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MSM型TiO_2紫外探测器的研制

孔祥梓  
【摘要】: 本论文的主要研究工作是纳米TiO2薄膜的制备及其金属-半导体-金属(MSM)结构的光伏型紫外探测器的研制。首先,我们讨论了紫外探测器的分类,对半导体探测器特别是光导型探测器工作原理及主要参数做了深入的分析和讨论。然后详细介绍了TiO2的晶体结构和制作方法。接下来我们利用溶胶-凝胶法制备了纳米晶TiO2薄膜材料,通过XRD和紫外吸收谱等表征手段对薄膜材料的性质进行研究,证明所制备的材料适合制成紫外探测器。接着,利用射频磁控溅射法在TiO2薄膜上溅射金属Au形成肖特基接触,采用标准光刻技术形成叉指状电极。对TiO2基紫外探测器的一些光电特性作了测试,由器件的I-V特性曲线可知,Au与TiO2形成肖特基接触。由器件的光响应可知,当光波长到达330nm附近时,有一个明显的吸收边。这时,响应曲线发生了明显的蓝移。在260nm处,光响应达到最大值,为199A/W,这远高于其他MSM型宽禁带紫外光探测器。对器件的响应时间图分析可知,器件的上升响应时间小于下降的反应时间。


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