收藏本站
《中国科学院研究生院(电工研究所)》 2006年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

纳米级电子束曝光系统用图形发生器技术研究

刘伟  
【摘要】:纳米级电子束曝光系统是微纳加工的重要设备,图形发生器是电子束曝光系统的核心部件,包括硬件和软件两部分。硬件设计吸纳了近年来数字信号处理的最新成果,利用高性能数字信号处理器(DSP)将要曝光的单元图形拆分成线条和点,然后通过优化设计的数模转换电路,将数字量转化成高精度的模拟量,驱动扫描电镜的偏转器,实现电子束的扫描。为此目的特构建了x方向和y方向两组数模转换电路,每组包括1个16位主数模和3个16位乘法数模。通过图形发生器可以对标准样片进行图像采集,进行扫描场的线性畸变校正,包括扫描场增益、旋转和位移校正。另外,图形发生器还可以控制束闸的通断。 配合精密定位工件台和激光干涉仪,可以实现曝光场的拼接,拼接精度优于0. 2μm。通过检测芯片的标记,还可以实现曝光图形的套刻。 利用配套软件既可以新建曝光图形,也可以导入通用格式文件,例如CIF和GDSII文件,进行曝光参数设置、图形修正、图形分割、邻近效应修正等工作,然后将曝光图形数据转换成图形发生器可以识别的EDF文件,完成曝光图形的准备工作。图形发生器可直接处理的单元图形包括:矩形、梯形、折线、点、圆及圆环。 该图形发生器能够与扫描电子显微镜、聚焦离子束设备以及扫描探针显微镜连接,组建成纳米级光刻系统。我们将图形发生器与JSM-6360(LaB6阴极)扫描电子显微镜连接,进行了大量实验,得到了多组曝光图形,最细线条为28 .6nm。
【学位授予单位】:中国科学院研究生院(电工研究所)
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2006
【分类号】:TN405

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈建平;图形发生器的主扫描[J];电工电能新技术;1990年02期
2 郑玉兰;电子束曝光机的畸变校正装置[J];电工电能新技术;1990年03期
3 武丰煜;电子束曝光系统中的校正技术[J];电工电能新技术;1995年03期
4 张恝恕,杜秉初,陈华,周永健;聚焦离子束系统中图形发生及自动套准系统的研究[J];电子学报;1998年05期
5 王向东,杜秉初,葛璜;电子束曝光机自动套准系统的研究[J];电子学报;1995年08期
6 高强,赵海法;EM-5009B激光图形发生器的数据处理[J];微处理机;1998年04期
7 陈献忠,姚汉民,陈旭南,李展,罗先刚;纳米光刻技术的现状和未来[J];物理;2002年11期
8 魏守水,张玉林;一种新型的电子束图形发生器[J];微细加工技术;1993年02期
9 刘浩,张福安,薛虹;电子束曝光机图形处理系统[J];微细加工技术;1997年01期
10 胡咏梅,陈振生,姚作宾,王绍钧;LSIC凸多边形版图场分割数据处理的一种方法[J];微细加工技术;1998年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 王振华;新型图形发生器的研制[D];中国科学院电工研究所;2001年
2 陈建辉;可变矩形电子束曝光机图形数据转换软件的实用化研制[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2002年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王振宇,成立,祝俊;微/纳米级微电子机械系统制造新技术[J];半导体技术;2005年08期
2 王振宇;成立;祝俊;李岚;;电子束曝光技术及其应用综述[J];半导体技术;2006年06期
3 宋志;魏淑华;段辉高;薛虹;韩立;;三维微结构制作现状与进展[J];半导体技术;2008年07期
4 彭开武,田丰;纳米级高压扫描电子束曝光技术[J];微纳电子技术;2005年05期
5 乔俊仙;王肇志;胡松;张正荣;邢薇;唐小萍;王淑蓉;;电子束曝光机激光工件台系统研制[J];微纳电子技术;2006年02期
6 罗晓斌;于肇贤;;电子束曝光中低能电子散射的模拟[J];微纳电子技术;2009年01期
7 李海军;林文魁;张晓东;王逸群;曾春红;赵德胜;王敏锐;张宝顺;;表面等离子体近场光刻制作二维纳米阵列[J];微纳电子技术;2010年01期
8 李悦;田大宇;李静;刘鹏;戴晓涛;;纳米尺度多晶硅微结构刻蚀研究[J];微纳电子技术;2012年06期
9 郝慧娟;张玉林;卢文娟;魏强;;电子束重复增量扫描生成三维结构的研究[J];半导体学报;2006年07期
10 刘强;于肇贤;;低能电子束曝光的散射研究[J];北京信息科技大学学报(自然科学版);2010年02期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 赵兹君;;薄膜光刻工艺参数的优化[A];中国电子学会第十五届电子元件学术年会论文集[C];2008年
2 范细秋;张鸿海;汪学方;贾可;刘胜;;纳米压印光刻技术[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘科;高速任意波形合成关键技术研究[D];电子科技大学;2010年
2 祁先进;低剂量Ga~+辐照和温度对自旋阀磁性能及其稳定性的影响[D];南京航空航天大学;2010年
3 孙健;亚麻籽胶对肉制品保水性、乳化性、淀粉糊化和老化特性影响及其应用[D];南京农业大学;2011年
4 孟凡涛;纳米光刻技术及其在三端结器件和纳米光栅偏振器中的应用[D];大连理工大学;2011年
5 王乐妍;激光光致热塑成型效应及三维微结构制备新方法研究[D];浙江大学;2011年
6 郝胜智;纯Al材强流脉冲电子束表面改性的研究[D];大连理工大学;2000年
7 吴爱民;模具钢电子束表面改性及应用基础研究[D];大连理工大学;2002年
8 姒强;一种基于中频采样的雷达数字波形产生方法研究[D];电子科技大学;2003年
9 卢刚;纳米结构制备和硅单电子晶体管的研究[D];西安理工大学;2003年
10 樊志琴;碳纳米管膜的制备及场发射特性研究[D];郑州大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 林盛浩;半导体匀胶系统的研究与优化设计[D];电子科技大学;2010年
2 吴佳杰;基于压电驱动的多自由度微操纵平台及其测控技术的研究[D];浙江大学;2011年
3 常俊杰;利用电子束与深紫外光学曝光技术制备悬空掩膜的工艺研究[D];南京大学;2011年
4 孟旭;硫化物纳米薄膜的制备、图案化及性能研究[D];兰州理工大学;2011年
5 王国强;锂渣高性能混凝土收缩与抗裂性能研究[D];新疆农业大学;2011年
6 李常杰;碳纳米管的MPCVD制备工艺和温度对其场发射性能的影响[D];电子科技大学;2011年
7 彭继甜;某存储器芯片晶圆可接受性测试的设计与实现[D];电子科技大学;2011年
8 曹郁;牙种植材料TiO_2/HA复合涂层的电化学制备及表征[D];电子科技大学;2011年
9 房立峰;微通道板离子壁垒膜的进一步研究[D];长春理工大学;2011年
10 吴彬;仿生粘性材料的制备与力学性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 于百炼;电子束曝光的技术发展动向[J];电工电能新技术;1987年02期
2 童忠镶,郑玉兰;梯形曝光过程的控制[J];电工电能新技术;1989年03期
3 王向东,杜秉初,葛璜;电子束曝光机自动套准系统的研究[J];电子学报;1995年08期
4 刘勇奎,刘桂芳;一般多边形窗口的线裁剪[J];计算机辅助设计与图形学学报;1993年04期
5 王钲旋,庞云阶;直线剖分平面算法的实现和应用[J];计算机辅助设计与图形学学报;1994年02期
6 武运兴;基于边界识别的多边形的布尔运算[J];计算机辅助设计与图形学学报;1994年04期
7 王晓东,傅清祥,范庆,王梅集;线段相交问题的平面扫描型改进算法[J];计算机辅助设计与图形学学报;1996年02期
8 王志强,肖立瑾,洪嘉振;多边形的简单性、方向及内外点的判别算法[J];计算机学报;1998年02期
9 朱彤;;纳米:物质世界的新大陆——访中国科学院纳米科技项目首席科学家白春礼院士[J];科学世界;2001年02期
10 张开华,李肇基,谢孟贤,张庆中;微电子技术的发展现状与展望[J];微电子学;1992年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 魏淑华;刘伟;李晓娜;张今朝;韩立;;电子束曝光数据格式的改进设计与实现[J];微细加工技术;2006年06期
2 王海洋;;国外图形发生器发展概况[J];电子工业专用设备;1979年04期
3 吴石增,陈军;电子束曝光机特殊图形辅助发生器[J];微电子学与计算机;1995年04期
4 刘伟,方光荣,顾文琪;USB2.0接口在图形发生器中的应用[J];微计算机应用;2004年03期
5 J.RArmstrong ,秦梅芳;远距离终端用图形发生器的设计[J];计算机研究与发展;1974年04期
6 鲁为平,栾心芙;在小型机上实现对PG文件的处理和转换[J];微电子学与计算机;1985年01期
7 郭颖,方光荣;基于TMS320C6713的电子束曝光机图形发生器的硬件设计[J];半导体技术;2005年03期
8 杨源远;;一种新型图形发生器[J];自动化学报;1983年04期
9 童忠镶,陈建平,翁思平,王平;可变矩形电子束曝光的模拟[J];电工电能新技术;1989年04期
10 刘伟;魏淑华;方光荣;顾文琪;;图形发生器的成像系统[J];微细加工技术;2006年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘恩迪;;再谈纳米级光触媒[A];博物馆藏品保管学术论文集[C];2004年
2 陶德华;付尚发;张建华;;轿车环保型发动机油纳米型复合添加剂研究[A];中国机械工程学会摩擦学分会润滑技术专业委员会第九届(温州)学术年会论文集[C];2004年
3 陶德华;付尚发;张建华;;轿车环保型发动机油纳米型复合添加剂研究[A];第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议会议论文集[C];2004年
4 谢冠群;罗孟飞;何迈;谢云龙;马静萌;;纳米Ce_(0.8)Pr_(0.2)O_y固溶体的制备与表征[A];2005年中国固体科学与新材料学术研讨会专辑[C];2005年
5 姚登运;张庆;;运用纳米技术整理的服装面料性能探讨[A];第五届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2005年
6 何玉琳;章海军;张东仙;黄峰;;基于原子力显微镜的光热微驱动器可行性研究[A];浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集[C];2005年
7 张晓宁;司琼;;纳米技术的杰作——纳米吸波材料[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
8 刘志杰;赵斌;张宗涛;胡黎明;;纳米级铜粉的制备及其抗氧化性能研究[A];第四届全国颗粒制备与处理学术会议论文集[C];1995年
9 王豪才;杨仕清;张怀武;邓啸;刘颖力;;纳米级YIG磁光粉的制备及磁性能研究[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
10 于德才;崔洪涛;洪元佳;吴琼;洪广言;;用纳米稀土氧化物制备细颗粒的Y_2O_3:Eu~(3+)红色荧光粉[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 刘曙甲 刘志伟;纳米级高效发光材料制成[N];科技日报;2002年
2 通讯员 项金良 记者 方张接;民企斥巨资进军纳米产业[N];杭州日报;2005年
3 志成;我国制成纳米级高效发光材料 [N];中国有色金属报;2002年
4 本报记者 韩涧明;纳米级加工有市场价值吗[N];中华建筑报;2004年
5 本报记者  华凌;用DNA建造纳米级机器人[N];科技日报;2007年
6 ;年产1000吨纳米级二氧化硅工艺[N];中国化工报;2003年
7 记者 陈丹;世界最小汽车长不过4纳米[N];科技日报;2005年
8 王聪;纳米级中药微胶囊诞生[N];中国中医药报;2001年
9 陈希荣;纳米级抗菌技术在液体奶包装中的应用[N];中国包装报;2009年
10 吴挺;精彩还在纳米后[N];计算机世界;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘伟;纳米级电子束曝光系统用图形发生器技术研究[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2006年
2 高迪;新型建筑材料—纳米级碳纤维混凝土性能研究[D];中南大学;2011年
3 张治国;单晶材料纳米级切削机理的研究[D];天津大学;2009年
4 尚玉峰;基于微纳结构集成光接收器件及关键工艺的研究[D];北京邮电大学;2012年
5 王鹤寿;纳米级固体润滑剂的研制和摩擦学性能研究[D];上海大学;1999年
6 王晓暄;GLUT4囊泡的量子点标记及其在活细胞内纳米级实时定位研究[D];华中科技大学;2010年
7 卫建军;纳米级Pd/Fe双金属对水中氯酚的催化脱氯研究[D];浙江大学;2004年
8 曲峰;活细胞内GLUT4囊泡纳米级三维实时定位技术的研究[D];华中科技大学;2011年
9 吕晓棠;纳米级氧化锆功能材料的制备及性能研究[D];吉林大学;2010年
10 钟俊;宏观尺度的纳米级定位控制技术研究[D];中国科学技术大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李梦超;隧道状态下纳米级振动检测技术的研究[D];天津大学;2004年
2 嵇伟平;纳米表面钛合金生物相容性研究[D];上海交通大学;2008年
3 赵翠霞;纳米级与微米级二氧化硅粉体对小鼠胚胎毒性的比较研究[D];中国医科大学;2006年
4 高永亮;等通道热挤压变形制备奥氏体不锈钢纳米级组织[D];昆明理工大学;2006年
5 李世珍;铀矿尘对BEAS-2B细胞的致癌作用及DMSO对其保护作用研究[D];南华大学;2008年
6 王振华;新型图形发生器的研制[D];中国科学院电工研究所;2001年
7 商涛;以DSP处理器为核心的图形发生器单元图形算法研究[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2003年
8 张鹏;以DSP处理器为核心的新型图形发生器实用化研究[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2003年
9 薛晓博;多种纳米级电流模逻辑的特性分析[D];西安电子科技大学;2010年
10 杨刚;纳米级多孔二氧化钛空心球的制备及其性能研究[D];北京化工大学;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026