收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

细观光测技术及在微电子组件实验研究中应用

史训清  
【摘要】:本文抓住复合微电子组件界面断裂力学研究这一国际最新前沿课题,概述了断裂力学与微电子封装组件破坏特性相关的理论和实验研究,指出微电子封装组件破坏特性全面实验研究的迫切性和必要性,并提出了对实验测试技术的新要求。在此基础上,本文对细观测试技术的发展现状进行了综述,分析和论证了其在微电子封装组件破坏特性研究中的优势和不足,进而提出和发展了一些新的细观测试技术,并利用这些细观测试技术对微电子封装组件的破坏特性进行了全面的实验研究。 本文首次综合应用白光散斑法、数字散斑法、扫描电镜、形貌分析仪、图象处理仪等现代实验测试手段对复合微电子组件中薄膜的厚度,应力-应变曲线和基本力学性能进行了实验研究,成功地利用复合材料分离法得到了超薄膜的应力-应变曲线和基本力学性能。实验结果表明:本文所采用的实验测试手段和复合材料分离法对于微电子组件中常用的薄膜和超薄膜的应力-应变曲线和基本力学性能测量是有效的,且具有普遍意义。 本文以云纹干涉法为基础,把云纹干涉法和显微、倍增、载波、反转和非线性记录等技术相结合,发展并实现了一种U、V位移场同时测量的超高灵敏度的云纹条纹显微倍增方法,使得现有的光路放大倍数提高十倍,云纹干涉法的测量灵敏度提高一个量级以上,并把这一方法与高温测试技术相结合,提出了一种高温云纹显微倍增光路。以此首次对复合微电子组件热载下裂纹尖端奇异性进行了实验研究。实验发现:热载下组件裂纹尖端位移场具有指数(r~s)奇异性,奇异指数与绕裂尖的材料特性有关。 本文把虚栅的概念引入到传统的投影云纹法中,把它和全息法巧妙结合,提出并实现了一种宽量程测量复合微电子组件变形直至破坏的新技术一全息类投影云纹法。并以此对热载下微电子封装组件的脱粘、分层、剥


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 张永德;Ψ=ě~(ikr)/r是自由粒子状态吗?──兼谈运算中的奇异性[J];大学物理;1989年09期
2 赵峥;;奇异性对Hawking温度的影响[J];北京师范大学学报(自然科学版);1989年03期
3 王晓东,邹振祝,王铎;界面裂纹尖端的动态奇异特性[J];固体力学学报;1992年03期
4 王海涛;佘锦炎;;双压电材料界面力电耦合场奇异性研究[J];工程力学;2006年01期
5 谢小花;陈宝兴;陈宇;;有交双圈图邻接矩阵的奇异性[J];漳州师范学院学报(自然科学版);2007年02期
6 李会平;;关于某些自仿测度的奇异性[J];安阳工学院学报;2009年06期
7 陶福臻;;一个精确的引力Soliton解[J];中山大学学报(自然科学版);1987年01期
8 王爱仁;于士丰;;静电场中ē=0点的电力线[J];辽宁师范大学学报(自然科学版);1990年03期
9 臧跃龙,嵇醒;关于边界元法中奇异积分的处理[J];固体力学学报;1994年02期
10 刘生春,王延凤,张玉强;分布电流源区电场求解的奇异性研究进展[J];延安大学学报(自然科学版);2001年01期
11 闫立平;橡胶楔体与刚性缺口的大变形分析[J];北方交通大学学报;2003年01期
12 赵延文,聂在平,徐建华,武胜波;基于RWG基函数的伽略金法中奇异性积分的精确快速计算[J];电子学报;2005年06期
13 姚庆六;;一类二阶奇异拟线性方程的解和正解[J];华东理工大学学报(自然科学版);2007年02期
14 冯清玲;曲国庆;苏晓庆;;基于小波的回归分析[J];山东理工大学学报(自然科学版);2007年03期
15 刘军;王兆艳;;基于小波变换的信号突变检测的方法[J];数学理论与应用;2007年04期
16 杨建平;余晓光;;基于二进小波变换的奇异信号消噪[J];井冈山学院学报(自然科学版);2007年03期
17 王忠军;王玉海;王豪;;一种鲁棒的矢量地图数字水印算法[J];测绘科学;2008年04期
18 程广利;张明敏;;双基地声纳目标低频散射特性研究[J];海军工程大学学报;2008年06期
19 张陇生;;R~3中一类自仿测度的Fourier变换的下界估计[J];西华师范大学学报(自然科学版);2010年01期
20 彭天兰;;r—置换因子循环矩阵的性质[J];数学理论与应用;2010年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王晓谋;徐守国;;斜坡上的地基承载力计算[A];中国土木工程学会第七届土力学及基础工程学术会议论文集[C];1994年
2 范华林;陈浩然;;点阵夹层承力筒结构承载能力预测分析[A];2009年度全国复合材料力学研讨会论文集[C];2009年
3 丁访强;杨根兰;贺太红;吕庆;;四川省南江县石坝子危岩带破坏模式及成因分析[A];贵州省岩石力学与工程学会2010年学术年会论文集[C];2010年
4 易志坚;黄润秋;巨能攀;何顺勋;白永健;;西藏某矿山露采高边坡变形破坏模式及稳定性评价[A];第三届全国岩土与工程学术大会论文集[C];2009年
5 余清仔;;德兴铜矿露天采场滑坡调查及C、φ值反算[A];第二届全国青年岩石力学与工程学术研讨会论文集[C];1993年
6 陈爱萍;陈常青;卢天健;;几种新型点阵材料等效参数和破坏模式的理论研究[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
7 陶学康;王晓华;;通过自动生成破坏模式研究平面刚架的可靠度[A];工程结构可靠性——中国土木工程学会桥梁及结构工程学会第七届学术会议论文集[C];1987年
8 刘瑞懿;涂健;郭晓刚;;三峡库区重庆市忠县高切坡防护工程设计[A];第一届中国水利水电岩土力学与工程学术讨论会论文集(上册)[C];2006年
9 郭克诚;赵克烈;汪顺林;韩启向;张伏中;;预应力锚索在顺层岩质高边坡中的应用[A];第四届中国岩石锚固与注浆学术会议论文集[C];2007年
10 史庆轩;郝家欢;张兴虎;;压型钢板-混凝土组合楼板剪切粘结滑移性能的试验研究[A];中国钢协钢-混凝土组合结构分会第十一次年会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 史训清;细观光测技术及在微电子组件实验研究中应用[D];清华大学;1995年
2 张平;裂隙介质静动应力条件下的破坏模式与局部化渐进破损模型研究[D];西安理工大学;2004年
3 韩先国;并联机床相关理论及设计方法研究[D];北京航空航天大学;2002年
4 张新刚;保护用电流互感器铁心饱和相关问题的研究[D];华北电力大学(北京);2006年
5 陈丽娟;某些样条空间奇异性和插值适定性问题研究[D];大连理工大学;2007年
6 刘玉斌;一种新型6-PRRS并联机器人系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
7 王建山;多场耦合材料的界面力学和局部效应研究[D];天津大学;2007年
8 吴培栋;Stewart平台的运动学与逆动力学的基础研究[D];华中科技大学;2008年
9 许红胜;钢结构交错桁架体系的抗震延性性能分析[D];湖南大学;2003年
10 徐志鹏;造纸过程中纸病检测关键技术研究[D];江南大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 夏静;具有奇异性的Duffing方程周期解的存在性与多解性[D];首都师范大学;2005年
2 赵克烈;岩质高边坡施工期监测及其稳定性研究[D];武汉理工大学;2006年
3 韩旭;圆钢管空间KT型相贯节点极限承载力分析[D];重庆大学;2009年
4 王婷;钢纤维混凝土在桥面铺装工程中的应用技术研究[D];郑州大学;2005年
5 李振文;几类非线性方程正解的存在性定理及应用[D];曲阜师范大学;2006年
6 解联库;复杂地质环境因素作用下边坡稳定性分析研究[D];东北大学;2006年
7 常倩倩;加筋间距对加筋挡土墙破坏模式及临界高度的影响[D];河海大学;2007年
8 杨梅;基于小波变换的变压器保护的设计[D];合肥工业大学;2007年
9 李静;一类非散度型退化和奇异抛物方程的临界指标[D];吉林大学;2007年
10 周金艳;半直线上奇异微分方程三点边值问题[D];山东师范大学;2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 王一川;高雅的也是大众的[N];文艺报;2001年
2 王润英 河海大学水利水电工程学院 方卫华 河海大学 贾金生 郑璀莹译 黄万里 岳建平 福建师范大学地理科学学院 河海大学土木工程学院;大坝运行的安全监测[N];中国水利报;2004年
3 记者杨磊;杜厦:没人能成为沃尔玛,但在中国我不怕它[N];中国经营报;2003年
4 通讯员 张逸飞 记者 刘津;三项防冰关键技术项目通过验收[N];国家电网报;2008年
5 刘恒;以朴素的方式写作[N];中国文化报;2007年
6 广东江门市新会区建设工程质量检测站 赵权新;基桩竖向抗压静载试验极限承载力的确定[N];山西科技报;2004年
7 孟庆刚 王连心;中医药研究别忘了非线性[N];中国中医药报;2006年
8 王晓君;我们应该怎样来看待通俗文学[N];中国图书商报;2007年
9 李玉;赵家华:用相机作画[N];中国文化报;2008年
10 张华良 顾祖莉 金国斌;商品运输包装动力可靠性研究[N];中国包装报;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978