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《中国科学院西安光学精密机械研究所》 2001年
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表面微观形貌测量中相移干涉术的算法与实验研究

惠梅  
【摘要】: 本文对表面微观形貌相移干涉测量技术开展了全面、系统的理论与实验研 究工作。重点对相移干涉术算法,即相位提取算法和相位去包裹算法的理论进 行了深入研究,在此基础上,提出和发展了6种相位提取算法和5种相位去包 裹算法。在普通干涉显微镜的基础上,应用新提出和发展的算法编制的软件, 进行了被测物体的相位计算以及截断位相的整体恢复,进一步提高了微观表面 形貌的测量精度和测量可靠性、提高了测量系统的整体性能指标。 在相位提取算法方面,本文提出和改进了以下六个对扰动和误差不敏感的 相位提取算法,并给出了这些算法的理论推导和分析过程: (1)线性相移随机误差免疫四帧算法; (2)线性相移随机误差及光强信号二次谐波不敏感六帧算法; (3)对光强信号二次、三次、四次谐波不敏感算式; (4)对背景调制不敏感算法; (5)存在线性相移差时高次谐波不敏感算法; (6)基于Lissajous图的最小二乘拟合算法。 经过实验验证,上述算法具有对误差源不敏感的特性,其中算法(3)对Ra 的重复测量精度小于0.3nm。与传统相位提取算法相比,新算法将重复测量精 度提高了5倍以上。 针对实际干涉图中噪声点、低调制度点、误差点所引起的相位去包裹的结 果错误,本文发展了五个相位去包裹算法,来尽可能减少和避免这些情况的发 生。文中对这些算法进行了详细的理论推导和分析: (1)基于参考位相阈值的相位去包裹算法; (2)基于一维离散余弦变换的相位去包裹算法; (3)基于相位跳变线估测的相位去包裹算法; (4)运用Zernike多项式的相位去包裹算法; (5)基于理想平面拟合的相位去包裹算法; 在论文的实验工作中,对测量过程中出现的相位截断现象,应用算法(2) 和算法(3)解决了噪声包裹导致的相位突跳,恢复了物体表面形貌的连续性和 真实性,并对算法(1)、算法算法(4)和算法(5)进行了计算机模拟验证,证明了它 们对现实物体图象所存在噪声的处理是十分有效的。 在论文的实验研究工作中,建立了微分相衬干涉显微测量系统;编写了一 套测试软件、多个算法软件及多组数据处理软件;分析并解决了微观表面形貌 测量中存在的一些技术难题;对测量系统进行了详细的误差和精度分析。 测量结果表明,粗糙度测量精度为0.3nm;形貌高度测量精度为3.3lun;垂 直分辨率为4.6nm;系统稳定性为3.Slun。 关键词:相移干涉术,相位提取算法,相位去包裹算法,微分相衬干涉
【学位授予单位】:中国科学院西安光学精密机械研究所
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2001
【分类号】:TN16

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 黄玉波;栗大超;胡小唐;胡春光;张文栋;徐临燕;;MEMS/NEMS表面3-D轮廓测量中基于模板的相位解包裹方法[J];传感技术学报;2006年05期
2 惠梅,李庆祥,王东生,徐毓娴;移相式微分干涉相衬显微测量系统的研制[J];光电子·激光;2002年11期
3 徐毓娴,董小满,蔡昕,惠梅;干涉显微镜中相移误差分析[J];光学技术;2002年06期
4 惠梅,牛憨笨,李庆祥,徐毓娴,王东生;相移干涉显微术测量表面微观形貌[J];光学技术;2003年01期
5 胡春光;胡晓东;栗大超;郭彤;胡小唐;;三维相位展开算法在精密运动测试中的应用[J];光学学报;2007年01期
6 杜虎兵;赵宏;李兵;李正伟;郑亮;冯磊磊;;相移阴影莫尔基于迭代LSM拟合[J];光子学报;2011年07期
7 李岩,井文才,周革,于晋龙,张红霞,张以谟;纳米检测轮廓仪相移干涉图处理[J];纳米技术与精密工程;2005年01期
8 李会雨;李玉和;李庆祥;廖小华;郑静琳;;基于测地学腐蚀的去包裹算法[J];清华大学学报(自然科学版);2006年08期
9 董小满,徐毓娴,惠梅;相移算法模拟实验研究[J];仪器仪表学报;2002年S2期
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 王淑珍;基于白光干涉超精密表面形貌测量方法与系统研究[D];华中科技大学;2010年
2 王军;短相干光干涉在晶体特性参数和微观表面形貌测量中的应用研究[D];南京理工大学;2010年
3 康岩辉;阿伏伽德罗常数测量中硅球直径测量的若干关键问题研究[D];天津大学;2009年
4 李朝辉;基于相移干涉法的微表面轮廓仪的研究[D];天津大学;2004年
5 栗大超;硅微机械扭转镜光致动器及其动态测试技术的研究[D];天津大学;2004年
6 郭彤;基于显微干涉术的微机电系统动态测试方法与系统的研究[D];天津大学;2004年
7 张红霞;用于微表面形貌检测的纳米级白光相移干涉研究及仪器化[D];天津大学;2004年
8 楚兴春;纳米光栅干涉位移测量关键技术的研究[D];国防科学技术大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 罗婷;白光干涉测量光学薄膜厚度[D];南京理工大学;2011年
2 沈金华;激光共聚焦信号处理及控制技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 陈朋;晶圆表面形貌的微分干涉系统设计及实验研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 石凤;基于双波长干涉的微表面形貌测量的算法和实验研究[D];天津大学;2010年
5 李和利;晶圆表面微观形貌检测系统的实现及控制[D];哈尔滨工业大学;2010年
6 翟伟光;晶圆表面形貌的微分干涉系统图像相位提取及去包裹[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 黄根旺;斐索型移相式激光干涉仪研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
8 程伟林;偏振相移显微干涉超精表面形貌测量研究[D];华中科技大学;2011年
9 朱蔚;纳米级微表面干涉形貌检测仪的功能扩展和数据处理[D];天津大学;2006年
10 聂志红;三维轮廓相位测量的计算机模拟及频谱特性分析研究[D];昆明理工大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 董大年;程上彝;杨国渝;;表面微观形貌的非接触测量[J];光学工程;1989年01期
2 王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英;纳米级精度的线宽测量仪[J];光学精密工程;1994年01期
3 赵宏,陈文艺,谭玉山;利用莫尔条纹的准正弦特性的三维轮廓术[J];光学学报;1994年08期
4 朱日宏,陈进榜,王青,陈磊;移相干涉术的一种新算法:重叠四步平均法[J];光学学报;1994年12期
5 陈进榜,宋德真,朱日宏,王青,陈磊,陈道炯;高精度、大口径平面波像差标准──移相式数字平面干涉仪[J];光学学报;1995年04期
6 赵兵,郭彬,方如华;相位移法中的量化误差效应[J];光学学报;1996年12期
7 苏显渝,李杰林,李继陶;激光片光三维传感中降低散斑影响的新方法[J];光学学报;1997年02期
8 苏显渝,谭松新,向立群,李继陶,羡涛;基于傅里叶变换轮廓术方法的复杂物体三维面形测量[J];光学学报;1998年09期
9 徐福候;;诺马斯基棱镜的原理及其计算方法[J];光学仪器;1983年02期
10 陈峻堂;;微分干涉相衬显微术[J];光学仪器;1984年01期
【共引文献】
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1 李娜;马修水;李桂华;;测量不确定度及测量不确定度评定综述[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2008年03期
2 马强,许桢英;动态测量误差溯源方法研究[J];安徽机电学院学报;2001年04期
3 苏燕飞;带电粒子作同频旋转振动的辐射[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2002年02期
4 景常荣;;斜坡稳定性安全系数的统一解[J];地下空间与工程学报;2007年S2期
5 胡庆,王敏琦,袁绥华;偏振光在保密通信中的应用研究[J];半导体光电;2001年06期
6 孙爱晶,田燕宁,方强;一种具有监视功能的两级反射式光隔离器[J];半导体光电;2005年03期
7 刘永智,刘旭;LiNbO_3光波导中TE_0,TM_0消光比的测量[J];半导体光电;1998年06期
8 杨树明,朱强,赵则祥,蒋庄德;纳米压入法测量中初始接触点判断问题研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
9 赵翠吉;万能测长仪的测量误差分析及其修正[J];北方工业大学学报;1989年01期
10 铁小匀;;一种基于遗传算法的灰度图二值化方法[J];北方工业大学学报;2008年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张青锁;刘占时;;数字地形图的误差校正[A];河南地球科学通报2008年卷(下册)[C];2008年
2 万维汉;张海峰;;基于先验知识的旋流器溢流粒度软测量[A];2011中国有色金属行业仪表自动化学术会议论文集[C];2011年
3 李盛林;胡天玉;梅华;;自动观测系统的采样间隔时间研究[A];“2010年北京气象学会中青年优秀论文评选”学术研讨会论文集[C];2011年
4 王光辉;吴福全;徐世昌;;单轴旋光晶体光轴方向折射率的分析[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
5 许忠保;张楠;;基于正弦相位调制的表面轮廓测量方法[A];2006年湖北省博士论坛——先进制造技术与制造装备论文集[C];2006年
6 苏俊宏;石一磊;杨利红;徐均琪;;基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量方法[A];第十七届十三省(市)光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集[C];2008年
7 赵明浦;;物体表面三维重建实现方法研究现状[A];中国生物医学工程进展——2007中国生物医学工程联合学术年会论文集(上册)[C];2007年
8 任旭虎;綦耀光;宋珊珊;;傅立叶变换轮廓术中有效信息提取方法的研究[A];第十七届全国测控计量仪器仪表学术年会(MCMI'2007)论文集(上册)[C];2007年
9 冯耀国;李新娥;马铁华;;压力动态测试系统的不确定度评定[A];第十七届全国测控计量仪器仪表学术年会(MCMI'2007)论文集(上册)[C];2007年
10 朱子新;王怡良;陈栋;张晶;朱春阳;;润滑油金属含量测试的比对方法研究[A];第八届全国摩擦学大会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘德铸;声学多普勒流速测量关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 王淑珍;基于白光干涉超精密表面形貌测量方法与系统研究[D];华中科技大学;2010年
3 单鹂娜;组合式时间编码结构光三维测量方法与技术[D];哈尔滨理工大学;2010年
4 孟凡文;面向光栅投影的点云预处理与曲面重构技术研究[D];南昌大学;2010年
5 陈龙江;曲面激光直写中若干关键技术研究[D];浙江大学;2010年
6 赵志超;导弹防御雷达网数据融合技术研究[D];国防科学技术大学;2010年
7 黄琛;铁磁性构件脉冲涡流测厚理论与仪器[D];华中科技大学;2011年
8 王军;短相干光干涉在晶体特性参数和微观表面形貌测量中的应用研究[D];南京理工大学;2010年
9 张月义;质量损失函数与测量系统校准研究[D];南京理工大学;2010年
10 于秋水;基于图像处理方法的光学瞄具自动调焦技术研究[D];长春理工大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈军;测量不确定度在基础实验中的应用研究[D];山东农业大学;2010年
2 郭洋;基于嵌入式零树图像压缩编码方法研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 郑银涛;基于平板式电容的微位移测量系统设计[D];大连理工大学;2010年
4 舒友村;基于VNC的应用程序共享系统的研究与实现[D];哈尔滨理工大学;2010年
5 李亚杰;汽车仪表板的计算机视觉检测系统研究[D];长春工业大学;2010年
6 高学亮;基于机器视觉技术的雨滴谱数据检测系统[D];长春工业大学;2010年
7 伍琪琳;边坡变形监测数据的小波降噪和粗糙惩罚平滑[D];浙江大学;2011年
8 黄新建;基于指纹识别的医院管理信息系统的设计与实现[D];电子科技大学;2010年
9 兰宝林;基于电光晶体的光纤偏振态控制系统[D];浙江大学;2011年
10 程雯;基于光学方法的微波信号产生技术的研究[D];浙江大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 姜岩峰,黄庆安;MEMS领域中微结构机械参数在线测量方法的研究和进展[J];微纳电子技术;2003年04期
2 朱泳,闫桂珍,王成伟,王阳元;高深宽比深隔离槽的刻蚀技术研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 张国炳,郝一龙,田大宇,刘诗美,王铁松,武国英;多晶硅薄膜应力特性研究[J];半导体学报;1999年06期
4 吕海宝,曹聚亮,苏绍景,罗武胜,杨华勇;非对称双光栅位移测量研究[J];兵工学报;2000年04期
5 张强;施涌潮;吕乃光;杜玲;;激光光斑中心位置的探测[J];北京机械工业学院学报;1996年02期
6 唐冠群;;几种激光光斑中心定位算法的比较[J];北京机械工业学院学报;2009年01期
7 赵慧洁,张广军;影响激光外差高精度计量的几个关键因素[J];北京航空航天大学学报;2002年02期
8 齐永岳;赵美蓉;林玉池;;高精度激光干涉条纹细分系统[J];传感器与微系统;2006年08期
9 王政平;张锡芳;张艳娥;;表面粗糙度光学测量方法研究进展[J];传感器与微系统;2007年09期
10 张楠;陶正苏;郭瑞鹏;;一种基于光散射原理在线测量晶圆表面质量的方法[J];传感器与微系统;2009年07期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 赵焕东;相位测量轮廓术的理论研究及应用[D];浙江大学;2001年
2 吴新民;光干涉测试中的抗振技术研究[D];南京理工大学;2002年
3 苏绍璟;大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
4 何勇;数字波面干涉技术及其应用研究[D];南京理工大学;2003年
5 张蓉竹;ICF系统光学元件高精度波前检测技术研究[D];四川大学;2003年
6 王永红;基于全场并行共焦的检测技术与系统研究[D];合肥工业大学;2004年
7 杨练根;基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统和二维Motif评定方法[D];华中科技大学;2004年
8 郭军;激光干涉表面形貌测量系统及3D-MOTIF评定研究[D];华中科技大学;2004年
9 柳忠尧;用于掩模板表面形貌测量的外差干涉显微系统的研究[D];清华大学;2004年
10 江俊峰;用于结构健康监测的光纤传感解调系统的理论与方法研究[D];天津大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈朋;晶圆表面形貌的微分干涉系统设计及实验研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 程丽君;主动抗振干涉技术中瞬态相位检测的研究[D];南京理工大学;2002年
3 马淑贞;光学三维位相轮廓测量技术研究[D];昆明理工大学;2003年
4 吴子明;主动抗振技术研究——单点探测与PZT补偿[D];南京理工大学;2003年
5 乌兰图雅;移相器在自适应抗振干涉仪中的应用[D];南京理工大学;2003年
6 叶朝阳;大视场图像拼接:原理和应用[D];浙江大学;2004年
7 田宝凤;基于胎儿心率信号提取的自适应去噪算法的研究[D];吉林大学;2004年
8 姬会东;移相干涉仪中主动抗振及电器集成控制技术研究[D];南京理工大学;2004年
9 祝乃庆;全景图自动拼接算法研究及系统实现[D];南京理工大学;2004年
10 陈进军;FFT法进行干涉测试的研究[D];南京理工大学;2004年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 闫如胜;马修水;李桂华;应仲阳;;光栅尺纳米测量技术研究及其发展[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2008年01期
2 孙效骥;钟伟红;方波静;支雄飞;余麟;;基于二次莫尔条纹纳米光栅传感器细分电路设计[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2011年02期
3 刘晨;卢荣胜;陈磊;王骏武;;基于光学法表面粗糙度的测量研究进展[J];半导体光电;2010年04期
4 谢元安;韩志刚;;基于白光干涉的空间频域算法研究[J];光电工程;2011年07期
5 刘卿卿;李海燕;浦昭邦;;光学法表面形貌测量技术[J];光电技术应用;2008年02期
6 于飞;惠梅;赵跃进;程蓉蓉;;消除移相干涉测量中线性移相误差的五帧算法[J];光学技术;2008年03期
7 郭彤;胡春光;陈津平;傅星;胡小唐;;垂直扫描白光干涉术用于微机电系统的尺寸表征[J];光学学报;2007年04期
8 孙学真;苏显渝;邹小平;;基于互补型光栅编码的相位展开[J];光学学报;2008年10期
9 张婷;路元刚;张旭苹;;禁忌搜索在最小不连续相位展开算法中的应用[J];光学学报;2009年08期
10 杜虎兵;赵宏;李兵;赵金磊;曹士旭;;阴影叠栅相移非线性误差补偿算法研究[J];光学学报;2012年05期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 池宪;锁小红;郭炜;安岩;;微小零件三维形貌检测系统的研究现状[A];探索 创新 交流(第4集)——第四届中国航空学会青年科技论坛文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王淑珍;基于白光干涉超精密表面形貌测量方法与系统研究[D];华中科技大学;2010年
2 孔令叶;轴对称回转曲面精密磨削加工技术研究[D];广东工业大学;2011年
3 王军;短相干光干涉在晶体特性参数和微观表面形貌测量中的应用研究[D];南京理工大学;2010年
4 康岩辉;阿伏伽德罗常数测量中硅球直径测量的若干关键问题研究[D];天津大学;2009年
5 曲伟;基于调变光程方法的泰伯微位移检测系统研究[D];黑龙江大学;2011年
6 刘娜;光学微结构观测系统研究[D];天津大学;2006年
7 赵本刚;基于MEMS的光学电流传感器与微纳安检流计的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
8 李新弘;基于白光干涉的自稳定定量相位成像技术及系统研究[D];浙江大学;2008年
9 常素萍;基于白光干涉轮廓尺寸与形貌非接触测量方法和系统[D];华中科技大学;2007年
10 戴蓉;基于垂直扫描工作台的白光干涉表面形貌测量系统研究[D];华中科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 骆永洁;非球面部分补偿干涉检测方法的误差分析及系统优化研究[D];浙江大学;2011年
2 林琳;投影光栅法三维人体重构技术研究[D];东华大学;2009年
3 赵瑞冬;电子散斑相移测量物体三维形貌[D];山东师范大学;2011年
4 罗婷;白光干涉测量光学薄膜厚度[D];南京理工大学;2011年
5 师丽丽;基于白光垂直扫描干涉法测量物体微观表面形貌的研究[D];南京理工大学;2011年
6 宁韩利;三维形貌测量系统集成化研究[D];天津理工大学;2011年
7 邵明珍;基于钠光干涉的透明体表面形貌测量系统的研究[D];山东大学;2011年
8 黄明;基于线性霍尔传感器的智能阀位变送器的设计[D];杭州电子科技大学;2009年
9 桂延杰;球面衍射光栅传感器信号处理系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 董跃华;激光干涉检测装置的实验研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 朱日宏,陈进榜,王青,陈磊;移相干涉术的一种新算法:重叠四步平均法[J];光学学报;1994年12期
2 谭松新,苏显渝;细胞自动机位相展开算法用于三维传感[J];光学学报;1997年01期
3 薛实福,李庆祥,王伯雄,徐毓娴,于水;显微干涉系统测量微细图形的台阶高度[J];清华大学学报(自然科学版);1990年05期
4 董大年,杨国光,曹天宁,张跃进;用于光学表面检测的数字波面干涉仪[J];仪器仪表学报;1987年03期
5 李庆祥,薛实福,王伯雄,汪春庆;用于显微测量的自动调焦系统[J];仪器仪表学报;1991年01期
6 李庆祥,薛实福,王伯雄,徐毓娴;DXY-1型线宽轮廓测量仪的设计[J];仪器仪表学报;1992年02期
7 张国雄;表面粗糙度测量的新方法[J];机床;1990年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 李斌成,邓延倬,程介克;微小光学相移的差分测量[J];光电工程;1997年05期
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5 李俊昌,钟丽云,吕晓旭,马淑贞,张永安,佘灿麟;不用专门相移装置的三维面形测量[J];光电子.激光;2003年01期
6 樊尚春;蔡晨光;王莹莹;邢维巍;;双谐振器敏感结构谐振式传感器[J];北京航空航天大学学报;2006年11期
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10 潘佩琳;;簡易三路載波机的濾波器設計法(二)[J];电信科学;1958年11期
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6 贾书海;王新;;新型激光剪切数字散斑干涉测量系统[A];中国仪器仪表学会第六届青年学术会议论文集[C];2004年
7 王玉荣;徐鹏;王建伟;王青圃;蔡履中;;采用两次曝光相移全息干涉实现光学图象幅相转换[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
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中国重要报纸全文数据库 前10条
1 吕妍;中外名牌高校竞相移师苏州[N];新华日报;2002年
2 成都 英子;电子管电路基础知识(二十二)[N];电子报;2007年
3 浙江 韦佰安;用EPROM和DAC组成的正弦波发生器[N];电子报;2002年
4 成都 英子;电子管电路基础知识(二十)[N];电子报;2007年
5 汤志诚;DV接口知多少(上)[N];电脑报;2004年
6 成都 英子;电子管电路基础知识(二十一)[N];电子报;2007年
7 成都 英子;电子管电路基础知识(二十三)[N];电子报;2007年
8 河南 李万乐;用TDA2040制作高保真直流功放[N];电子报;2007年
9 ;“亮峰”技术 延寿传统光刻工艺[N];计算机世界;2003年
10 ;十大亮点2004 春季IDF技术发现[N];中国计算机报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 惠梅;表面微观形貌测量中相移干涉术的算法与实验研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
2 吕晓旭;光学相移位相测量系统的设计研制与实验[D];天津大学;2004年
3 王文格;基于计算机视觉的大型复杂曲面三维测量关键技术研究[D];湖南大学;2003年
4 李朝辉;基于相移干涉法的微表面轮廓仪的研究[D];天津大学;2004年
5 郭彤;基于显微干涉术的微机电系统动态测试方法与系统的研究[D];天津大学;2004年
6 丛培秀;混合浪中长波对短波的调制研究[D];中国海洋大学;2009年
7 林晓艳;光纤空间编码投影器设计及应用研究[D];哈尔滨工程大学;2008年
8 孟彦龙;顶发射有机发光器件性能改善的研究[D];吉林大学;2008年
9 徐晓峰;光波长转换技术及相移保偏光纤布拉格光栅反射谱的研究[D];吉林大学;2005年
10 戴一堂;新型光纤布拉格光栅的研究与应用[D];清华大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 胡春光;利用相移显微干涉术和频闪成像技术研究MEMS离面运动[D];天津大学;2004年
2 周志红;原子光学中相移和频移问题的研究[D];华东师范大学;2011年
3 甄艳坤;单次相移数字全息术的研究[D];陕西师范大学;2004年
4 朱旭初;便携式多波束测深仪实时波束形成技术研究与实现[D];哈尔滨工程大学;2004年
5 雷永强;使用滑频滤波器抑制孤子位相抖动[D];内蒙古大学;2004年
6 郑刚;基于数字相移条纹投影三维测量的数据处理方法研究[D];湖南大学;2004年
7 张莉;同轴相移数字全息的研究[D];山东师范大学;2003年
8 朱军卫;级联型相移载波SPWM逆变器的研究[D];南京航空航天大学;2004年
9 孙晨光;数字相移相位测量技术及其应用[D];天津大学;2004年
10 鲁希锋;应用推广的QDCSM模型计算NN散射相移[D];南京师范大学;2002年
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