;乔力争;;基于MOEMS的微型可编程相位光栅原理性实验研究[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(上)[C];2001年
5 王丹;彭小峰;;一种MEMS光开关的原理及设计[A];广西光学学会2002年学术年会论文集[C];2002年
6 王运;何治柯;;核酸分子“光开关”特性钌(Ⅱ)配合物研究进展[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
7 宋金声;;光开关的技术进展和应用[A];全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议(OFCIO’2001)论文集[C];2001年
8 陈四海;潘峰;付小朝;柯才军;汪殿民;向思桦;赖建军;易新建;;基于MOEMS工艺制作柔性光学传感器[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
9 罗元;胡章芳;;MEMS光开关阵列扩展性的研究[A];第九届全国青年通信学术会议论文集[C];2004年
10 肖立峰;刘迎;;集成光学声光光开关隔离度的研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 吴莉;新型磁光光开关[N];经济参考报;2003年
2 ;山东新型磁光光开关通过鉴定[N];今日信息报;2003年
3 胡慧平;引言-----半导体光开关[N];中国电子报;2002年
4 记者吴仲国;日本开发出新型光开关[N];科技日报;2002年
5 吴映红;半导体光开关——光网络核心元件[N];中国电子报;2000年
6 冯卫东;科学家制造出世界最小光开关[N];科技日报;2008年
7 孙喜庭 实习生 侯颖 本报记者 李兵;德国老专家情系中国企业[N];锦州日报;2006年
8 叶建平;自驾游前应做到“三先”[N];人民公安报·交通安全周刊;2008年
9 记者 尹一平;彰显魅力 成果丰硕[N];锦州日报;2006年
10 烽火通信科技股份有限公司副总裁 李广成;光交换/光路由铸就全光网络[N];网络世界;2000年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 梁静秋;微光机电器件及其关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
2 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
3 王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
4 陈芳;核酸分子“光开关”及核酸光谱分析新方法研究[D];武汉大学;2004年
5 罗彪;面向近红外微型光谱仪的MOEMS扫描光栅微镜关键技术研究[D];重庆大学;2012年
6 卢山鹰;干涉型铌酸锂基集成光开关研究[D];浙江大学;2004年
7 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
8 张智海;基于MOEMS技术的光栅平动式光调制器阵列若干关键技术研究[D];重庆大学;2008年
9 吴宇;微纳光纤环MOEMS加速度传感器理论与应用研究[D];浙江大学;2008年
10 曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 潘建旋;基于(100)硅片的MOEMS光开关的研制[D];吉林大学;2005年
2 兰卫华;MOEMS光开关阵列芯片的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
3 王丹;MOEMS阵列光开关的制作与性能测试[D];吉林大学;2006年
4 纪平;微机械光开关微反射镜的制作和驱动结构的有限元分析[D];吉林大学;2004年
5 韩晓星;用于热光光开关的聚合物薄膜波导制作[D];华中科技大学;2004年
6 占恒正;光注入全内反射型光开关的研究[D];浙江大学;2003年
7 赵波;面向OXC的MEMS光开关设计与分析技术[D];东南大学;2004年
8 冯志芳;几种光子器件的原理及应用的研究[D];北京工业大学;2003年
9 杨艺榕;转动竖直微镜的硅微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
10 葛峻;MEMS光开关的研究[D];东南大学;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026