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高频离子氮化的工艺研究

何欢  
【摘要】: 本文利用交流高频电源对材料分别为铝、钛、4Cr_(14)Ni_(14)W_2Mo 渗氮钢和不锈钢的样品进行了氮化处理。显微硬度分析和扫描 电镜分析结果表明,除了铝样品以外,其他材料的样品经过处 理后表面显微硬度都不同程度地提高了,最高者可达到未处理 前的二倍多,而且耐蚀性也提高了。渗氮气氛中杂质气体氧气 的存在对氮化起阻碍作用,尤其是对铝样品其负面影响更大。 本文还利用主要参数为:输出电压0—60KV连续可调;脉 冲宽度不大于300ns,前沿上升时间不大于50ns;重复频率0— 200Hz连续可调的直流脉冲高压电源对在一个大气压下实现辉 光放电的可能性进行了研究。实验表明,在现有的设备条件下, 尚不能在一个大气压下产生均匀、稳定的辉光放电。但是,通 过选用适当的工艺,在纯氮气气氛中利用该电源仍可在压力为 0.03MPa的气压下产生均匀、稳定的辉光放电。


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