收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于光通信应用的MOEMS光学无源器件技术研究

李海军  
【摘要】: 为了满足快速发展的光纤通信网络对新型高性能、低成本光无源器件的迫切需求,多种技术被应用于光无源器件研制之中,微光机电系统(MOEMS)技术由于具有成本低、可批量化生产的特点而受到了广泛关注,已成为研制新型光无源器件的主要技术之一。 在光通信MOEMS无源器件技术研究中,MOEMS光开关和MOEMS可变光衰减器的相关技术研究具有代表性。本文详细介绍了这两种基于光通信应用的光无源器件的设计、加工以及测试技术。围绕关键指标和主要技术难点,开发了三种新型的具有高深宽比、大纵向结构尺寸加工能力的体硅MEMS加工工艺,确立了一种基于体硅MEMS加工工艺的梳齿电容线位移静电驱动竖直微反射镜自对准的1×2和2×2MOEMS光开关实现方案,研制了1×2、2×2光开关及以1×2或2×2光开关为基本单元级联构成1×8、4×4、8×8等光开关阵列产品。设计加工了一种针对于WDM光通信系统应用的新型低成本、高性能MOEMS可变光衰减器。在本研究中实现了多项关键技术的突破,其中多数属于MOEMS光无源器件的共用技术,为进一步开展光通信用MOEMS光无源器件研究奠定了基础。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 ;高速光开关[J];光机电信息;1994年11期
2 蒋庄德,赵则祥,王海容;基于ME MS的光开关研发与产业化问题[J];微细加工技术;2001年04期
3 谢世钟,陈明华,王国忠;光传送网中光开关器件的进展[J];中兴通讯技术;2002年04期
4 方华军,刘建设,任天令,刘理天;硅基PZT压电驱动MEMS光开关的设计与优化[J];微纳电子技术;2003年Z1期
5 廖先炳 ,李蔚;光网络的核心器件——光交叉连接器[J];世界产品与技术;2003年01期
6 兰卫华,明安杰,梁静秋;国内MOEMS光开关的研究现状[J];光通信技术;2004年04期
7 正凡;英国长途通信研究所研制成世界上第一个完善的光开关[J];光电子.激光;1992年03期
8 康寿万,董玉和,庄婉如;光开关交叉角的上限和开关对数值孔径的影响[J];半导体学报;1995年12期
9 廖光炳;电磁激励的单晶Si微反射镜光开关的设计与制作技术[J];光子技术;2004年03期
10 刘浪;;微电子系统光开关[J];科技创新导报;2009年12期
11 艾恕;;纯光开关[J];激光与红外;1986年03期
12 龚小成,沈启舜,瞿文詠;高速时分复用光开关阵列的研制[J];上海交通大学学报;1994年02期
13 许天晖,庞翠珠,简水生;一种新型基于石英的热光型光开关[J];光通信技术;1998年01期
14 李宝军,李国正,刘恩科;1.55μmSi_(1-x)Ge_x/Si光开关与光探测器集成的分析及设计[J];中国激光;1998年07期
15 马军山,陈高庭,王向朝,方祖捷;用于光通信的微电子机械系统技术进展[J];激光与光电子学进展;1999年10期
16 陈高庭;自锁型2×2和1×4光开关[J];激光与光电子学进展;2002年11期
17 王科平,葛峻,秦明;MEMS静电执行光开关的设计与实验[J];电子器件;2003年03期
18 黄照祥,张阳安,黄永清,李玲,任晓敏;可重构光分插复用器(ROADM)的技术实现与性能评估[J];光通信技术;2004年12期
19 吴茂林;;采用新薄膜材料的光开关[J];电子技术;1984年07期
20 贾玉斌,陈良惠,李玉璋;一种微机械光开关的分析和设计(英文)[J];半导体学报;2001年07期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 沈映欣;李刚毅;;1×4 LiNbO_3光开关[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议(OFCIO’2003)论文集[C];2003年
2 黄珊;何治柯;;核酸分子“光开关”用于银离子的测定[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
3 王丹;彭小峰;;一种MEMS光开关的原理及设计[A];广西光学学会2002年学术年会论文集[C];2002年
4 王运;何治柯;;核酸分子“光开关”特性钌(Ⅱ)配合物研究进展[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
5 宋金声;;光开关的技术进展和应用[A];全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议(OFCIO’2001)论文集[C];2001年
6 罗元;胡章芳;;MEMS光开关阵列扩展性的研究[A];第九届全国青年通信学术会议论文集[C];2004年
7 肖立峰;刘迎;;集成光学声光光开关隔离度的研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
8 李美菊;陈向东;陈芳;何治柯;沈萍;;利用核酸分子“光开关”Ru(phen)_2(dppz)~(2+)检测细菌释放DNA[A];首届中国青年学者微生物遗传学学术研讨会论文摘要集[C];2002年
9 尹桂;徐正;苏国玮;;超分子自组装双卟啉光开关性质的研究[A];大环化学和超分子化学研究进展——中国化学会全国第十二届大环第四届超分子化学学术讨论会论文集[C];2004年
10 王涛;黄德修;;有源光开关中的方向耦合器研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
2 王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
3 陈芳;核酸分子“光开关”及核酸光谱分析新方法研究[D];武汉大学;2004年
4 卢山鹰;干涉型铌酸锂基集成光开关研究[D];浙江大学;2004年
5 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
6 曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
7 鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
8 梁静秋;微光机电器件及其关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
9 李海军;基于光通信应用的MOEMS光学无源器件技术研究[D];吉林大学;2007年
10 吕丁成;单轴晶体材料构成的光纤光栅特性研究[D];兰州大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 韩晓星;用于热光光开关的聚合物薄膜波导制作[D];华中科技大学;2004年
2 占恒正;光注入全内反射型光开关的研究[D];浙江大学;2003年
3 赵波;面向OXC的MEMS光开关设计与分析技术[D];东南大学;2004年
4 冯志芳;几种光子器件的原理及应用的研究[D];北京工业大学;2003年
5 纪平;微机械光开关微反射镜的制作和驱动结构的有限元分析[D];吉林大学;2004年
6 杨艺榕;转动竖直微镜的硅微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
7 葛峻;MEMS光开关的研究[D];东南大学;2004年
8 潘建旋;基于(100)硅片的MOEMS光开关的研制[D];吉林大学;2005年
9 高晴;载流子注入型MMI光开关设计[D];浙江大学;2006年
10 张冰娜;数字型集成热光光开关阵列波导研究[D];华中科技大学;2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 吴莉;新型磁光光开关[N];经济参考报;2003年
2 ;山东新型磁光光开关通过鉴定[N];今日信息报;2003年
3 胡慧平;引言-----半导体光开关[N];中国电子报;2002年
4 记者吴仲国;日本开发出新型光开关[N];科技日报;2002年
5 吴映红;半导体光开关——光网络核心元件[N];中国电子报;2000年
6 冯卫东;科学家制造出世界最小光开关[N];科技日报;2008年
7 孙喜庭 实习生 侯颖 本报记者 李兵;德国老专家情系中国企业[N];锦州日报;2006年
8 叶建平;自驾游前应做到“三先”[N];人民公安报·交通安全周刊;2008年
9 记者 尹一平;彰显魅力 成果丰硕[N];锦州日报;2006年
10 烽火通信科技股份有限公司副总裁 李广成;光交换/光路由铸就全光网络[N];网络世界;2000年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978