电迁移引致薄膜导线力电失效的研究

【摘要】：电迁移引致的薄膜导线失效是影响半导体集成电路寿命和可靠性的重要因素,一直受到半导体工业的关注:并且随着半导体工业的技术进步,这一问题有着越来越重要的意义。本文从理论分析、数值计算和实验观察三个方面对电迁移引致的薄膜导线失效这一课题进行了研究。在理论上研究了在电迁移和应力迁移耦合作用下薄膜导线中界面上孔洞和裂纹两种失效形式的形核机理以及表面迁移引起的损伤形核与演化:数值上研究了单晶中孔洞在电迁移下的行为,模拟了孔洞的漂移、形状演化与形状失稳过程:实验上对超细柱状晶粒的多晶薄膜铝导线在电迁移下的损伤演化过程进行了详细观察和机理分析。

下载App查看全文

下载全文更多同类文献

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前20条

1	郜晋荣;;基于金属层电阻温度系数可靠性研究[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2011年03期
2	常红;李明雨;;电迁移对Sn3.0Ag0.5Cu无铅焊点剪切强度的影响[J];电子元件与材料;2011年02期
3	赵毅,曹刚,徐向明;多晶硅加热法评价金属互连线电迁移寿命[J];半导体学报;2005年08期
4	陈军;毛昌辉;;铝铜互连线电迁移失效的研究[J];稀有金属;2009年04期
5	冯志学,毛锁方,孙金伦;SDH中的指针调整对PDH信号的抖动损伤[J];现代有线传输;1997年03期
6	罗福,杜祥琬,孙承纬;光斑尺寸对K9玻璃近红外激光损伤阈值的影响[J];爆炸与冲击;2002年01期
7	杜磊,庄奕琪,薛丽君;金属薄膜电迁移1/f噪声与1/f~2噪声统一模型[J];物理学报;2002年12期
8	王勇刚,马骁宇,冯健,李伟,李照银;半导体可饱和吸收镜失效分析及改进方法研究[J];红外与激光工程;2004年03期
9	时方晓,曹立礼;电场对Au/SiO_2及Au-Ag/SiO_2表面结构与原子迁移特性的影响[J];真空科学与技术学报;1997年04期
10	李秀宇;吴月花;李志国;郭春生;刘朋飞;朱春节;;多层金属化系统中的蓄水池效应[J];半导体技术;2007年04期
11	张蓓榕,孙沩;铝硅铜合金和铝铜合金多层结构的电迁移行为[J];电子产品可靠性与环境试验;1995年01期
12	余学峰,艾尔肯,张国强,任迪远,陆妩,郭旗,严荣良;MOS电容的衬底热电子注入响应特性[J];核技术;2000年12期
13	吴楠,黄梅,刘翔,金岚,张文红,唐建民;调QNd:YAG激光对兔眼视网膜损伤及修复的观察[J];激光杂志;2001年03期
14	罗福,辛建婷,李玉同,李英骏;硅光电二极管飞秒激光损伤的实验研究[J];应用激光;2003年06期
15	戚盛勇;李华;;几种电迁移(Electro migraion)寿命评估方法的探讨[J];集成电路应用;2003年11期
16	邬少国;一种基于电流源模型的芯片系统电源分析与验证方法[J];国外电子测量技术;2004年04期
17	马瑾怡;杨斯元;简维廷;张荣哲;;电迁移测试中模型参数估计方法的比较[J];中国集成电路;2009年11期
18	黄梅,吴楠,刘翔,唐建民,金岚,何杰;半导体激光对兔眼视网膜损伤及修复的观察[J];激光杂志;2002年03期
19	张银霞;单晶硅片超精密加工表面\亚表面损伤检测技术[J];电子质量;2004年07期
20	武国英,李志宏,陈文茹,郝一龙;VLSI多层互连可靠性　第一部分:电迁移失效(一)[J];微电子技术;1994年01期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	石良喻;洪连旺;;MR在膝关节损伤中的临床价值[A];第十次全国中西医结合影像学术研讨会暨全国中西医结合影像学研究与诊断学习班资料汇编[C];2009年
2	杜建国;岳茂兴;王一波;;多脏器损伤时合并胰腺损伤36例诊治体会[A];2008全国中西医结合危重病、急救医学学术会议学术论文集[C];2008年
3	诸力;韩勇;周辉;;锚钉固定治疗膝关节内侧副韧带附着点断裂[A];中华中医药学会骨伤分会第四届第三次学术年会暨国家中医药管理局“十一五”重点专科（专病）建设骨伤协作组经验交流会论文汇编[C];2008年
4	贺毅;李慧丽;谢微嫣;于常海;王韵;;P35在星形胶质细胞中的表达和可能的作用[A];中国神经科学学会第六届学术会议暨学会成立十周年庆祝大会论文摘要汇编[C];2005年
5	石强;黄旭升;陈朝晖;刘淑贤;蒲传强;;坐骨神经及其分支损害的临床和电生理分析[A];第九次全国神经病学学术大会论文汇编[C];2006年
6	王亚平;丁莲英;金亚平;;癌症患者外周静脉损伤的观察护理[A];第四届中国肿瘤学术大会暨第五届海峡两岸肿瘤学术会议论文集[C];2006年
7	李明;徐荣明;裘邯军;王以进;校佰平;王国平;;不稳定性骨盆损伤中骶髂关节脱位的研究[A];第二届华东地区骨科学术大会暨山东省第九次骨科学术会议论文汇编[C];2007年
8	傅衣铭;李升;;具损伤压电层合矩形板的非线性动力响应及振动主动控制[A];2009年度全国复合材料力学研讨会论文集[C];2009年
9	刘达兴;梁贵友;徐刚;牛义民;蔡庆勇;宋永祥;张建;李剑;王峰;陈成;;亚临床型穿透性心脏损伤20例救治分析[A];贵州省医学会胸心血管外科分会2010年学术年会论文集[C];2010年
10	余学峰;艾尔肯;任迪远;张国强;陆妩;郭旗;范隆;严荣良;;MOSFET的热载子损伤及其退火恢复[A];第十届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集[C];2000年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	赵智军;电迁移引致薄膜导线力电失效的研究[D];清华大学;1996年
2	张元祥;多物理场下金属微互连结构的电迁移失效及数值模拟研究[D];浙江工业大学;2011年
3	余春;钎料凸点互连结构电迁移可靠性研究[D];上海交通大学;2009年
4	陈雷达;电迁移作用下无铅焊点中的交互作用及界面反应研究[D];大连理工大学;2012年
5	王伯珉;预构皮瓣治疗四肢严重损伤的动物模型与实验研究[D];山东大学;2004年
6	胡柳青;冲击载荷作用下岩石动态断裂过程机理研究[D];中南大学;2005年
7	丁智平;复杂应力状态镍基单晶高温合金低周疲劳损伤研究[D];中南大学;2005年
8	常辉;屈折词缀的缺失与中介语语法的损伤[D];上海交通大学;2006年
9	王莉;小鼠肺间充质干细胞的分离培养及对肺损伤的修复作用[D];中国人民解放军军事医学科学院;2007年
10	江素华;等离子体浸没注入对Ta薄膜的改性及Cu/Ta-X/SiO_2体系失效机理研究[D];复旦大学;2005年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	刘宇;制造工艺对超深亚微米铝互连线通孔应力迁移可靠性的影响[D];复旦大学;2010年
2	肖琦;连铸钢包回转台疲劳强度的应用研究[D];北方工业大学;2005年
3	斯琴嘎;羊绒损伤对产品影响的研究[D];天津工业大学;2006年
4	高登攀;高聚物粘结炸药损伤声发射特性研究[D];四川大学;2005年
5	李兰岚;叶下珠提取物保肝作用及其HPLC指纹图谱研究[D];湖南农业大学;2007年
6	李刚;牵引成骨术对兔下牙槽神经影响的实验研究[D];南京医科大学;2005年
7	张开洪;基于鱼网传感器的桥梁结构损伤实时监测系统研究[D];西南师范大学;2005年
8	刘连新;成年猫视神经损伤的病理学动态观察及功能检测[D];青岛大学;2005年
9	杨俊峰;加味补阳还五汤对次声损伤的防护作用研究[D];第一军医大学;2005年
10	车顺利;适用于型钢混凝土结构的高强高性能混凝土及其损伤本构关系研究[D];西安建筑科技大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	李静然冯宁;休闲运动与损伤[N];中国消费者报;2000年
2	杨善明;精神病复发致人损伤监护人疏忽理应担责[N];人民法院报;2001年
3	冯剑晓冯雁;不明石子击伤眼责任谁担[N];检察日报;2002年
4	本报记者金国中;反倾销是第一选择[N];经济参考报;2002年
5	杭州电子科技大学微电子 CAD研究所孙玲玲彭嵘;信号完整性对EDA工具的挑战[N];计算机世界;2005年
6	郑卫国陈惠玲;厦门高度重视货币发行工作[N];上海金融报;2001年
7	;未来几年的关键技术[N];中国计算机报;2001年
8	本报记者孙绍林;会计业检讨全球性诚信危机[N];财经时报;2002年
9	北京市高法法医鉴定室鲁涤张凤芹;隐蔽的暴力严重的伤害[N];中国妇女报;2000年
10	记者王宝同　　通讯员董晶;解放路立交桥8月竣工[N];蚌埠日报;2008年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南