收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于(100)硅片的MOEMS光开关的研制

潘建旋  
【摘要】:微机械电子系统(Micro-electro-mechanical System, MEMS)是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基本元器件组成的自动性能高、可以活动和控制、机电合一的微机械装置。MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗低、性能稳定、可靠性高、适于大批量生产、生产成本低、惯性小、谐振频率高、响应时间短等传统器件无法比拟的优点,因此在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。 文章首先介绍了基于微电子机械系统(MEMS)技术的MEMS光开关的应用范围、研究现状和一些典型的光开关结构。然后在文中详细叙述了一种基于(100)硅片的2×2 微光机械光开关产 品的结构设计、实验工艺,并进行了产品的性能测试。所研制的光开关插入损耗小于3dB,开关时间小于5ms,串话小于-50dB,尺寸小于1cm~3,能耗小于10mW,寿命大于100 万次。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 王刚;光纤通信中的MOEMS光开关[J];微处理机;2004年05期
2 徐杨,吴霁虹,刘理天,陈兢,董良;基于MOEMS技术的一种F-P光开关的设计与制作[J];半导体学报;2002年08期
3 陈高庭;自锁型2×2和1×4光开关[J];激光与光电子学进展;2002年11期
4 罗家强;MOEMS成就未来光通信领域的大市场[J];世界电子元器件;2001年08期
5 廖先炳 ,李蔚;光网络的核心器件——光交叉连接器[J];世界产品与技术;2003年01期
6 赵华君;袁代蓉;段利华;;基于MOEMS技术光开关的研究与进展[J];重庆文理学院学报(自然科学版);2007年06期
7 周建明,张永康;MOEMS在光通信网络中的应用[J];新技术新工艺;2003年07期
8 谢世钟,陈明华,王国忠;光传送网中光开关器件的进展[J];中兴通讯技术;2002年04期
9 徐宁;李若梅;涂兴华;梁忠诚;;基于微流控技术新型光开关器件设计[J];南京邮电大学学报(自然科学版);2009年02期
10 梁中翥;钟砚超;孔庆峰;梁静秋;;光通信中的新型光无源器件[J];光机电信息;2009年09期
11 ;高速光开关[J];光机电信息;1994年11期
12 蒋庄德,赵则祥,王海容;基于ME MS的光开关研发与产业化问题[J];微细加工技术;2001年04期
13 方华军,刘建设,任天令,刘理天;硅基PZT压电驱动MEMS光开关的设计与优化[J];微纳电子技术;2003年Z1期
14 正凡;英国长途通信研究所研制成世界上第一个完善的光开关[J];光电子.激光;1992年03期
15 康寿万,董玉和,庄婉如;光开关交叉角的上限和开关对数值孔径的影响[J];半导体学报;1995年12期
16 廖光炳;电磁激励的单晶Si微反射镜光开关的设计与制作技术[J];光子技术;2004年03期
17 刘浪;;微电子系统光开关[J];科技创新导报;2009年12期
18 艾恕;;纯光开关[J];激光与红外;1986年03期
19 龚小成,沈启舜,瞿文詠;高速时分复用光开关阵列的研制[J];上海交通大学学报;1994年02期
20 许天晖,庞翠珠,简水生;一种新型基于石英的热光型光开关[J];光通信技术;1998年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 明安杰;梁静秋;董玮;陈维友;王立军;王维彪;;基于MOEMS的自由空间8×8光开关相关技术研究[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议(OFCIO’2003)论文集[C];2003年
2 沈映欣;李刚毅;;1×4 LiNbO_3光开关[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议(OFCIO’2003)论文集[C];2003年
3 黄珊;何治柯;;核酸分子“光开关”用于银离子的测定[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
4 陈非凡;李云龙;殷玲;乔力争;;基于MOEMS的微型可编程相位光栅原理性实验研究[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(上)[C];2001年
5 王丹;彭小峰;;一种MEMS光开关的原理及设计[A];广西光学学会2002年学术年会论文集[C];2002年
6 王运;何治柯;;核酸分子“光开关”特性钌(Ⅱ)配合物研究进展[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
7 宋金声;;光开关的技术进展和应用[A];全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议(OFCIO’2001)论文集[C];2001年
8 陈四海;潘峰;付小朝;柯才军;汪殿民;向思桦;赖建军;易新建;;基于MOEMS工艺制作柔性光学传感器[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
9 罗元;胡章芳;;MEMS光开关阵列扩展性的研究[A];第九届全国青年通信学术会议论文集[C];2004年
10 肖立峰;刘迎;;集成光学声光光开关隔离度的研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 梁静秋;微光机电器件及其关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
2 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
3 王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
4 赵双双;微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器研究[D];浙江大学;2013年
5 陈芳;核酸分子“光开关”及核酸光谱分析新方法研究[D];武汉大学;2004年
6 罗彪;面向近红外微型光谱仪的MOEMS扫描光栅微镜关键技术研究[D];重庆大学;2012年
7 卢山鹰;干涉型铌酸锂基集成光开关研究[D];浙江大学;2004年
8 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
9 张智海;基于MOEMS技术的光栅平动式光调制器阵列若干关键技术研究[D];重庆大学;2008年
10 吴宇;微纳光纤环MOEMS加速度传感器理论与应用研究[D];浙江大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 潘建旋;基于(100)硅片的MOEMS光开关的研制[D];吉林大学;2005年
2 兰卫华;MOEMS光开关阵列芯片的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
3 王丹;MOEMS阵列光开关的制作与性能测试[D];吉林大学;2006年
4 纪平;微机械光开关微反射镜的制作和驱动结构的有限元分析[D];吉林大学;2004年
5 韩晓星;用于热光光开关的聚合物薄膜波导制作[D];华中科技大学;2004年
6 占恒正;光注入全内反射型光开关的研究[D];浙江大学;2003年
7 赵波;面向OXC的MEMS光开关设计与分析技术[D];东南大学;2004年
8 冯志芳;几种光子器件的原理及应用的研究[D];北京工业大学;2003年
9 杨艺榕;转动竖直微镜的硅微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
10 葛峻;MEMS光开关的研究[D];东南大学;2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 吴莉;新型磁光光开关[N];经济参考报;2003年
2 ;山东新型磁光光开关通过鉴定[N];今日信息报;2003年
3 胡慧平;引言-----半导体光开关[N];中国电子报;2002年
4 记者吴仲国;日本开发出新型光开关[N];科技日报;2002年
5 吴映红;半导体光开关——光网络核心元件[N];中国电子报;2000年
6 冯卫东;科学家制造出世界最小光开关[N];科技日报;2008年
7 孙喜庭 实习生 侯颖 本报记者 李兵;德国老专家情系中国企业[N];锦州日报;2006年
8 叶建平;自驾游前应做到“三先”[N];人民公安报·交通安全周刊;2008年
9 记者 尹一平;彰显魅力 成果丰硕[N];锦州日报;2006年
10 烽火通信科技股份有限公司副总裁 李广成;光交换/光路由铸就全光网络[N];网络世界;2000年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978