收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

反应溅射形成氮化钛复合渗镀层耐磨耐腐蚀性能的研究

隗晓云  
【摘要】:TiN涂层因具有高硬度、低摩擦系数、高粘着强度、化学稳定性好、良好的导电性和与钢铁材料的热膨胀系数相近等优点,而被广泛应用于机械、材料、化工、电子、冶金、航空航天等领域。特别是被用作高质量的切割工具,抗磨粒、磨蚀和磨损部件的表面工程材料。目前制备TiN涂层的主要方法有:化学气相沉积法(CVD)、物理气相沉积法(PVD)、等离子体化学气相沉积法(PCVD)、离子束辅助沉积法(IBAD)等。 本研究课题针对上述几种制备TiN涂层方法现存的问题,进行了技术改进。其基本思路是:利用辉光放电中的溅射现象、Ti丝的尖端放电和辅助阴极之间的空心阴极效应,并通入一定比例氮气和氩气的混合气体,在碳钢表面一次性合成TiN复合渗镀层。整个复合渗镀层成分、硬度和结构均呈梯度分布,渗镀层与基体的膜基结合力好,内应力小。该技术能够在基体表面形成所需厚度、结合强度极佳的复合渗镀层。同时具有节约贵金属,节省能源、无公害,可大面积处理和表面合金成分可控等显著优点,属于绿色环保技术。 在TiN复合渗镀层基础上进行PVD沉积薄膜,形成TiN复合渗镀层+TiN或TiN复合渗镀层+TiB_2或TiN复合渗镀层+TiN+TiB_2层。将TiN复合渗镀层、TiN复合渗镀层+TiN、TiN复合渗镀层+TiB_2、TiN复合渗


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 周跃胜,姚德超,羊建高;影响含氮硬质合金性能因素初探[J];硬质合金;1997年03期
2 陈茂爱,唐逸民,楼松年;Ti对低合金高强度钢焊接粗晶热影响区组织及韧性的影响[J];特殊钢;2001年05期
3 张海荣,许友志;基于TIN不连续地质体的三维构模及动态显示[J];中国矿业大学学报(自然科学版);2002年02期
4 万国江,黄楠,冷永祥,杨萍,陈俊英;等离子浸没离子注入沉积纳米TiN薄膜的机械性能研究[J];无机材料学报;2003年04期
5 申玉田,崔春翔,徐艳姬,孟凡斌,王如;高强度TiN-AlN_p/Al-Si复合材料的制备[J];中国有色金属学报;2002年S1期
6 程树英;TiN装饰膜发生透锈现象的探讨[J];福州大学学报(自然科学版);1998年05期
7 徐协文;Ti粉在N_2中燃烧合成TiN[J];湖南轻工业高等专科学校学报;2001年01期
8 封向东,王治国,祖小涛,戴晶怡;N~+离子注入TiNi形状记忆合金的微观表面分析[J];稀有金属材料与工程;2003年04期
9 孙伟,宫秀敏,叶卫平,张覃铁,朱小清;多弧离子镀TiN涂层结合力的影响因素[J];材料保护;2000年08期
10 刘杨秋,梁彤祥,付志强,倪晓军,赵福群;热处理对PI基板铜薄膜金属化TiN阻挡层的影响[J];稀有金属材料与工程;2004年06期
11 王华明;TiAl合金激光气体合金化[J];金属学报;1997年09期
12 郑勇,范钟明,赵兴中,胡镇华,崔昆;TiN对Ti(C,N)基金属陶瓷组织和性能的影响[J];硬质合金;1997年03期
13 谢飞,何家文;高速钢W18Cr4V离子渗氮层组织对TiN膜与基体结合强度的影响[J];金属学报;2000年10期
14 韦习成,李健,袁成清;基体表面粗糙度对磁控溅射TiN涂层界面结合力的影响[J];机械工程材料;2001年01期
15 刘庆元,肖建军,龚佑兴,左廷英;数字地面模型的建立与边界线算法研究[J];矿山测量;2004年01期
16 王玉魁,林晓娉,韩会民,李秀兰,赵春梅;活化源功率对高速钢基体反应溅射离子镀TiN涂层的影响[J];理化检验.物理分册;1996年03期
17 龚红宇,尹衍升,李爱菊,刘英才,甄玉花,李春胜;反应烧结法制备(AlN,TiN)-Al_2O_3复合材料的研究[J];复合材料学报;2003年01期
18 孙维民,金寿日,于莹;Ni-TiN超细粉的制备与特性[J];粉末冶金技术;2000年03期
19 张嘉晋;发动机汽缸体中钛化物的测定[J];中国铸造装备与技术;2003年02期
20 王继华;;钻孔点集Voronoi图在矿产储量自动计算应用与研究[J];煤炭技术;2006年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 武海顺;许小红;张聪杰;张富强;;反应溅射制备AIN纳米薄膜中沉积速率的研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集(上卷)[C];2001年
2 王谦;鲁永剑;何生平;;含TiO_2的保护渣在高温下生成TiN、Ti(CN)的研究[A];2011年第九届全国连铸学术会议论文集[C];2011年
3 陈登明;马毅龙;孙建春;;振动及表面镀TiN薄膜对1J22合金性能的影响研究[A];2011中国功能材料科技与产业高层论坛论文集(第三卷)[C];2011年
4 王曦;杨根庆;柳襄怀;郑志宏;黄巍;邹世昌;;氙离子束轰击对氮气氛中沉积钛膜的影响[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
5 张宗可;许矿华;陈鹏;;TIN的生成方法与应用研究[A];河南地球科学通报2010年卷(下册)[C];2010年
6 黄银松;章俞之;胡行方;;溅射法制备氧化铌电致变色薄膜的研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
7 郭大勇;耿继双;曹亚丹;张晓军;杨辉;高航;常桂华;王秉喜;;帘线钢中钛夹杂形成热力学分析[A];2008年全国炼钢——连铸生产技术会议文集[C];2008年
8 韦习成;李健;袁成清;;磁控溅射TiN界面结合强度的压痕法测试研究[A];'99摩擦学表面工程学术会议论文集[C];1999年
9 江春发;;厦门市建立动态基准地价体系的尝试[A];福建省土地学会2009年年会论文集[C];2009年
10 郭大勇;曹亚丹;耿继双;高航;常桂华;王秉喜;薛军;;帘线钢中TiN夹杂形成热力学分析[A];第七届(2009)中国钢铁年会大会论文集(中)[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 孙金峰;MA制备非化学计量比TiC_x和TiN_x及其烧结特性的研究[D];燕山大学;2010年
2 孙静;氧化锆基复合陶瓷纺织剪刀材料的研制及其应用基础研究[D];山东大学;2005年
3 李欣;氮电弧熔化法制备TiN层的研究[D];吉林大学;2008年
4 刘燕萍;双辉复合渗镀氮化钛陶瓷层及其等离子体特性的研究[D];太原理工大学;2006年
5 王艳;Ti6A14V合金及其改性层的冲击磨损行为研究[D];西南交通大学;2011年
6 陈响明;硬质合金刀具TiN-TiCN-Al_2O_3-TiN多层复合涂层制备与组织性能研究[D];中南大学;2012年
7 尹德强;超硬金属氮化物纳米多层膜界面微结构及力学性能研究[D];重庆大学;2012年
8 王立无;红外薄膜系统的设计和制备[D];四川大学;2007年
9 马紫微;HfO_2薄膜的溅射制备及其性能研究[D];兰州大学;2011年
10 孔明;两相纳米结构薄膜中的模板效应与超硬效应[D];上海交通大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张帆;超纯铁素体不锈钢中TiN析出规律研究[D];武汉科技大学;2012年
2 隗晓云;反应溅射形成氮化钛复合渗镀层耐磨耐腐蚀性能的研究[D];太原理工大学;2006年
3 王永林;TiN涂层摩擦磨损性能及机理研究[D];江南大学;2012年
4 齐琳;D-TIN并行构建方法及其在地图综合中的应用研究[D];南京师范大学;2011年
5 李瑜庆;外压下TiN、Ti-Si-N结构和性能的第一性原理研究[D];内蒙古科技大学;2012年
6 李吉利;碳热还原氮化规模化合成TiN粉末的表观动力学研究[D];西安建筑科技大学;2011年
7 王静;反应磁控溅射金属/TiN多层膜及金属掺杂TiN薄膜的制备与特性[D];延边大学;2012年
8 李晓芳;TiN薄膜的制备及其腐蚀磨损性能研究[D];太原理工大学;2010年
9 周磊;硬质合金高温化学气相沉积TiN涂层工艺及性能研究[D];西华大学;2011年
10 王成磊;等离子渗镀TiN工艺及性能的研究[D];桂林电子科技大学;2010年
中国重要报纸全文数据库 前4条
1 ;软件开发 不可能完成的任务?[N];计算机世界;2002年
2 建研院;如何对等高线赋值[N];中国花卉报;2009年
3 陈希荣;纳米技术在瓦楞辊上的应用[N];中国包装报;2010年
4 记者陈欣然 通讯员朱瑞新;民航大学外籍教授荣获中国政府“友谊奖”[N];天津教育报;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978