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聚合物阵列波导光栅的带宽平坦性分析及实验研究

李晗  
【摘要】:本论文主要进行了聚合物阵列波导光栅(AWG)波分复用器的带宽平坦性分析及器件的试验研究。在论文中,首先介绍了聚合物材料以及聚合物AWG器件的发展、优点和应用,然后通过介绍凹面光栅的成像原理,阐述了AWG的基本原理和基本功能,对其进行了参数优化,并在此基础上提出了一种新的实现带宽平坦化的方法。最后,介绍了用旋涂、蒸铝、光刻等一系列工艺制作AWG的工艺过程。测量结果表明,我们所制备的聚合物AWG器件具有良好的波分复用功能。


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