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激光微加工辅助系统研究

井亮  
【摘要】: 随着微技术的不断发展,以形状尺寸微小、操作尺寸极小为特征的微机械已经成为人们从微观角度认识和改造客观世界的一种高新技术,激光微加工技术为加工微小器件提供了新方法,已经成为全世界的研究热点。 本文针对激光微加工系统,分别研究了去除和加成两种激光微加工系统的部分辅助设备及其控制系统。 在去除加工方面,以建立准分子激光光刻直写微加工系统为目标,介绍了准分子激光光刻直写微加工系统的组成,围绕可编程运动控制器和精密电移台,阐述了准分子激光光刻直写微加工系统控制软件的设计方法与具体实现过程。为提高器件设计的复杂程度,缩短器件从设计到加工完成的周期,以AutoCAD为平台,阐述了准分子激光光刻直写微加工系统CAM接口的设计思路,并针对准分子激光微加工系统进行优化,准分子激光微加工系统CAM接口软件,并在准分子激光微加工系统平台上进行实验,验证了CAM接口软件设计的正确性。 在加成成型方面,以搭建光纤激光金属粉末微成型系统为目标,根据激光铺粉快速成型加工系统的铺粉相关要求,以提高铺粉的可控性为目的,设计了自动铺粉装置,以运动控制器为核心搭建了自动铺粉装置的控制系统,并编写了自动铺粉装置的控制软件,实现了对200目到400目金属粉末的自动化平铺,通过铺粉成型实验,验证了铺粉装置的可行性。


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