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用发卡共振器产生微等离子体

田伟  
【摘要】:本论文工作目的是制作一个新型的微等离子体发生装置并研究其放电特性。典型的微等离子体尺度在1毫米以下,远远小于传统的等离子体,并且可以在大气压下运行,因此有非常多新的性质。微等离子体又有许多潜在的应用,比如生物制药、微加工、微型光源等。因为这两点,微等离子体近些年受到了广泛的关注和研究。本论文制作了一种新的微等离子体产生工具,发卡共振器,可以在大气压下产生尺度在1毫米左右的微等离子体。发卡共振器在氩气中所产生的微等离子体呈现出特殊的空间周期结构,并随着功率的变化而变化。利用一个具有二维空间分辨的光学放大系统对微等离子体进行观察,并记录下不同谱线强度的空间分布。通过已有的大气压下氩的碰撞-辐射模型,可以得出高能电子密度和低能电子密度的空间相对分布。结果发现,高能电子密度分布很不均匀,也表现出一定的空间周期结构。相反的,低能电子密度分布比较均匀。这个结果,可以说是第一次发现。


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