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电弧离子镀氮化铬涂层的组织结构及性能研究

刘海  
【摘要】: 物理气相沉积硬质涂层技术的采用可以有效地降低各类零部件的机械磨损、化学腐蚀和高温氧化倾向,可以提高零件的耐磨性能、可靠性,延长其使用寿命。近几年研究证明,与已经得到广泛工业应用的TiN薄膜相比,CrN薄膜在具有更高硬度的同时,还具有比TiN更好的耐腐蚀性能;而且在Cr-N体系中可以达到极高的沉积速率;另外,其工艺较易控制,有利于大批量的工业生产,更加具有实际意义,因此CrN薄膜是最有希望的TiN替代材料之一。 本文采用电弧离子镀技术在TC4基体上制备氮化铬涂层,研究了镀膜前有无轰击、脉冲偏压、氮气压力和弧电流等工艺参数对CrN涂层的组织结构和力学性能的影响,并对制备厚硬质涂层的工艺、组织及力学性能进行了研究;制备出涂层基体结合良好、厚度较高的CrN单相涂层。该论文对沉积高性能CrN涂层的工艺优化,有重要指导作用。


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