收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

激光多普勒微机电系统运动检测电路与软件设计

张涛  
【摘要】: 微机电系统是集微型机械、微传感器、微执行器、信号处理、智能控制于一体综合型系统,在国防、通信、汽车、生命科学等领域中有着广泛的运用。近年来,随着微机电系统技术的迅速发展,对器件运动性能检测的需求也日益迫切。 本文主要探讨了基于激光差动多普勒原理的微机电系统的运动检测技术,研究测量微型振子等微机电器件的瞬时速度、位移、加速度等运动参数的方法。论文在前期的探索上,对原测量系统的光路结构、特别是信号处理模块和硬件设计进行了改进和优化。 改进了原系统的光路结构,实现了符合测量要求的微小光斑,降低了光斑内的速度梯度。采用了时频分析的方法,优化了软件处理模块,提高了系统的测量精度。设计了信号的采集处理电路,替代数据采集卡进行采集和处理,降低了系统的成本,并为将来系统的便携化、高效测量研究进行了先期探索,提供一定的研究基础。 在对谐振器进行运动检测的基础上,论文还对器件的振型进行了初步的分析,获得谐振器的固有振型。 通过对一系列微机电系统谐振器样品、微型马达、加速度校准仪等被测物的成功检测,表明本测量系统可用于微机电系统的运动检测。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 黄虎;尤政;阮勇;张弛;;MEMS继电器典型结构及其研究进展[J];传感器与微系统;2011年07期
2 刘修泉;李艳红;薛凯峰;黄平;;胶囊微机电无线能量传输系统设计与试验研究[J];工程设计学报;2011年03期
3 孙韶春;石庚辰;;旋转式微发电机的设计与制造[J];光学精密工程;2011年06期
4 常洪龙;白滨;焦文龙;谢建兵;秦子明;苑伟政;;大输出微控制力矩陀螺的设计[J];传感技术学报;2011年08期
5 苏虎平;沈三民;安震;刘文怡;刘龙飞;任伟;;基于加速度计的陀螺三轴角速率提取算法研究[J];传感器与微系统;2011年07期
6 刘梦伟;汪承灏;李俊红;;基于PZT薄膜面内极化工作的低应力压电微传声器[J];纳米技术与精密工程;2011年04期
7 何宇航;张文明;孟光;武洁;;随机粗糙表面对微气体轴承性能的影响[J];润滑与密封;2011年06期
8 张丽杰;常佶;;微小型航姿测量系统及其数据融合方法[J];中国惯性技术学报;2011年03期
9 沈丹东;马炳和;邓进军;苑伟政;;压电式微型合成射流器结构参数优化设计[J];航空学报;2011年09期
10 ;稿约[J];纳米技术与精密工程;2011年03期
11 徐烨烽;仇海涛;何孟珂;孟庆季;;MEMS旋转调制式航姿参考系统设计及误差补偿[J];兵工学报;2011年06期
12 ;稿约[J];纳米技术与精密工程;2011年04期
13 王兰美;张凯华;马瑞亭;李安国;;基于双光束—双散射的激光多普勒水流速测量[J];光学仪器;2009年03期
14 ;Araldite~ Digitalis~进军日本快速制造市场[J];汽车工艺与材料;2011年08期
15 刘大为;李亮亮;李敬锋;;微型热电器件应用的最新研究进展[J];中国科技论文在线;2011年08期
16 荣烈润;;基于微细特种加工的微细制造技术(上)[J];金属加工(冷加工);2011年13期
17 陆静玲;;浅析MEMS技术在电子通信产业中的价值[J];硅谷;2011年14期
18 王建平;;复杂曲面微细零件切削加工研究[J];机床与液压;2011年10期
19 ;高等教育出版社学术著作介绍[J];机械设计与研究;2011年04期
20 ;我国首台激光动态弯沉测量车问世标志着我国公路检测仪器研发和道路养护水平跻身世界先进水平[J];光学仪器;2010年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王晓东;余家欣;陈磊;钱林茂;;水分和氧气对单晶硅摩擦化学行为的影响[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
2 刘帆;金世龙;;基于混合编程的高精度激光多普勒信号处理技术[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
3 张秀玲;佘万东;张淑仪;水修基;戴艳红;乔振花;;激光多普勒测振系统观察豚鼠鼓膜振动的初步研究[A];2010全国耳鼻咽喉头颈外科中青年学术会议论文汇编[C];2010年
4 张栋;李顺月;马惠敏;王淑友;;激光多普勒血流成像技术在针灸研究中的应用[A];中国中西医结合学会微循环2009学术大会会议指南及论文摘要[C];2009年
5 陈十一;Gary D Doolen;聂小波;;应用格子Boltzmann方法(LBM)模拟微机电系统(MEMS)中的流动[A];自然、工业与流动——第六届全国流体力学学术会议论文集[C];2001年
6 张俊峰;李兴国;娄国伟;;MEMS技术在微小型探测系统中的应用[A];2005'全国微波毫米波会议论文集(第二册)[C];2006年
7 王立鼎;;微机电系统的发展趋势及国内外研发状况(摘要)[A];中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编[C];2001年
8 阎广晖;韦正翔;;激光多普勒图像诊断系统的原理及应用[A];中华医学会医学工程学分会第二次医学影像设备应用技术研讨会论文集[C];2001年
9 毛瑞;;激光多普勒监测重型颅脑创伤患者脑血流的护理体会[A];全国外科、神经内外科护理学术交流暨专题讲座会议论文汇编[C];2007年
10 韩道福;王鸣;;基于DFB激光器的多普勒自混合速度传感[A];2007年全国第十六届十三省(市)光学学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 钟莹;微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法[D];天津大学;2005年
2 冷长林;基于激光多普勒技术的微机电系统运动检测[D];天津大学;2007年
3 祝捷;微机电系统自聚焦压电声学换能器[D];武汉大学;2010年
4 曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
5 鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
6 余洪斌;MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D];华中科技大学;2005年
7 范细秋;纳米压印及MEMS仿生功能表面制备的研究[D];华中科技大学;2006年
8 孙吉勇;MEMS光栅光调制器阵列及投影显示系统的光学分析和实验[D];重庆大学;2008年
9 周国忠;搅拌槽内流动与混合过程的实验研究及数值模拟[D];北京化工大学;2002年
10 黄腾超;微流控集成光波导光开关的研究[D];浙江大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张涛;激光多普勒微机电系统运动检测电路与软件设计[D];天津大学;2007年
2 李杨;三维无线能量传输技术在体内微机电系统中的实验研究[D];华南理工大学;2011年
3 孟雪;激光多普勒干涉振动测量技术的研究[D];长春理工大学;2012年
4 许星星;激光多普勒测速仪的硬件设计[D];西安理工大学;2010年
5 李宏;新型压电微驱动器在光学微机电系统中的应用研究[D];四川师范大学;2012年
6 肖逾男;基于DSP芯片的激光多普勒测速仪的研制[D];武汉大学;2004年
7 袁红;激光多普勒测速仪的设计[D];重庆大学;2012年
8 熊建功;基于MEMS细胞电融合芯片及其外围驱动电路的设计[D];重庆大学;2006年
9 邓学亮;引信安全系统中高G值双稳态微加速度开关研究与设计[D];南京理工大学;2007年
10 李冠男;基于UV-LIGA技术的毛细管电泳芯片设计与制备[D];华中科技大学;2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 陈丹;科学家研制出可自我校准的微机电系统[N];科技日报;2010年
2 本报记者 韩义雷 过国忠;无锡加快建设物联网“感知中国”中心[N];科技日报;2009年
3 道尔吉;用激光测量板坯浇铸速度及长度[N];世界金属导报;2006年
4 恩智浦半导体高级总监及SIP项目经理 Alain Rougier 恩智浦创新高级总监 Eef Bagerman 恩智浦营运后端创新策略总监 Caroline Beelen-Hendrikx;SoC与SiP各有千秋 两者之争仍将继续[N];中国电子报;2008年
5 本报记者 梁靓;2009年微型投影悄然兴起[N];中国电子报;2009年
6 吴琼;小流速气体测速方法[N];中国电子报;2000年
7 于莘明 刘晓俏;我国新型激光技术获突破[N];中国高新技术产业导报;2005年
8 ;用事业测量人生[N];山西日报;2004年
9 王建高;“捕风捉影”保奥帆[N];科技日报;2008年
10 曹东;我国首颗内置传感器芯片在上海张江诞生[N];中国高新技术产业导报;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978