收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于白光扫描干涉术的微结构大范围表征方法研究

常红  
【摘要】: 随着现代制造业、微电子、微机电系统(MEMS)以及纳米技术的应用发展,对微结构的测量要求越来越高,其中MEMS阵列器件、MEMS多层结构器件、超精密加工器件对测试系统的测量范围、测量速度和测量精度有着更高要求。基于白光扫描干涉术的光学方法具有非接触、无损伤、高精度和全视场等特点,可以满足这些要求。 本课题通过在纳米测量机(NMM)上安装光学干涉测量系统,搭建了基于NMM的微结构大范围白光扫描干涉测量系统,实现了25mm×25mm×5mm范围内的高精度测量。本课题完成的具体工作主要有: 1.通过对国内外微结构几何量测量技术和方法的充分调研,为实现微结构的大范围高精度测量,在本系统中采用了白光扫描干涉技术。 2.分析了大范围测量的实现原理。首先分析了白光垂直扫描干涉的测量原理,在此基础上提出了实现大范围测量的两种方法:白光垂直扫描干涉图像拼接和白光水平扫描干涉,并对两种方法的测量原理和处理算法进行了分析。 3.搭建了基于NMM的大范围高精度白光扫描干涉测量实验系统。其中相应的硬件包括:Mirau干涉物镜、光学成像结构、图像采集部分(CCD摄像机和图像采集卡)、NMM以及系统的支撑结构等;相应的软件包括:使用LABVIEW编写的用于完成扫描干涉测量的控制界面,以及与之相结合的用于后续数据处理分析的MATLAB程序。 4.利用搭建的系统实现大范围测量实验。先利用单色光相移干涉和白光垂直扫描干涉实验对系统的性能和精度进行了评价,再利用白光垂直扫描干涉、白光垂直扫描干涉图像拼接和白光水平扫描干涉实验完成对微结构在x、y、z三个方向的大范围高精度测量。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 苏秉华,刘木兴,刘振英;面阵CCD内窥定位测量中的图像扫描拼接方法及其精度分析[J];西安工业学院学报;1996年02期
2 邱敦国,李勇;计算机图像分析处理技术在理化检测中的应用[J];工具技术;2003年05期
3 张辉,崔杜武;全景图像生成算法的研究与实现[J];计算机工程;2003年06期
4 王国钧,韩丽萍,陈礼民;基于相关性的病理切片图像配准[J];中国图象图形学报;2004年03期
5 李静梅;冉祥金;姚成浪;;基于垂直投影特征的文档图像自动拼接算法[J];信息技术;2005年12期
6 潘志君;严壮志;张猛;;一种基于元胞自动机的图像拼接方法[J];微计算机信息;2006年30期
7 王军;吴静;;基于拉格朗日插值与牛顿算法的亚象素图像拼接[J];盐城工学院学报(自然科学版);2006年03期
8 侯顺风;张佑生;江涛;;块拼接纹理合成算法在图像拼接中的应用[J];计算机技术与发展;2007年07期
9 臧艳红;;基于全景图像的拼接算法研究[J];微计算机信息;2007年18期
10 庄志国;孙惠军;董继扬;陈忠;;基于角点检测的图像匹配算法及其在图像拼接中的应用[J];厦门大学学报(自然科学版);2007年04期
11 杨燕;王雪瑞;戴青;付江柳;;球面全景图像生成技术的研究[J];计算机应用与软件;2007年10期
12 宋海华;邵志一;;基于改进型特征匹配的图像拼接方案设计[J];电视技术;2008年02期
13 李世威;刘团结;王宏琦;;基于图像匹配的CBERS-02B卫星HR相机图像拼接方法[J];遥感技术与应用;2009年03期
14 汤旭涛;赵俊逸;;静态图像快速拼接算法研究[J];计算机应用与软件;2010年05期
15 柳玉书;平丽浩;朱瑞;武杰;;平板裂缝天线机器视觉测量系统研究及设计[J];信息化研究;2010年06期
16 蔺想红,王维盛;一种基于特征匹配的全景图自动拼接方法[J];西北师范大学学报(自然科学版);2005年04期
17 吴琼玉;周东翔;蔡宣平;;基于图像序列的虚拟场景重建和漫游[J];中国图象图形学报;2006年01期
18 李从利;韩裕生;冷晓艳;薛模根;;序列图像拼接过程中误匹配的消除[J];计算机应用与软件;2006年11期
19 冷晓艳;;空中侦察图像连续拼接中的平滑算法研究[J];计算机工程与科学;2007年02期
20 王玉;王明泉;李志刚;;医学射线图像快速拼接方法研究[J];科技信息(学术研究);2007年36期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 周剑军;欧阳宁;陈旭;黄先锋;;一种基于Harris特征点的图像拼接方法[A];全国第二届信号处理与应用学术会议专刊[C];2008年
2 向阳;罗锡文;熊瑛;吴明亮;;基于感应与图像标记结合的排种图像拼接技术[A];中国农业工程学会2011年学术年会论文集[C];2011年
3 汤力琨;龙建忠;;图像拼接技术在金相分析中的运用[A];中国自动化学会、中国仪器仪表学会2004年西南三省一市自动化与仪器仪表学术年会论文集[C];2004年
4 赖力;周代全;黎川;王新;;Innova4100血管机下肢静脉跟踪造影中的图像拼接[A];2010中华医学会影像技术分会第十八次全国学术大会论文集[C];2010年
5 阮骥;;DR超长成像及图像拼接技术的质量控制[A];2010中华医学会影像技术分会第十八次全国学术大会论文集[C];2010年
6 孙啸天;余建明;陈艳;;DR的图像拼接技术在全脊柱及下肢摄影中的应用研究[A];2010中华医学会影像技术分会第十八次全国学术大会论文集[C];2010年
7 李骋进;;DR全下肢图像拼接成像技术的临床应用[A];2010中华医学会影像技术分会第十八次全国学术大会论文集[C];2010年
8 胡社教;陈宗海;刘年庆;;基于图像灰度特征的全景图像拼接[A];'2003系统仿真技术及其应用学术交流会论文集[C];2003年
9 方尔正;卜广明;何春艳;王超;李冬方;;采用OMAP处理器的嵌入式图像拼接系统[A];中国声学学会水声学分会2011年全国水声学学术会议论文集[C];2011年
10 王潇;尹忠科;王建英;游世军;;一种基于特征直线的彩色图像拼接算法[A];2008年中国西部青年通信学术会议论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 邵向鑫;数字图像拼接核心算法研究[D];吉林大学;2010年
2 曾霖;图像拼接技术的研究、实现与应用[D];武汉大学;2012年
3 张德新;面阵航侦CCD相机系统设计及其图像拼接技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 马龙;白光扫描干涉测量方法与系统的研究[D];天津大学;2011年
5 王长缨;时态GIS若干关键技术的研究[D];西北大学;2006年
6 冯宇平;图像快速配准与自动拼接技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
7 张瑜;微根窗根系的图像处理方法研究[D];东北林业大学;2012年
8 刘九庆;植物根系图像监测分析系统[D];东北林业大学;2005年
9 王斌;基于无人机采集图像的土壤湿度预测模型研究[D];中国石油大学;2009年
10 赵语;地面农业遥感平台在能源作物生物量监测中的研究与应用[D];东北农业大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李志伟;图像拼接技术中若干问题的研究[D];大连理工大学;2005年
2 周惠娟;基于图像配准的图像拼接算法研究[D];河北大学;2010年
3 刘伟;全景拼接系统的设计与实现[D];北京印刷学院;2011年
4 荣文;基于SURF特征的显微镜图像拼接[D];山东大学;2010年
5 于庆;基于SIFT算法的眼底图像拼接的研究与实现[D];重庆大学;2010年
6 任瑞玲;材料自动检测系统中的图像拼接方法[D];四川大学;2004年
7 李烨;基于EMD的图像拼接和图像识别研究与实现[D];重庆交通大学;2010年
8 林欣堂;基于视觉的大尺寸工件边缘检测及图像拼接技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
9 李晓东;图像拼接技术及其在眼底摄像中的应用[D];曲阜师范大学;2004年
10 韩文超;基于POS系统的无人机遥感图像拼接技术研究与实现[D];南京大学;2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 山东 猫咪老爸;图像拼接 天衣无缝[N];电脑报;2003年
2 记者 束洪福;第一届全国纳米测量技术会议举行[N];科技日报;2003年
3 陈学璞;理性·情感·规矩[N];广西日报;2002年
4 通讯员 蒋玲玲 记者 萧马;纳米技术是进入新世纪的钥匙[N];浙江日报;2000年
5 记者 付毅飞;我国15项纳米技术标准提升产业竞争力[N];科技日报;2007年
6 刘乃清;体验奥林巴斯C-740数码相机的长焦魅力[N];电子资讯时报;2003年
7 紫箕;新型脑部扫描仪[N];医药经济报;2007年
8 本报记者 郭见洌;OCR速度与功能又上台阶[N];计算机世界;2005年
9 元靖;惠普Designjet 820mfp效率更高[N];中国包装报;2006年
10 本报记者 莳花;计量是科技的基础[N];大众科技报;2000年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978