收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

计算机硬盘磁头的微加工工艺研究

张宏坤  
【摘要】: 随着科学技术的发展,MEMS已成为当今的重要发展方向。实现MEMS和利用MEMS的重要途径之一就是微加工技术。本文主要对微加工技术中的光刻技术和ICP刻蚀技术进行了实验研究,并通过微加工实验加工出具有二级台阶的硬盘磁头滑块。 首先,对微加工技术的一些方法和原理进行了研究。微加工技术主要包括光刻技术和刻蚀技术。其中光刻主要包括掩膜版的设计制作、曝光、显影等主要技术,本课题对其分别进行了详细的论述和研究。刻蚀技术主要包括湿法刻蚀和干法刻蚀。湿法刻蚀是一种传统的纯化学刻蚀,虽然具有设备简单等优点,但是也有其缺陷。然后重点介绍了本课题中主要使用的感应耦合等离子刻蚀(ICP),接着研究了曝光时间和显影时间对光刻质量的影响,再通过单步反应离子刻蚀分析ICP刻蚀参数如何影响刻蚀的速率,并对具有高深宽比的模型进行了交替复合深刻蚀工艺实验。最后,根据多台阶刻蚀的技术要求,刻蚀出具有二级台阶的硬盘磁头滑块,并对其进行形貌分析。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 王泗禹,康剑;半导体微细加工中的刻蚀设备及工艺[J];微纳电子技术;2002年11期
2 ;中微公司发布下一代刻蚀设备[J];电子与电脑;2011年08期
3 刘毅;杨银堂;;ECR刻蚀设备微机控制系统硬件设计[J];中国集成电路;2002年12期
4 姚刚;石文兰;;ICP技术在化合物半导体器件制备中的应用[J];半导体技术;2007年06期
5 刘毅;周端;;利用FPGA提高ECR刻蚀设备操作安全性[J];中国集成电路;2002年12期
6 郑彦东;;半导体制造刻蚀设备调度算法[J];计算机应用;2010年S2期
7 管会;干法刻蚀设备中真空系统的相关问题[J];半导体技术;1995年04期
8 iMae-ZONE;;劣质电源造成硬盘“损坏”[J];电脑迷;2005年16期
9 江永清;吴英;向毅;周兆英;杨兴;许迪;方泽佳;;基于碳纳米管的微纳单元的实验研究[J];半导体光电;2009年01期
10 白桦;;主板驱动让硬盘归天[J];电脑迷;2005年01期
11 ;“闪存硬盘”VS传统硬盘[J];电脑数码采购周刊;2005年43期
12 黄庆安;LOCOS(局域硅氧化工艺)一种用于静电电机的微加工工艺[J];电子器件;1990年02期
13 李军胜;主板驱动杀死硬盘[J];电脑应用文萃;2005年04期
14 吴义伯;侯安州;倪鹤南;徐爱兰;惠春;任秋实;;基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究[J];半导体技术;2007年12期
15 Tina J.Cotler ,马长青;等离子腐蚀技术[J];微电子学;1991年04期
16 张劲涛;范玉锋;雷刚;;PDP中ITO膜制作工艺技术的研究[J];真空电子技术;2005年06期
17 桑胜波;薛晨阳;张文栋;熊继军;阮勇;张大成;郝一龙;;微加工工艺应力的喇曼在线测量[J];半导体学报;2006年06期
18 吴义伯;邢玉梅;倪鹤南;徐爱兰;惠春;任秋实;李刚;;柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究[J];微细加工技术;2008年02期
19 成淑英,谈治信,陈绍金,戴乾宪,惠金河,江豪成,王忠;RIBE-5型反应离子束刻蚀机[J];真空;1993年01期
20 张宁;硬盘维护完全手册[J];大众硬件;2003年08期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘之景;;沉积和刻蚀的计算机模拟[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
2 邱晓暾;李勇;陈旭鹏;彭良强;;微小型电化学推进器的结构原理和工艺设计[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
3 王俊;郭育华;朱学林;刘刚;田扬超;;陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
4 丁桂甫;汪红;戴旭涵;赵小林;姚锦元;张丛春;;电沉积在MEMS加工技术中的应用[A];2005年上海市电镀与表面精饰学术年会论文集[C];2005年
5 胡志孟;;纳米二硼化钛在超精表面加工中的应用[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
6 周健斌;孟光;陈杰宇;张文明;;微型气体动压径向短轴承-转子系统动态特性研究[A];第八届全国转子动力学学术讨论会论文集[C];2008年
7 郑旭;李战华;;微结构疏水表面对界面流动的影响[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
8 张巧云;林日乐;谢佳维;张挺;翁邦英;王瑞;赵建华;郑永祥;吕志清;;石英微机械惯性传感器的研究[A];中国惯性技术学会第五届学术年会论文集[C];2003年
9 周斌;孙骐;徐翔;徐超;沈军;吴广明;唐伟星;倪星元;贾天卿;;石英和有机衬底上飞秒激光微加工引入微结构的工艺研究[A];第八届全国核靶技术学术交流会论文摘要集[C];2004年
10 徐永青;杨拥军;郑七龙;李海军;;新型硅—铝—硅结构MEMS加工技术及应用[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 孙广毅;高深宽比微纳结构模拟、加工及应用[D];南开大学;2010年
2 林晶;高密度硬盘磁头滑块气浮润滑面优化设计及实验研究[D];清华大学;2009年
3 靖向萌;MEMS探卡的设计及制备工艺研究[D];上海交通大学;2008年
4 申儒林;硬盘磁头多元复合表面的超精密抛光机理研究[D];中南大学;2008年
5 王宇;微针阵列干电极的设计、制作及应用[D];兰州大学;2012年
6 黄闯;基于左右手复合传输线和MEMS的新型微波器件研究[D];上海交通大学;2010年
7 于欣;半导体环形激光器的研究[D];天津大学;2011年
8 刘梦伟;基于双压电PZT薄膜单元的悬臂梁式微力传感器研究[D];大连理工大学;2006年
9 王磊;磷化铟基集成光子器件及其关键工艺技术研究[D];浙江大学;2010年
10 王明;聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控芯片研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张宏坤;计算机硬盘磁头的微加工工艺研究[D];北方工业大学;2010年
2 孙阳;深亚微米集成电路制造中刻蚀机理工艺研究及应用[D];复旦大学;2010年
3 金异波;电介质刻蚀设备生产效能提升研究[D];复旦大学;2011年
4 张秋萍;用于无掩膜刻蚀的微小等离子体反应器的工艺制备和性能测试[D];中国科学技术大学;2010年
5 岳廷;GMR传感器的微加工制作[D];安徽大学;2011年
6 陈少军;高深宽比微结构加工技术研究[D];上海交通大学;2011年
7 唐飞;浅沟槽隔离(STI)刻蚀工艺条件优化[D];复旦大学;2011年
8 付思齐;MEMS工艺优化及其应用[D];长春理工大学;2010年
9 余国虎;大型三维零部件激光精密刻蚀微结构技术研究[D];华中科技大学;2011年
10 陈赛华;光电子材料的超短激光微加工[D];武汉理工大学;2012年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 中微半导体设备(上海)有限公司董事长兼CEO 尹志尧;设备研发应重视专利积累[N];中国电子报;2011年
2 ;走向世界的七星华创[N];中国电子报;2003年
3 赵英华 本报记者 潘忠颖;沈阳IC装备在上海收获硕果[N];中国高新技术产业导报;2010年
4 文月;国产12英寸等离子刻蚀机装备中芯生产线[N];电子资讯时报;2008年
5 郭运文;首个华人合伙Lightspeed[N];民营经济报;2006年
6 记者 姚玉洁 陆文军;“上海制造”蝶变,光彩更加夺目[N];新华每日电讯;2011年
7 王勃华;我国半导体设备业发展解析[N];中国电子报;2004年
8 记者 曹明 北京;茂德科技旧设备将空运重庆[N];电子资讯时报;2007年
9 本报记者 刘学习 林润华;下一代CPU引发连锁发应[N];计算机世界;2005年
10 本报记者  任荃;为城市创新注入“活力因子”[N];文汇报;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978