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聚合物微流控芯片超声波键合机理与方法研究

张宗波  
【摘要】: 聚合物微流控芯片除了具有检测速度快、效率高、试剂用量少、易于实现自动化操作等优点外,还具有材料选择范围广、制作工艺简单、成本低、可一次性使用以及生物兼容性好等优点。目前,它是微型便携分析仪器商业化与产业化发展的主要方向。近年来,针对聚合物微流控芯片的制备技术,国内外展开了大量的研究。用于实验室研究的少量芯片制作已经能够实现,但芯片的大规模、批量化生产,尚存在亟待研究和解决的关键技术问题。其中,芯片的键合是实现其批量化和自动化生产的主要瓶颈问题之一。本文以聚合物微流控芯片的超声波键合技术为研究对象,以提高键合质量和键合方法的创新为主要目的,对超声波键合过程中的产热机理、超声波熔融键合方法以及超声波非熔融键合方法进行了较系统的研究。 基于理论分析和数值计算,对超声波作用下聚合物在玻璃态和粘弹态的产热机理分别进行了研究,搭建了温度测试系统,对键合过程中的温度场进行了测量。根据理论分析以及测温试验,提出超声波键合过程中摩擦和粘弹性复合产热机理的新观点。该观点认为,聚合物在玻璃态时,摩擦热是超声波产热的主要原因,也是整个键合过程的启动热源;当材料温度达到玻璃转化温度(Tg)时,粘弹热使局部温度快速升高导致材料熔融,所以粘弹热是使聚合物熔融的主要热源。依据上述产热机理以及测温试验,文章进一步针对超声振幅对温度场的影响进行了研究。结果表明,超声波键合过程中存在临界振幅,当超声振幅低于该临界振幅时,键合区的最高温度始终低于Tg,并能维持在该温度附近。对超声波键合过程中产热机理的明晰和产热特性的把握,为键合质量的提高和键合方法的创新奠定了基础。 研究了利用键合辅助结构提高超声波熔融键合质量的方法。设计了三种超声波键合辅助微结构,并对这些复杂的凸凹式三维微结构的制作方法和成形规律进行了研究。通过键合试验,首次利用带熔池和阻流台的配合式辅助键合结构,实现了最小特征尺寸为30μm的微通道键合封装。该方法键合强度接近材料的本体强度、键合时间短(小于0.5s)、键合质量的稳定性和重复性好,适于批量化和自动化生产,但该方法中试件制备复杂,且由于聚合物熔融液的存在,很难用于更小尺度的微结构键合。 在产热机理研究的基础上,本文首次提出了基于局部溶解性激活的超声波非熔融键合方法和热辅助超声波非熔融键合方法。 利用键合前期摩擦产热速度慢、易于控制的特点,结合有机溶剂的温变溶解特性,采用分子动力学方法,研究了基于局部溶解性激活的超声波非熔融键合机理。并利用异丙醇(IPA)做为辅助溶剂,对PMMA微流控芯片进行了键合试验。与传统的键合方法相比,由于该方法中超声波振幅较低,导能筋不发生熔融,所以不会出现由于熔融液流延造成的键合质量问题。键合过程中除键合区域外,其它部位均保持室温,所以辅助溶剂不像传统的溶剂键合那样,会对微结构造成损坏。研究结果表明,该方法试件制备简单、易于过程控制、微结构变形量小、键合强度高,是一种适用于聚合物MEMS器件键合的新方法。 将超声波的产热特点与传统热键合的键合机理相结合,提出了一种无需键合辅助结构的热辅助超声波非熔融键合方法。该方法中,基片与盖片在预加热过程中充分贴合,在超声波作用下界面温度上升并维持在Tg附近,而基片内部的温度却远低于Tg。在界面温度以及超声振动的共同作用下,界面间形成键合。键合试验证明,该方法具有无需键合辅助结构、微结构变形量小、材料适用范围广、可控性高、超声能量在界面自动集中等特点。利用该方法的独特优势,成功实现了对深度只有200nm微通道阵列的键合和多达12层芯片的一次性键合。


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