收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

非晶硅/纳米晶硅薄膜的微结构和光学性质研究

邹红叶  
【摘要】:本工作利用螺旋波等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅和康宁玻璃衬底上制备了非晶及纳米晶硅薄膜。通过傅立叶变换红外吸收光谱、紫外—可见透射光谱、原子力显微镜等多种技术手段,对薄膜的成分、键合结构、形貌、光学带隙、沉积速率等性质进行了表征和分析。研究了氢气流量和薄膜生长厚度等实验参量对薄膜微观结构和光学性质的影响,根据典型非晶、晶态结构薄膜的制备条件,设计制备了非晶硅/纳米晶硅多层膜结构,并对其微观结构和光学特性进行了研究。 通过改变氢气的流量,制备了不同氢含量的硅氢薄膜,研究结果表明低氢环境下沉积的薄膜表现为氢化非晶硅(a-Si:H)特征,在高氢环境下沉积的薄膜表现为氢化纳米晶硅(nc-Si:H)特征,随着氢气流量的增加,薄膜的光学带隙和结构有序度提高,样品中总的氢含量减小。 以非晶硅薄膜为初始生长层,制备了不同厚度的a-Si:H/nc-Si:H异质结,研究结果表明,随着p层厚度的增加,薄膜的有序度和光学带隙逐渐增大,薄膜表面逐渐成核。以非晶硅为势垒层,纳米晶硅薄膜为势阱层,获得了层间界面清晰的纳米硅多层结构薄膜,结果表明多层薄膜表现为非晶硅特征,随着纳米晶硅层厚度的增加,多层薄膜的有序度得到提高,而光学带隙单调减小。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 于威;卢海江;路万兵;孟令海;王新占;韩理;傅广生;;氢稀释对纳米晶硅薄膜微结构的影响[J];功能材料;2011年03期
2 林璇英,姚若河,余楚迎,刘兴盛,林揆训,王洪,石旺舟;纳米硅基薄膜光致发光机制的初步研究[J];功能材料;1998年02期
3 张群芳;朱美芳;刘丰珍;刘金龙;许颖;;热丝化学气相沉积n型nc-Si:H薄膜及nc-Si:H/c-Si异质结太阳电池[J];太阳能学报;2006年07期
4 邱胜桦;陈城钊;刘翠青;吴燕丹;李平;林璇英;黄翀;余楚迎;;氢稀释对高速生长纳米晶硅薄膜晶化特性的影响[J];物理学报;2009年01期
5 宋捷;郭艳青;王祥;丁宏林;黄锐;;激发频率对高氢稀释下纳米晶硅薄膜生长特性的影响[J];物理学报;2010年10期
6 赵占霞,崔容强,古丽娜,陈凤翔,储开芹,孟凡英,周之斌;纳米硅薄膜及纳米硅薄膜太阳电池[J];太阳能学报;2003年01期
7 王宗畔,熊绍珍,孙仲林,徐温元;非晶硅p-i-n太阳电池[J];太阳能学报;1983年02期
8 耿文学;;非晶硅光传感器及其应用[J];中国仪器仪表;1984年02期
9 徐温元;非晶硅太阳能电池研究动向[J];物理;1986年03期
10 杨红,崔容强,于化丛,胡宏勋;带有CGL:B:C的大面积a-Si:H太阳电池的研制[J];西安交通大学学报;1996年06期
11 唐元洪;ZC36微电流测试仪测量非晶硅有效隙态密度[J];湖南大学学报(自然科学版);1997年03期
12 吕宝堂,赵晖,郑君,邹邦涛,贾兆滨;外连式SnO_2导电膜非晶硅太阳电池[J];电源技术;2002年02期
13 杨谨福;非晶硅在太阳能利用方面取得成功[J];稀有金属;1984年06期
14 ;科技简讯[J];太阳能;1987年02期
15 颜一凡;M/a-Si势垒的静态分析[J];湖南大学学报(自然科学版);1989年02期
16 郑家贵,冯良桓,周心明,蔡伟,蔡亚平,罗昭和;非晶硅太阳电池衰降的机制及特征分析[J];四川大学学报(自然科学版);1992年01期
17 陈义,杜开瑛;非晶硅低温氧化工艺的研究[J];四川大学学报(自然科学版);1993年04期
18 魏笑竹,王忠安;非晶硅太阳电池效率研究[J];半导体技术;1996年05期
19 王印月,杨映虎,姜永波,张仿清,陈光华,王思礼;非晶硅太阳电池稳定性研究[J];兰州大学学报(自然科学版);1996年01期
20 ;弱光型非晶硅太阳电池[J];军民两用技术与产品;2001年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 董利菲;郝秋艳;刘彩池;;离子注入制备的纳米Si光致发光特性研究[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
2 廖显伯;刁宏伟;胡志华;曾湘波;徐艳月;孔光临;;非晶硅基太阳电池p型界面的研究[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
3 徐艳月;张世斌;刁宏伟;王永谦;廖显伯;;氢稀释和频率对非晶硅沉积速率的影响[A];中国太阳能学会2001年学术会议论文摘要集[C];2001年
4 刘宏;;非晶硅太阳电池遮挡性能的理论模型与测试实验[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
5 林璇英;余楚迎;姚若河;吴萍;李美亚;林揆训;石旺舟;;优质多晶硅薄膜的制备[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
6 王宗畔;董贵元;刘军亮;周祥;高瑛;高展;任秋生;张哲;;非晶硅太阳电池的发展与思考[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
7 杨恢东;刘丽娟;黄君凯;;非晶硅/微晶硅过渡区材料的PECVD法制备与特性研究[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
8 徐轶;朱德贵;;薄膜太阳能电池的研究现状和展望[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年
9 刘桂玲;黄政仁;吴洁华;刘学建;;碳化硅空间光学材料的表面改性研究[A];中国空间科学学会空间材料专业委员会2009学术交流会论文集[C];2009年
10 董贵元;王宗畔;刘军亮;周祥;任秋生;高展;高瑛;张哲;;非晶硅太阳电池的大容量、单室技术探讨[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘莉莹;大气压射频Ar/H_2/SiCl_4等离子体射流实验诊断及其沉积硅薄膜研究[D];大连理工大学;2011年
2 马铁英;非晶硅微测辐射热计的材料、设计、制备和测试研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
3 李牧菊;高清晰度液晶显示用薄膜晶体管的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
4 杨永珍;重油残渣定向转化新型碳功能材料的研究[D];太原理工大学;2007年
5 曾好平;熔射成形骤冷熔滴生长特性基础研究[D];大连理工大学;2007年
6 黄坚;硫铁矿烧渣制备软磁用α-Fe_2O_3和磁记录材料γ-Fe_2O_3工艺及基础理论研究[D];中南大学;2008年
7 曹海亮;微尺度燃烧特性及微能源系统的研制[D];中国科学技术大学;2006年
8 黄金英;高品质低温多晶硅薄膜晶体管的制作与周边一体化设计[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
9 靳瑞敏;中温制备多晶硅薄膜及相关理论问题的探讨[D];郑州大学;2006年
10 张榕;氢化纳米硅薄膜光电导性质研究[D];上海交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邹红叶;非晶硅/纳米晶硅薄膜的微结构和光学性质研究[D];河北大学;2009年
2 孟翔宇;热丝化学气相沉积(HWCVD)纳米晶硅薄膜的研究[D];大连理工大学;2011年
3 夏周;镶嵌在SiC介质中的纳米晶硅薄膜结构与光致发光研究[D];浙江师范大学;2010年
4 赵本定;非晶硅太阳电池的制备及微晶硅电池的数值模拟[D];河南大学;2012年
5 郝国强;非晶硅薄膜太阳电池的研究[D];河北工业大学;2003年
6 邓婉婷;多晶硅薄膜ECR-PECVD低温生长结构研究[D];大连理工大学;2008年
7 孙晓飞;热丝与射频等离子体化学气相沉积复合技术制备多晶硅薄膜及其性能研究[D];大连理工大学;2012年
8 张延生;柔性衬底上非晶硅薄膜太阳电池的材料研究[D];河北工业大学;2002年
9 韩建超;非晶硅太阳电池界面层及稳定性研究[D];河北工业大学;2005年
10 吴钦宏;非晶硅电子射野影像装置的剂量学研究[D];清华大学;2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 郭敬文 记者 吴剑;丰城成功引进非晶硅项目[N];宜春日报;2008年
2 记者 李迎博 通讯员 黄伟伟;非晶硅薄膜太阳能电池项目开工建设[N];洛阳日报;2009年
3 姚红亮;洛阳市首家非晶硅薄膜太阳能电池项目开工[N];中国有色金属报;2009年
4 徐华 崔建民 谢辉;天威5兆瓦非晶硅组件出口泰国[N];河北日报;2009年
5 记者 危丽琼;专家力主非晶硅发展上日程[N];中国化工报;2010年
6 吴琼;非晶硅压力传感器[N];中国电子报;2000年
7 梅永生 王芳 凌锐 姜木金;非晶硅薄膜太阳能电池项目落户京口[N];镇江日报;2009年
8 本报记者 钟银燕;薄膜太阳能电池发展前景被看好[N];中国能源报;2010年
9 威中;非晶硅光伏屋面将在威海建成[N];中国改革报;2008年
10 本报记者 马明 通讯员 袁金泉 易向东;手套大王变身非晶硅先锋 强生光电实现华丽转型[N];中国工业报;2009年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978