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《国防科学技术大学》 2011年
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非球面相位恢复检测技术研究

丁凌艳  
【摘要】:非球面光学零件在光学系统中的广泛应用,对现代光学加工和检测技术提出了挑战。因为光学制造的精度和效率很大程度上依赖于检测技术,所以高精度在位检测对于非球面尤其是大型非球面镜制造有着非常重要的意义。利用相位恢复技术测量镜面面形,结构简单,抗振动,测量量程较大,可以获得较高精度的定量检测结果,是实现非球面在位检测最有希望的方案之一。本论文从相位恢复原理出发,围绕非球面检测的特点及要求,充分利用计算机处理技术,对非球面在位测量问题进行了理论和实验研究。论文的研究工作包括以下几个部分: 1、从相位恢复原理出发,研究了相位恢复面形检测中的一般性问题。在分析相位恢复检测中多解来源的基础上,提出先用两个离焦平面初步恢复相位以及人为构造不可分解支持域来保证检测结果的唯一性。基于二维抽样定理和空间带宽积不变性原理确定衍射光场的计算量,并分析相位恢复检测范围的限制因素。根据光线传播的几何模型,提出波前曲率对离焦光强分布的主导作用,总结光强图位置的选择原则。 2、为扩展可测镜面f数范围提出了欠采样相位恢复算法。算法结合亚像素光场思想与非线性交替优化策略,利用远焦点光强图重构高分辨率的近焦点光强图,交替优化近焦点光强图和镜面光场相位,最终使之收敛到正确解。实验研究了欠采样算法的可行性及误差。 3、针对初加工阶段波前像差较大的实际情况,设计了大动态范围测量算法,并用仿真和实验验证了算法的有效性。大动态范围算法融合了参数算法和数据点算法,先用参数算法循环恢复面形的低频轮廓,再将此轮廓作为已知相位,用数据点GS算法循环恢复高频面形信息,从而实现由粗到细的面形恢复。 4、研究了相位恢复非球面直接检测方法。在继承非球面直接检测基本原理的基础上,明确了被测波前像差与面形误差的关系。为了处理大型数据,采用光场拼接计算方法实现非球面衍射光场计算。利用多幅同一位置不同曝光时间的光强图融合消除非球面光强图饱和区域的影响,并分析了光强误差。通过对焦散区的研究,明确划分了焦散区内光强图的有效区域。基于上述研究形成了较为完善的非球面检测算法。此外还提出将点光源和检验点分别置于被测镜面的近轴共轭点上,通过寻求适当的近轴共轭点位置减少测量过程中的系统像差。以双曲面和抛物面为例,用相位恢复在位检测各镜面的面形误差,并分别与干涉仪子孔径拼接和自准直测量结果对比,对相位恢复非球面直接检测的有效性进行了实验验证。 5、利用无像差点光路构建了相位恢复离轴非球面测量系统。通过建立等效衍射模型,将非轴对称衍射光场的相位恢复问题转化成一般球面波相位恢复问题。探索了离轴镜相位恢复检测的光路调整方法。将测量光路调整归结为点光源相对被测镜三个坐标轴方向的平动,并利用线性误差模型分离调整误差。用离轴椭球镜进行测量实验,与干涉仪补偿器测量结果对比表明所提方法能有效实现离轴非球面的面形检测。
【学位授予单位】:国防科学技术大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2011
【分类号】:TG80

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【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 田超;非球面非零位环形子孔径拼接干涉检测技术与系统研究[D];浙江大学;2013年
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2 冯良;基于相位恢复混合算法的非球面主镜面形检测技术研究[D];中国科学院研究生院(光电技术研究所);2014年
【参考文献】
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【共引文献】
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1 余波;惯性约束聚变的中子半影成像诊断系统和非线性重建方法研究[D];中国工程物理研究院;2010年
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【同被引文献】
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
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【相似文献】
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1 本报记者 茹希佳;崔向群:脚踏大地遥望星空[N];中国妇女报;2010年
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1 高松涛;超高精度非球面面形检测技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2014年
2 刘春雨;非球面补偿检测的准确度研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
3 冯婕;基于CGH高精度非球面检测技术研究[D];中国科学院研究生院(光电技术研究所);2014年
4 刘海涛;能动磨盘加工大口径非球面关键技术研究[D];中国科学院研究生院(光电技术研究所);2014年
5 刘东;通用数字化高精度非球面干涉检测技术与系统研究[D];浙江大学;2010年
6 田超;非球面非零位环形子孔径拼接干涉检测技术与系统研究[D];浙江大学;2013年
7 周林;光学镜面离子束修形理论与工艺研究[D];国防科学技术大学;2008年
8 高瑀含;高斯光束整形技术研究[D];长春理工大学;2012年
9 李国;基于刀具摆动进给的非球曲面超精密车削方法及系统研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 刘振宇;大口径非球面反射镜组合加工技术驻留时间算法研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2013年
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2 唐赫岳;单晶锗数控非球面加工技术研究[D];长春理工大学;2013年
3 骆永洁;非球面部分补偿干涉检测方法的误差分析及系统优化研究[D];浙江大学;2011年
4 徐海华;非球面硅透镜加工工艺及误差补偿技术研究[D];昆明理工大学;2013年
5 李春慧;SiC陶瓷非球面器件磨削轨迹的研究[D];哈尔滨工业大学;2013年
6 卢明明;非球面光学零件抛光关键技术的研究[D];长春工业大学;2011年
7 冯良;基于相位恢复混合算法的非球面主镜面形检测技术研究[D];中国科学院研究生院(光电技术研究所);2014年
8 王磊;非球面研抛机床关键部件结构设计及仿真分析[D];长春工业大学;2012年
9 熊衍建;机载大口径长焦距折衍混合非球面红外光学系统设计[D];湘潭大学;2012年
10 王波;特殊型卡塞格林系统的加工与检测技术研究[D];长春理工大学;2013年
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