收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

液晶可变光衰减器透明导电电极材料的制作与器件工艺的研究

韩淋  
【摘要】:光衰减器,是一种旨在降低波导中传输的光功率的器件,可以按照用户的要求将光信号能量进行预期地衰减,它是随着光通信事业发展出现的一种非常重要的纤维光学无源器件。随着近年来宽带光通信网络,特别是全光网络的迅速发展,光衰减器在波分复用(WDM)光纤网络中发挥着重要的作用,市场需求增长十分迅猛。本项目的研究内容是利用聚合物分散液晶材料,将MEMS技术中体硅微细加工工艺与液晶技术结合起来研制一种新型的聚合物分散液晶可变光衰减器。 本文的主要内容是:首先介绍了光衰减器的种类和工作原理;然后详细介绍了制备液晶可变光衰减器透明导电电极材料ITO薄膜的实验及相关测试;最后设计了制作光衰减器原型器件的工艺流程,在(110)和(100)硅基底上制作出了自对准光纤定位槽,对制作好光纤定位槽和端面溅射有ITO薄膜的单模光纤组装起来的结构进行了光功率损耗的测试。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 谢毅,李云山,沈雅琴,管媛;建立在相干检测原理上的单模光纤步级衰减标准装置[J];计量学报;1998年04期
2 姚荣新;长、短波长步进式光衰减器[J];光通信技术;1985年04期
3 韩晓峰,吴亚明;一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器[J];功能材料与器件学报;2004年03期
4 吴仲;;光衰减器校准技术研究[J];科技信息;2011年11期
5 茅惠兵,杨昌利,忻佩胜,彭德艳,朱自强,赖宗声;微机械光可调式光衰减器的制备及动态测试[J];半导体光电;2004年01期
6 丁炜;CATV光网络设备原理及应用 第四讲 光无源器件的原理及应用[J];中国有线电视;2004年12期
7 丁炜;光无源器件的原理及应用[J];有线电视技术;2004年16期
8 肖经;何宁;易淼;汤善庆;;电控遮挡式光衰减器的设计与实现[J];光通信技术;2008年08期
9 张吉东;吴先国;于洪桉;闫东航;王植源;;基于钌复合物和多晶三氧化钨的电致变色近红外光衰减器[J];科学通报;2005年23期
10 郑继红;顾玲娟;张兴德;苏锦文;庄松林;;聚合物分散液晶材料可调光衰减器的设计与制作[J];仪器仪表学报;2006年08期
11 尹邦政;朱静;;多通道数字可调光衰减器模块的设计与实现[J];光机电信息;2011年08期
12 陈光辉;黄兰英;;在线连续可调单模光纤衰减器[J];光纤与电缆及其应用技术;1993年03期
13 邵国成;杨昊宇;戴旭涵;赵小林;丁桂甫;;一种微电磁驱动的MEMS可调光衰减器[J];电子器件;2007年03期
14 李以贵;微光机电系统技术在光通信中的应用[J];通讯世界;2003年09期
15 郑国梁,佘卫龙;温度不敏感电光调制器和保偏光衰减器设计[J];中国激光;2005年08期
16 程永来;光衰减器需求上升,价格下降[J];通讯世界;1997年12期
17 职利,周怀营;ITO薄膜的制备方法与应用[J];桂林电子工业学院学报;2004年06期
18 张树高,黄伯云,方勋华;ITO导电薄膜的用途和制备方法[J];粉末冶金材料科学与工程;1997年01期
19 刁庚秀,陈文彬;ITO薄膜的溶胶-凝胶法制备[J];光电子技术;2004年04期
20 王刚,刘宏宇,赵超,杨柏梁,黄锡珉;ITO退火膜的光学和电学特性[J];吉林大学自然科学学报;1999年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 许生;颜远全;;ITO薄膜性能及制成技术的发展[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
2 季一勤;宋洪君;洪伟;;ITO薄膜的温度特性[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
3 方玲;庄大明;吴敏生;赵大庆;;ITO薄膜组织结构与光电性能的关系研究[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
4 方瑜;;光衰减器不确定度评定[A];2008年江苏省计量测试学术论文集[C];2008年
5 简余良;孙彤;邵力为;孙平;;PbO气氛对ITO薄膜电极导电性能的影响研究[A];华东三省一市第三届真空学术交流会论文集[C];2000年
6 职利;徐华蕊;周怀营;;水热法与溶胶-凝胶法制备ITO薄膜及其性能分析[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
7 周之斌;丁正明;崔容强;胡宏勋;孙铁囤;徐秀琴;陈东;;ITO薄膜:从(400)到(222)择优晶化[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
8 何志远;张治国;;ITO薄膜电导率与温度关系的测量[A];福建省第五届实验物理教学研讨会论文集[C];2005年
9 朱长纯;商世广;;直流磁控溅射ITO薄膜的低温等离子退火研究[A];第九届真空技术应用学术年会论文集[C];2006年
10 曹丽冉;陈新亮;薛俊明;张德坤;孙建;赵颖;耿新华;;氧分压对低温制备In_2O_3:Sn薄膜性能的影响[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 王刚;高品质a-Si:H TFT-LCD阵列设计与工艺研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
2 林志浪;SOI集成光波导器件的基础研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
3 李世涛;透明导电ITO及其复合薄膜的研究[D];华中科技大学;2006年
4 何波;新型硅基SINP异质面蓝紫光电池及SIS异质结光电器件的研究[D];上海大学;2010年
5 刘陈;有机电致发光器件的研究及优化设计[D];华中科技大学;2004年
6 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 韩淋;液晶可变光衰减器透明导电电极材料的制作与器件工艺的研究[D];吉林大学;2005年
2 丛珊珊;PDLC可变光衰减器ITO透明电极制作及器件整体结构实现[D];吉林大学;2007年
3 韩晓峰;基于SOI材料的集成可调谐光衰减器的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
4 王树林;ITO薄膜的制备及性能研究[D];武汉理工大学;2004年
5 李晶;ITO透明导电薄膜的溶胶凝胶法制备及工艺研究[D];中南大学;2004年
6 吴世华;铟锡醇盐的合成及ITO薄膜溶胶-凝胶法制备技术研究[D];昆明理工大学;2001年
7 王明峰;聚合物分散液晶可变光衰减器的材料制备与器件实现[D];吉林大学;2007年
8 吴永红;聚合物VOA的设计和实验研究[D];东南大学;2006年
9 朱少丽;光无源器件工艺分析及结构改进研究[D];西南师范大学;2004年
10 李颖;溶胶—凝胶法制备ITO薄膜及其微细图形的研究[D];西安理工大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前9条
1 何毅;光炬推出机械挡光 EVOA[N];中国邮政报;2000年
2 ;科技打造嘉慧未来[N];通信产业报;2003年
3 冯君从;货源紧张铟价将继续坚挺[N];中国有色金属报;2003年
4 ;2004年度测试维护产品编辑推荐[N];通信产业报;2004年
5 丽秋;上海新傲成功开发SOI[N];电子资讯时报;2002年
6 安泰科 冯君从;回归路上有风险[N];中国有色金属报;2003年
7 郑慰亲;通信测试产业的机遇与挑战[N];中国电子报;2000年
8 ;国家(武汉)光电子器件产业园:优势产业为重[N];中国电子报;2005年
9 张扬;烽火科技打造世界级光器件航母[N];人民邮电;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978