收藏本站
《国防科学技术大学》 2001年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究

苏绍璟  
【摘要】: 在微电子、超精加工等现代工业技术领域,对精密位移测量的要求越来越高。 有些应用要求测量的分辨率达到纳米量级,而且测量范围越来越大。本文主要研究 利用低线数计量光栅实现具有大量程、纳米级分辨率的位移测量理论及其关键技术。 本文的主要研究内容包括: 1.研究大量程、纳米级分辨率的光栅测量理论及方法。在对现有方法分析的 基础上,重点对非对称双级闪耀光栅进行系统的理论分析和实验研究。分析了该方 法实现高倍数光学细分的原理,建立了光路系统的数学模型,对莫尔条纹的成因作 了解释,并讨论了入射角对测量的影响以及光栅付中闪耀光栅的作用。 2.指出了非对称双级闪耀光栅实现莫尔条纹倍增理论的实质,并简化了实现 高倍数光学细分的手段。在此基础上,提出了全新的单计量光栅位移测量方案。该 方案不仅可实现高倍数光学细分,而且克服了闪耀光栅的许多限制。文中利用波动 光学、多普勒效应和傅里叶光学对测量原理进行了分析,建立了量程400mm、分辨 率为1nm的位移测量系统,并介绍了有关在摩擦扭轮传动平台上进行实验的情况, 3.利用标量和矢量衍射理论研究光栅衍射效率,包括光栅的轮廓形状、光栅 系统的结构布局对衍射效率的影响。目的是使获取的光学莫尔条纹信噪比最高。提 出了一种新型的相位光栅——等腰闪耀光栅,并对其衍射特性作了分析和仿真。 4.提出了基于DSP的宽动态范围莫尔条纹精密计数细分方法。详细描述了该 方法的硬件平台、处理时序及其具体实现手段。该方法利用高速数据采集及数字信 号处理技术,通过软件双阈值二倍频计数、分片段细分以及计数与细分的合理匹配, 能够对0——1MHz的条纹信号进行可逆计数和高倍数细分。实现了零频响特性,对A、 B相信号的正交性不敏感,抗干扰性强。 5.将自适应信号处理理论引入到莫尔条纹光电转换信号处理之中。建立了A、 B相信号质量增强的自适应模型,使用该模型可以快速精密地提高莫尔条纹光电转 换信号质量。提出并实现了一些高效率的实时处理算法,这些算法能有效的提高A、 B相信号质量,达到消除零点漂移,滤除信号中高次谐波的效果,并且可实现信号 幅度的自增益调整,改善通道间的正交性。提出了利用互相关系数阈值法判别和剔 除A、B相信号中典型的故障信号。 6.系统分析了影响单计量光栅位移测量系统精度的各种因素,定量计算了各 项误差的极限值,并分别提出了误差的修正补偿方法。给出了各种情况下单光栅位 移测量系统的精度指标。得出单计量光栅系统在安装时对光栅间隙大小和锥度不敏 感的结论,这大大方便了系统的安装、使用。在修正光栅累积误差以及对温度进行 补偿之后,系统完全可以实现0.1μm/100nm的位移测量精度。
【学位授予单位】:国防科学技术大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2001
【分类号】:TH744.3

手机知网App
【引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 朱德生;李言围;杨汶娟;曹京明;杨向超;;一套新型基于物理放大原理的微小长度测量工具的设计[J];大学物理实验;2012年02期
2 段小艳;任冬梅;;激光干涉法微位移测量技术综述[J];计测技术;2012年06期
3 杨东兴;颜树华;杜列波;王国超;林存宝;邹鹏飞;;一种小型化纳米级单光栅位移测量系统的研制[J];红外与激光工程;2013年04期
4 赵曦;贾曦;黄荐渠;;现代长度测量方法综述[J];自动化仪表;2007年11期
5 张景和;张顺国;董跃华;;乌氏干涉测量的信息读取[J];中国光学;2011年02期
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 易学锋;单反数码相机精密位移测量研究[D];武汉大学;2009年
2 钟俊;宏观尺度的纳米级定位控制技术研究[D];中国科学技术大学;2011年
3 夏豪杰;高精度二维平面光栅测量系统及关键技术研究[D];合肥工业大学;2006年
4 楚兴春;纳米光栅干涉位移测量关键技术的研究[D];国防科学技术大学;2005年
5 李向荣;基于莫尔条纹法的扭转测量技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
6 李鸣鸣;大行程纳米定位系统若干关键技术研究[D];上海大学;2007年
7 徐蒙;新型智能灌浆、压水检测系统的开发与研究[D];中南大学;2010年
8 尚平;高精度衍射光栅干涉位移传感器及关键技术研究[D];合肥工业大学;2012年
9 赵双双;微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器研究[D];浙江大学;2013年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 廉孟冬;基于激光角度传感器和平面光栅的二维微位移直接解耦测量技术[D];浙江大学;2011年
2 关蕊;基于神经网络的莫尔条纹信号细分方法及应用[D];沈阳工业大学;2010年
3 桂延杰;球面衍射光栅传感器信号处理系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 董跃华;激光干涉检测装置的实验研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 方菲;宏微双驱动高精度二维运动平台的实现[D];浙江大学;2012年
6 孟凡波;基于FPGA的光栅数显装置的研究与设计[D];沈阳工业大学;2012年
7 陈智超;基于双光栅尺的高速高精度跨尺度位移测量方法的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
8 张小凡;基于DSP的数字球径仪系统研制[D];南京理工大学;2006年
9 诸葛晶昌;光栅传感器数据采集存储与离线分析系统的设计[D];天津科技大学;2006年
10 朱维娜;基于DSP2812的光栅细分技术研究[D];西南交通大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吕海宝,曹聚亮,苏绍景,罗武胜,杨华勇;非对称双光栅位移测量研究[J];兵工学报;2000年04期
2 杜震霖;;莫尔条纹四倍频交变参考电压电阻链幅值细分技术[J];长春光学精密机械学院学报;1985年04期
3 谢素琴;;机床爬行问题的探讨[J];长春光学精密机械学院学报;1993年02期
4 徐平,张晓春,郭履容,郭永康;N阶闪耀光栅衍射理论分析[J];大学物理;1996年04期
5 邵根富;张旭;窦建铃;张新明;;计量光栅莫尔信号微控制器细分技术的研究[J];电子测量技术;1997年03期
6 王祖文;;单片机高倍数光栅细分[J];光学工程;1989年05期
7 于瀛洁,李鹏生,强锡富,熊岗;外差干涉仪中光路调整的分析[J];光电工程;2000年01期
8 曾绍群,鲁强,骆清铭,龚辉,余江胜,陈汝钧;基于小波变换的激光干涉图象处理[J];光电工程;2000年02期
9 王炜,徐俊中,李永平,李涛,傅绍军;用于分频的闪耀光栅设计及衍射行为研究[J];光电工程;2000年02期
10 张奇志,周传宏,傅克祥,王植恒;阶梯形浮雕和折射率位相光栅的衍射性质比较[J];光电工程;2000年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 唐勇波;丰娟;;嵌入式系统在车载远程监控系统中的应用研究[J];安防科技;2009年03期
2 闫如胜;马修水;李桂华;应仲阳;;光栅尺纳米测量技术研究及其发展[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2008年01期
3 季长路,张家钰;激光基准信标仪中CPU及其控制原理的分析与设计[J];安徽机电学院学报;2000年02期
4 葛建中;黄松清;葛丛;;关于三坐标测量策略的探讨[J];安徽工程科技学院学报(自然科学版);2010年04期
5 王伟;;物理光学课程教学改革与实践[J];安徽工业大学学报(社会科学版);2011年04期
6 徐满平,周杰;MATLAB在二元光学元件设计中的应用[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2005年01期
7 王晓辉;;Ⅱ级工作用廉金属热电偶热电动势测量结果不确定度的评定分析[J];安装;2012年05期
8 范希智,李刚正;有机电致发光薄膜的研制[J];鞍山师范学院学报;1999年03期
9 赵岩,刘晓丽,孙诒丹;大学物理实验引入全息干涉技术定性观测温度场的变化[J];鞍山师范学院学报;2000年03期
10 蔡文海;MATLAB软件包在数字滤波器设计中的应用[J];安徽水利水电职业技术学院学报;2003年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 邓履璧;;量子物理光学[A];第十五届全国量子光学学术报告会报告摘要集[C];2012年
2 曹永刚;赵立荣;;光电编码器硬件细分方法[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年
3 李莲;翟丽霞;;动态轨道衡称重系统误差分析及数据处理的研究[A];中国仪器仪表学会第十三届青年学术会议论文集[C];2011年
4 张昊;刘波;贾承来;;一种光纤折射率的新型测量方法[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
5 梁旭;徐敏;王军华;李锦江;李旭峰;;折-衍光学镜片的单点金刚石车削与检测[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
6 马占龙;李显凌;刘健;王君林;;超光滑光学表面加工技术现状及发展趋势[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
7 李存龙;陈伟民;刘显明;雷小华;赖伟;曾海朋;王福权;;测量角度间隔对LED灯具光强分布测量的影响[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
8 倪晋平;卢红伟;董涛;;组合光幕阵列密集度测量方法[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
9 梁雪驰;徐丹旸;李辛;;机载民用激光器性能综合测试设备研制[A];第三届民用飞机先进制造技术及装备论坛论文汇编[C];2011年
10 王召煜;李国禄;王海斗;刘金海;徐滨士;康嘉杰;;云纹干涉法测量残余应力的研究进展[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王雪;双芯长周期光纤光栅制备方法及特性研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 丁和艳;铝合金车轮CNC机械抛光工艺优化的基础研究[D];华中科技大学;2010年
3 郑荣茂;基于NGGPS制造特征信息统一机理与实现方法[D];华南理工大学;2010年
4 饶丰;基于个性化眼模型的人工晶体设计及其特性研究[D];南开大学;2010年
5 张梅;基于个性化眼光学结构的人眼色差的研究[D];南开大学;2010年
6 叶修松;机载激光水深探测技术基础及数据处理方法研究[D];解放军信息工程大学;2010年
7 李斌;有机化蒙脱土改性沥青的制备、性能及其改性机理研究[D];武汉理工大学;2010年
8 雷波;直线边缘光学精密测量系统研究与开发[D];武汉理工大学;2010年
9 牛爽;全景环带凝视成像光学系统的研究与应用[D];浙江大学;2010年
10 易学锋;单反数码相机精密位移测量研究[D];武汉大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 何帅;动态渐变灰阶数字掩模技术制作微透镜的研究[D];南昌航空大学;2010年
2 饶玉芳;无掩模光刻系统的研究与设计[D];南昌航空大学;2010年
3 黄长辉;金属材料断口三维形貌检测与表征分析[D];南昌航空大学;2010年
4 王晶;数字摄影技术在矿山提升设备变形监测中的应用研究[D];山东科技大学;2010年
5 张恩政;基于双频干涉的直线度及其位置测量方法研究[D];浙江理工大学;2010年
6 张萍;激光合成波长干涉技术的信号处理方法研究[D];浙江理工大学;2010年
7 郭凤华;基于卡尔曼滤波的高精度磷酸根离子分析仪的设计[D];郑州大学;2010年
8 郭东歌;基于LPFGs氢敏探测器的研究[D];郑州大学;2010年
9 王德锋;适度光反馈机制下希尔伯特变换法测位移[D];郑州大学;2010年
10 陈军;测量不确定度在基础实验中的应用研究[D];山东农业大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 廖先炳;激光二极管电源及其对器件性能的影响[J];半导体光电;1994年03期
2 梁万国,罗森林,周思永,郭正强;光电探测器的设计[J];半导体光电;1998年01期
3 袁明权;硅基微机械加工技术[J];半导体技术;2001年08期
4 吕惠民,田敬民;压力传感器的研究现状与发展趋势[J];半导体技术;1998年02期
5 王丰;硅压力传感器研究现状[J];半导体情报;1999年06期
6 嵇国金,马奎,王磊;微纳定位/进给技术研究现状[J];微纳电子技术;2003年05期
7 马奎,戴晖,董卫军;二维整体式微米工作台解耦问题的研究[J];微纳电子技术;2005年02期
8 张晓群,吕惠民;压力传感器的发展、现状与未来[J];半导体杂志;2000年01期
9 孙贤颐,安维蓉,王志晓,任红忠;提高光栅测距精度的四倍频判向电路[J];北方交通大学学报;1996年06期
10 冯毅,梅海青,王霞;Windows 2000下ISA卡驱动程序的开发[J];兵工自动化;2003年03期
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 山东 鲍连科;[N];电子报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 赵博;衍射光栅的相位拼接[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
2 贾宏光;基于变比模型的压电驱动微位移工作台控制方法研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
3 熊木地;大行程亚微米精度激光直写设备定位技术的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
4 惠梅;表面微观形貌测量中相移干涉术的算法与实验研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
5 陈刚;混合集成微型光纤光谱仪的研究[D];重庆大学;2002年
6 时轮;一种亚纳米级栅距变化量的变栅距光栅分度控制方法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
7 谭为民;差线栅位移传感器原理与参数设计准则及其实验研究[D];重庆大学;2004年
8 刘清;人工神经网络算法的改进及其在水利测量技术中的应用[D];河海大学;2005年
9 马修水;三坐标测量机动态误差源分析、建模与修正技术研究[D];合肥工业大学;2005年
10 黄桂平;数字近景工业摄影测量关键技术研究与应用[D];天津大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 廉孟冬;基于激光角度传感器和平面光栅的二维微位移直接解耦测量技术[D];浙江大学;2011年
2 郭生发;基于微小信号检测的智能光电系统的研究与开发[D];武汉理工大学;2002年
3 唐雄贵;基于严格模式理论的光栅衍射特性的研究[D];四川大学;2002年
4 王风丽;莫尔条纹高插补系数快速细分方法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
5 宋华军;DSP在高精度数据采集仪中的应用[D];长春理工大学;2002年
6 冉铮惠;数字图象处理技术在平面等倾干涉测量中的应用[D];电子科技大学;2003年
7 杨孟华;光栅数显装置的集成化设计及数字锁相环的研究[D];沈阳工业大学;2002年
8 方家美;图像处理在干涉条纹自适应控制中的应用[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2003年
9 李德春;二维光学内反射微小角度传感器的研究[D];天津大学;2004年
10 陈华平;散斑干涉技术及其图像处理系统的研究[D];广东工业大学;2004年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 闫如胜;马修水;李桂华;应仲阳;;光栅尺纳米测量技术研究及其发展[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2008年01期
2 孙效骥;钟伟红;方波静;支雄飞;余麟;;基于二次莫尔条纹纳米光栅传感器细分电路设计[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2011年02期
3 朱德生;李言围;杨汶娟;曹京明;杨向超;;一套新型基于物理放大原理的微小长度测量工具的设计[J];大学物理实验;2012年02期
4 韩旭东;徐新行;王兵;王恒坤;刘长顺;;快速反射镜系统用光栅测微仪[J];光电工程;2011年10期
5 乔培玉;何昕;魏仲慧;;加权整体最小二乘法在光学自准直法测量挠曲角中的应用[J];光学精密工程;2012年09期
6 成若海;王海龙;龚谦;严进一;汪洋;柳庆博;曹春芳;岳丽;;基于DMD的外腔量子点激光器性能研究[J];光电子.激光;2013年06期
7 张杰;刘炜进;萧泽新;黎泉;;凹透镜通光口径在线精测仪[J];红外与激光工程;2008年S1期
8 段小艳;任冬梅;;激光干涉法微位移测量技术综述[J];计测技术;2012年06期
9 段小艳;任冬梅;朱振宇;李华丰;兰一兵;;基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法研究[J];计测技术;2013年01期
10 杨东兴;颜树华;杜列波;王国超;林存宝;邹鹏飞;;一种小型化纳米级单光栅位移测量系统的研制[J];红外与激光工程;2013年04期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 唐杰;李波;张尧禹;李岷;;基于测量船参考基准安装基面检验方法研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
2 杨正刚;韩道林;尹学林;黄易;;防渗帷幕灌浆质量检测方法与技术探讨[A];贵州省岩石力学与工程学会2011年学术年会论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 易学锋;单反数码相机精密位移测量研究[D];武汉大学;2009年
2 钟俊;宏观尺度的纳米级定位控制技术研究[D];中国科学技术大学;2011年
3 叶果;面向生物工程的精密定位机构及其动力学特性研究[D];中国矿业大学;2011年
4 周擎坤;柔顺直线导向与缓冲机构设计问题研究[D];国防科学技术大学;2011年
5 曲伟;基于调变光程方法的泰伯微位移检测系统研究[D];黑龙江大学;2011年
6 节德刚;宏/微驱动高速高精度定位系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
7 朴伟英;球面光栅干涉式表面测量仪若干关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
8 张山;影响直角坐标激光直写曝光质量的若干关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
9 程伶俐;纳米工作台机械结构优化设计[D];合肥工业大学;2011年
10 尚平;高精度衍射光栅干涉位移传感器及关键技术研究[D];合肥工业大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张礼佑;石墨电极实时测量系统的设计与实现[D];湖南工业大学;2010年
2 廉孟冬;基于激光角度传感器和平面光栅的二维微位移直接解耦测量技术[D];浙江大学;2011年
3 关蕊;基于神经网络的莫尔条纹信号细分方法及应用[D];沈阳工业大学;2010年
4 吴盈;基于阿贝补偿原理的光栅电感组合轮廓测量系统研究[D];湖北工业大学;2011年
5 胡华;高精度二维工作台关键技术研究[D];吉林大学;2011年
6 邹思竟;光纤通信技术在灌浆自动记录仪信号传输单元中的应用研究[D];中南大学;2011年
7 黄明;基于线性霍尔传感器的智能阀位变送器的设计[D];杭州电子科技大学;2009年
8 桂延杰;球面衍射光栅传感器信号处理系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
9 刘丽丽;音圈电机位置伺服控制系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 董跃华;激光干涉检测装置的实验研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张彤;王作斌;;微型计算机在光电轴角编码器中的应用[J];长春光学精密机械学院学报;1985年04期
2 古乐天;;采用微处理器的光栅测长仪[J];电子测量技术;1982年05期
3 谢广平;殷纯永;王东生;;一种用于外差测量的信号处理系统[J];电子测量技术;1994年04期
4 王祖文;;单片机高倍数光栅细分[J];光学工程;1989年05期
5 傅克祥,文军,王磊,周传宏,王植恒;亚波长位相光栅矢量衍射理论的数值计算[J];光电工程;1997年S1期
6 罗先刚,陈旭南,姚汉民,冯伯儒;二元光栅照明研究[J];光电工程;1998年06期
7 邾继贵,吕海宝,漆新民;位移精密测量技术的研究[J];国防科技大学学报;1994年02期
8 张彤;王作斌;;微型计算机在莫尔条纹信号细分中的应用[J];光学机械;1985年02期
9 刘兵,史广安;干涉光杠杆测量原理及应用[J];光学技术;1993年06期
10 蔡汉添;小波变换域中图像噪声平滑技术[J];光学技术;1998年06期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吕海宝,曹聚亮,苏绍景,罗武胜,杨华勇;非对称双光栅位移测量研究[J];兵工学报;2000年04期
2 赵琨;;光栅测量技术在分步重复精缩机上的应用[J];电子工业专用设备;1978年01期
3 吕海宝,杜列波,楚兴春;基于虚拟仪器技术的光栅位移测量系统[J];仪表技术与传感器;2004年12期
4 苏绍景,吕海宝,李圣怡;基于DSP的宽动态范围莫尔条纹计数与精密细分技术[J];光学精密工程;2001年02期
5 王秀兰,王磊;减小莫尔条纹细分误差的新方法[J];自动化与仪表;1994年05期
6 严瑛白,余官正;泰伯效应与光束准直性测量[J];仪器仪表学报;1982年02期
7 车仁生;;一种简单而分辨率高的莫尔条纹细分电路[J];宇航计测技术;1982年04期
8 张善锺;;空间两光栅的莫尔条纹方程[J];计量技术;1983年05期
9 廖兆曙;杨坤涛;邓美慈;;用阴影莫尔条纹偏折术测量反射表面角位移[J];应用光学;1991年04期
10 纪刚,叶军;光栅传感器的设计要点分析[J];仪表技术与传感器;1995年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 孙翔;周惠君;王思慧;;电寻址液晶光阀系统上的莫尔条纹的观察与测量[A];第六届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(下册)[C];2010年
2 刘家恕;李强;朱箭;;数字图像处理技术在莫尔条纹测量中的应用[A];第六届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(上册)[C];2010年
3 路绍军;郭荣礼;韩军;孙磊;李园园;;莫尔条纹测量微小位移技术研究[A];2010年西部光子学学术会议摘要集[C];2010年
4 何鹏;齐勇;;撞击条件下金属板位移—时间历程的一种瞬态测试技术研究[A];第六届全国爆炸力学实验技术学术会议论文集[C];2010年
5 侯振德;秦玉文;;分形相关法位移测量的研究[A];“力学2000”学术大会论文集[C];2000年
6 黄文忠;谷渝秋;李玉同;尤永禄;淳于书泰;;飞秒激光莫尔条纹技术[A];中国工程物理研究院科技年报(1999)[C];1999年
7 黄文忠;谷渝秋;尤永禄;淳于书泰;何颍玲;雷安乐;;低驱动功率X射线激光莫尔条纹技术[A];中国工程物理研究院科技年报(2001)[C];2001年
8 侯杰;钱稼茹;赵作周;潘鹏;;基于视频图像和神经网络技术的位移测量研究[A];第六届全国土木工程研究生学术论坛论文集[C];2008年
9 刘杨;吕恒毅;陈兴林;宋申民;;光电编码器莫尔条纹正交偏差的自适应补偿方法[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集(下册)[C];2010年
10 李淑清;吴彬;陈宁;;光栅振动传感器的信号处理[A];2004全国测控、计量与仪器仪表学术年会论文集(下册)[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 李春玲;桥梁支座位移测量向智能化迈进[N];人民铁道;2006年
2 通讯员 裘桂英 胡胜友 记者 刘纯友;纳米光镊技术跻身国际前沿[N];安徽日报;2004年
3 彭会安 刘丽 张晓茵;自主创新赢天下[N];中国高新技术产业导报;2006年
4 许祯;三项建材科技成果获2001年中国科技进步奖[N];中华建筑报;2002年
5 魏继东;扎根高原 勇立潮头[N];国家电网报;2007年
6 郝清霞;网点拷贝扫描中的分辩率及去网问题[N];中国包装报;2003年
7 徐展望;防伪印刷在商品包装领域中的应用[N];中国包装报;2005年
8 湖南 李杰;软光电编码鉴相器的设计[N];电子报;2002年
9 姜澎 通讯员 熊丙奇;纳米步进马达研制成功[N];文汇报;2003年
10 陈大明 章荣贵 张小愿 陈志军;卷烟包装防伪技术很多 简便实用的很少[N];中国包装报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 苏绍璟;大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
2 易学锋;单反数码相机精密位移测量研究[D];武汉大学;2009年
3 陈锡侯;新型时栅位移传感器研究[D];重庆大学;2007年
4 余建平;面向精密定位的平面电容式多自由度位移测量传感器关键技术研究[D];浙江大学;2013年
5 节德刚;宏/微驱动高速高精度定位系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 孔令胜;莫尔条纹及其最小化的理论和应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
7 冯平;智能位移传感器系统的研究[D];浙江大学;2001年
8 侯昌伦;基于Talbot效应的长焦距测量系统的研究[D];浙江大学;2005年
9 李琳;基于光栅衍射光干涉的位移测量技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
10 曲伟;基于调变光程方法的泰伯微位移检测系统研究[D];黑龙江大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 朱海军;双同心圆光栅二维平面位移测量术[D];四川大学;2007年
2 隋磊;基于Talbot效应的莫尔条纹自动计数研究[D];浙江大学;2007年
3 何勇华;激光刻线机的光栅位移检测系统[D];辽宁工程技术大学;2005年
4 吴彬;基于PIC单片机的光栅检波器信号处理[D];天津科技大学;2005年
5 兰子穆;光学编码器电气特性在线检测技术研究[D];天津大学;2007年
6 杨斌;网目调丝印龟纹现象理论分析与研究[D];西安理工大学;2001年
7 程仕东;基于电子虚拟样板的非球面检测技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
8 邱丽;光栅莫尔条纹干涉计量及其应用研究[D];重庆大学;2009年
9 陈颖;基于Talbot效应的激光准直系统调校方法的研究[D];华中科技大学;2005年
10 袁立全;小口径光栅测径仪[D];长春理工大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026