收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

太阳能硅晶片双束激光双线划槽方法与装置

张福军  
【摘要】: 太阳能是当今最为光明的新兴产业,太阳能硅晶片的加工是这个产业的重要工序。该行业目前的苦恼之一是太阳能硅片划槽加工的产能已跟不上销售的提高。针对目前市场上只是单束激光划槽设备的情况下,本文提出一种双束激光划槽方法和装置。它可以使生产效率提高100%,节约能源30%。它主要应用于硅、锗、砷化镓和其它半导体衬底材料的划槽和切割,特别适用于单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池的切割。 本文从激光激发的过程,对原子的能级以及激光跃迁进行了系统的研究。由这些理论进而引出了激光产生的全过程,并研究了激光产生的条件。固体激光器是激光发展史上的里程碑,本文提出的装置也是固体激光器,所以对激光器的组成进行了阐述。 根据激光原理的研究,本文对太阳能硅晶片双束激光双线划槽机进行了系统的研究。其系统包括激光器、激光电源、声光Q开光电源、水冷机以及相关的机械结构,其中激光器是主要器件。本文提出的Z型谐振腔是以提高加工效率为目的而提出的创新结构。Z型腔不同于直腔,它是折叠腔。利用传播圆理论和模像理论对其进行了深刻的分析研究,得出Z型腔具有更宽的热稳定宽度,所以有更小的光斑尺寸。聚焦系统的理论分析得出扩束镜能优化激光光斑尺寸,使划槽效果更美观。 基于以上的理论分析,本文以单线划槽和Z型腔双线划槽做了对比试验,得出以下实验结论 (1)Z型腔双线划槽有更大的功率,有更深的划槽深度,所以沟槽更明显。 (2)验证了根据聚焦理论提出的加入扩束镜设想的正确性。 (3)在最优数据的情况下,双束激光划槽宽度窄于单线划槽宽度,验证了Z型腔的图解分析。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 赵继彦,李盛宇;太阳能激光器[J];激光杂志;1983年04期
2 ;国内科技期刊亮点[J];科技导报;2009年13期
3 盛朝霞;王再军;;强激光输出窗口热行为对光束质量的影响[J];激光技术;2008年03期
4 ;国外最新生活用品集锦[J];今日科技;1989年06期
5 齐吉祥;;阳燧取火[J];太阳能;1980年01期
6 劳华清;;利用磷光体吸收、贮藏和再生太阳能[J];今日科技;1983年02期
7 情报;;太阳能与农田灌溉[J];地理科学进展;1988年01期
8 ;美国内华达州新纳克斯太阳能技术发展公司总裁比尔德偕夫人应邀来能源所讲学[J];山东科学;1990年03期
9 ;能源湖[J];科技导报;1990年06期
10 ;中国太阳能学会1990'光化学学术讨论会在我举行[J];山东大学学报(理学版);1990年04期
11 倪申宽,林险峰;能源与化学(Ⅰ)[J];吉林师范大学学报(自然科学版);1992年02期
12 阎育华;赵自胜;张玉山;;半拱式新型太阳能暖房的人工小气候分析[J];河南科技;1992年02期
13 郑锡荣;红海边上的太阳能海水淡化厂[J];太阳能;1996年01期
14 翟京玉;公共建筑被动式太阳能采暖一例[J];甘肃科学学报;1997年03期
15 蔡爱富;探索太阳能储存高技术的新路子[J];百科知识;1997年08期
16 张焕芬;下世纪的太阳能系统[J];广东科技;2000年07期
17 杜恩社;西藏太阳能利用现状及对策[J];西藏科技;2001年09期
18 席炜;新世纪新能源——太阳能[J];现代物理知识;2002年05期
19 唐黎标;太阳能海水淡化新装置[J];发明与创新;2003年12期
20 孟宪茹,冯伟;太阳能收益与热力学定律[J];西藏科技;2003年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 肖清华;王敬;屠海令;;质子注入单晶硅中的结构演化[A];中国有色金属学会第五届学术年会论文集[C];2003年
2 汪雷;杨德仁;;低温退火单晶硅中锗氧复合体的理论研究[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
3 施正荣;;中国的太阳能光伏产业能否赶超世界?[A];江苏省能源研究会成立二十周年纪念暨第十届学术年会热电专委会第十二届年会暨学术报告会论文集[C];2004年
4 彭志刚;肖志超;苏君明;邵海成;;单晶硅拉制炉热场材料的发展概况[A];第20届炭—石墨材料学术会论文集[C];2006年
5 罗永川;;利用N型硅复拉料拉制太阳电池用P型单晶硅[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
6 徐进;雒建斌;路新春;潘国顺;;硅片化学机械抛光碰撞去除机理研究[A];人才、创新与老工业基地的振兴——2004年中国机械工程学会年会论文集[C];2004年
7 余家欣;余丙军;钱林茂;;单晶硅的切向纳动研究[A];2009年全国青年摩擦学学术会议论文集[C];2009年
8 孙兵兵;李京龙;熊江涛;张赋升;籍成宗;;Au-Si共晶扩散连接单晶硅接头的微观组织和性能研究[A];第十五次全国焊接学术会议论文集[C];2010年
9 田雷;孙凤玲;寇文兵;;集成化触觉传感器阵列[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
10 谭刚;;硅晶圆CMP抛光速率影响因素分析[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陈贵锋;高能粒子辐照单晶硅辐照效应的研究[D];河北工业大学;2009年
2 王海燕;硅基太阳能电池陷光材料及陷光结构的研究[D];郑州大学;2005年
3 李晓莉;光学参量啁啾脉冲放大技术的研究[D];西安电子科技大学;2010年
4 张素梅;有机薄膜场效应晶体管和高功率远结激光器的研究[D];吉林大学;2005年
5 于化丛;氢化纳米硅(na-Si:H)薄膜太阳电池研究[D];上海交通大学;2005年
6 梁晶;用于绝对距离测量的He-Ne激光多波长干涉仪的研究[D];国防科学技术大学;2010年
7 赵爽;全光触发器及其应用的研究[D];北京交通大学;2010年
8 张博;喷射器与太阳能喷射式制冷系统研究[D];大连理工大学;2002年
9 霍凤伟;硅片延性域磨削机理研究[D];大连理工大学;2006年
10 孟剑峰;环形电镀金刚石线锯加工技术及加工质量研究[D];山东大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张福军;太阳能硅晶片双束激光双线划槽方法与装置[D];河北工业大学;2007年
2 李征;光伏并网发电系统及其控制策略的研究[D];天津大学;2008年
3 黄润华;同乐太阳能企业的现存问题与发展对策[D];厦门大学;2001年
4 张运真;太阳能吸附式制冷装置系统研究[D];河南农业大学;2005年
5 陈传宝;振荡流热管的研究及其在太阳能集热器中的应用[D];华北电力大学(北京);2009年
6 彭路明;新型太阳能路灯控制器设计与实现[D];新疆大学;2004年
7 王宇;风光互补发电控制系统的研究与开发[D];天津大学;2004年
8 孙茵茵;自适应复精度太阳跟踪平台[D];华中科技大学;2005年
9 刘逸;太阳能地源热泵式空调系统研究[D];大庆石油学院;2006年
10 王晓冬;太阳能烟囱数值模拟与自然通风的非线性研究[D];中南大学;2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 王迅;河北宁晋太阳能单晶硅产量占世界二成[N];中国有色金属报;2004年
2 通讯员 柳辉强、李素现 记者 蔡计锁;宁晋太阳能单晶硅产量占世界二成[N];河北日报;2004年
3 记者 孙瑞生;太阳能用单晶硅项目落户应县[N];山西经济日报;2009年
4 杨辉强 李素现;宁晋局太阳能单晶硅基地走出国门[N];华北电力报;2004年
5 记者石磊;单晶硅让宁晋享誉世界[N];河北日报;2002年
6 柳辉强 李素现;跨越发展的河北“硅谷”[N];中华合作时报;2004年
7 特约记者 柳辉强;志存高远敢争先[N];中华合作时报;2004年
8 本报记者 于洪海;聚光技术让太阳能炼硅成为现实[N];中国能源报;2009年
9 陆项羽 吴振骉;世博城市未来馆装上太阳能光伏面板[N];华东电力报;2009年
10 王雅媛 编辑 杨晓坤;对于投资太阳能公司的疑问[N];上海证券报;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978